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B 0651 : 2001(ISO 3274 : 1996)
備考 基準案内は,送り装置の基本的な部品の一つであり,部分的にプローブに組み込むことができ
る。スキッドを用いる場合には,附属書Aを参照。
3.3.3 送り装置 (drive unit)プローブを基準案内に沿って動かし,横座標における触針先端の位置を伝
達する要素。
備考 駆動ユニットの仕様は,最大運動距離によって表される。
3.3.4 触針をもつ変位伝動要素及びトランスデューサか
プローブ(ピックアップ) [probe (pick-up) ]
らなる要素。
3.3.5 変位伝動要素 (tracinge element) 触針先端の変位をトランスデューサに伝動するための要素。
3.3.6 触針先端 (stylus tip)通常は,所定のテーパ角度の円すい及び所定の半径をもつ球状の先端から
なる要素。
備考 これは,輪郭曲線データの測定にとって非常に重要な要素である。
3.3.7 基準線に対する測定曲線の縦座標値を,測定機で用いる信号に
トランスデューサ (transducer)
変換する装置。
備考 トランスデューサは,輪郭曲線の意図的な修正を行わない。
――――― [JIS B 0651 pdf 6] ―――――
B0 6
図1 触針式表面粗さ測定機の概略図
51:2001(I
SO3 274: 1996
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)
――――― [JIS B 0651 pdf 7] ―――――
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B 0651 : 2001(ISO 3274 : 1996)
図2 触針式表面粗さ測定機の測定ループの例
3.3.8 増幅器 (amplifier)輪郭曲線の意図的な修正を全く行わないで,信号増幅を行う装置。
3.3.9 AD変換器 [analog-to-digital converter (ADC) ] 測定されたアナログ信号をディジタル値に変換
する装置。
備考 AD変換されたデータは,該当する横座標値と組み合わせて,測定断面曲線を構成する。AD変
換器は,輪郭曲線の意図的な修正を行わない。
外部のコンピュータから,一つ以上の形式の輪郭曲線が入力できる測定
3.3.10 データ入力 (data input)
機内蔵のデータインタフェース。
3.3.11 データ出力 (data output)外部のコンピュータヘ,一つ以上の形式の輪郭曲線が出力できる測定
機内蔵のデータインタフェース。
3.3.12 輪郭曲線のフィルタ処理及び評価 (profile filtering and evaluation) IS B 0601,JIS B 0632,JIS B
0631,ISO 13565-1,ISO 13565-2及びISO 13565-3によるパラメータ及び表面機能を評価するために,断
面曲線,粗さ曲線及びうねり曲線に施す処理操作。
備考 粗さ曲線の基準長さの標準値は,うねり曲線のカットオフ値 低域フィルタのカットオフ値)
に等しい。
一つ以上の形式の輪郭曲線及び/又はパラメータ値が出力できる測
3.3.13 記録装置 (profile recorder)
定機に附属する記録装置。
3.4 表面粗さ測定機の計測特性 (metrological characteristics of instrument)
3.4.1 静的測定力 (static measuring force)触針先端を対象面に置いたときの平均位置(変位の中央位
置)における触針先端の押付け力。
3.4.2 触針先端が変位したときに生じる静的測定
静的測定力の変化 (change of static measuring force)
力の変化。
備考 一般に,静的測定力の変化は,変位に比例する。
3.4.3 動的測定力 (dynamic measuring force) 対象面を触針先端で連続的に測定するとき,触針先端の
加速度によって生じる力。
――――― [JIS B 0651 pdf 8] ―――――
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B 0651 : 2001(ISO 3274 : 1996)
備考 動的測定力は,静的測定力に加えられる。
3.4.4 触針先端の同じ変位において,上方向に動くときの触針先端の変位指
ヒステリシス (hysteresis)
示値と下方向に動くときの変位指示値との差。
3.4.5 所定の測定速度で測定された輪郭
正弦波の振幅伝達関数 (transmission function for sine waves)
曲線の波長と振幅の特性とを表す関数。
備考1. 振幅伝達の挙動を表すために,許容誤差内で伝達することができる正弦波の最小波長(溝の
間隔)を,異なった測定速度及び与えられた振幅に対して記述してもよい。
2. プローブの振幅伝達関数は,プローブの構成に依存し,プローブの構成が変わると,同じ測
定機でも変化する。
3.4.6 プローブの測定範囲 (measuring range of probe)触針先端及びトランスデューサが,許容誤差内
で変位を測定でき,ディジタル化に適した信号に変換できる縦方向の測定範囲。
3.4.7 測定機の測定範囲 (measuring range of instrument)測定機が,許容誤差内で変位を測定でき,デ
ィジタル化に適した信号に変換し,ディジタルデータに変換できる縦方向の測定範囲。
3.4.8 AD変換の量子化ステップ (quantization step of the ADC) AD変換の有意性ある最小値に相当す
る変位。
3.4.9 測定機の分解能 (instrument resolution)断面曲線において,有意に識別できる最小縦方向位置の
差を表す測定機能力の定量的表示。
測定機の分解能に対する測定範囲の比。
3.4.10 測定範囲対分解能比 (range-to-resolution ratio)
備考 幾つかの測定範囲をもつ測定機では,測定範囲対分解能比は,各測定範囲に対して個々に計算
する。したがって,測定範囲対分解能比は,最小測定範囲における測定機の分解能に対する最
大測定範囲の比ではない。
測定範囲におけるプローブの特性曲線の直線(又
3.4.11 プローブの直線性 (probe linearity deviation)
は呼び特性曲線)からのずれ。
参考 プローブの特性曲線とは,プローブに与えた変位とプローブからの出力との関係を表す曲線。
測定断面曲線において,断面曲線,粗さ曲
3.4.12 短波長伝達限界 (short-wave transmission limitation)
線又はうねり曲線のいずれにも属さない短波長成分を遮断する低域フィルタ(カットオフ値 によって
得られる短波長信号成分の限界。
備考 これは,JIS B 0601に規定されている。低域フィルタは,ディジタルフィルタとして設計する。
3.4.13 輪郭曲線の振幅伝達特性 (vertical profile component transmission)断面曲線の代わりにトラン
スデューサに与えた正弦波信号の減衰した出力振幅を,波長の関数として表した伝達特性。
備考 基本的には,振幅伝達特性は,JIS B 0632による低域フィルタの形式によって表され,トラン
スデューサ,増幅器,AD変換器及び帯域通過フィルタによって実現される。これらは,通過
帯域において輪郭曲線に修正を加えることはない。この振幅伝達特性には,アライメント補正,
基準案内の系統的誤差の補正,プローブの特性曲線の直線性の補正など,断面曲線の補正を含
めることができる。
測定断面曲線におけ
3.4.14 輪郭曲線の横座標位置の伝達特性 (horizontal profile position transmission)
る任意の2点の横座標値の差(測定された間隔)の,それぞれの点に対応する触針先端の横座標値の差(正
確な間隔)に対する比。
――――― [JIS B 0651 pdf 9] ―――――
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B 0651 : 2001(ISO 3274 : 1996)
輪郭曲線の横座標位
3.4.15 横座標位置の伝達誤差 (deviations of the horizontal position transmission)
置の伝達特性と呼びの横座標位置の伝達特性との差。
測定機の振幅伝達特性とJIS B
3.4.16 輪郭曲線の振幅伝達誤差 (deviations of the propile transmission)
0632による短波長伝達限界をもつ理論的に正確な振幅伝達特性との差。
備考1. 通過帯域における振幅伝達特性は,触針先端の静的変位の振幅伝達特性に一致する。
2. 測定機のアナログ部の信号伝達の限界(通常は,測定機の機械部分,増幅器及びAD変換器
の周波数限界からなる。)は,この誤差に含まれる。これらの限界は,周波数に関係するので,
測定速度が異なると違ってくる。特に,測定速度が速いときに顕著に現れる。
恒温状態及び触針の位置を一定にした状態における測定機の
3.4.17 ゼロ点ドリフト (zero point drift)
ゼロ点の指示値の変化。
備考 一方向に緩慢な変化をするゼロ点ドリフトが及ぼす測定データへの影響は無視でき,フィルタ
を適用して求めた粗さ曲線には全く影響しない。周期性をもつドリフトは,フィルタを適用し
て求めた粗さ曲線の評価に対しては許容してもよいが,断面曲線及び低域フィルタを適用して
求めたうねり曲線には影響するおそれがある。
測定機の特性曲線とその回帰直線(特性
3.4.18 縦方向の直線性の総合誤差 (vertical linearity deviation)
曲線に最小二乗法によって当てはめた直線)との縦方向の差(触針による測定から,断面曲線を得るまで
のプロセスで生じる誤差)。
参考 ここでの特性曲線とは,触針先端に与えた変位と断面曲線を得るプロセスを経て出力された変
位指示値との関係を表す曲線である。
理想的な位相補償フィルタを基準とした輪郭
3.4.19 輪郭曲線フィルタの誤差 (profile filter deviation)
曲線の全波長域における振幅伝達特性の誤差。
3.4.20 輪郭曲線の評価誤差 (profile evaluation deviation) 実際のアルゴリズムによって求めたパラメー
タの値と輪郭曲線のもつ真の値との差。例えば,ISO 5436のタイプDのような校正用標準片の測定値と真
の値との差。
備考 パラメータの真の値は,同じ標準片の輪郭曲線に理想的なパラメータ算出用のアルゴリズムを
適用して得られる値である。
所定のパラメータに
3.4.21 触針式表面粗さ測定機の総合誤差 (total deviation of the stylus instrument)
ついて,与えられた測定機によって得られる値と真の値との差。
備考 ここでいうパラメータの真の値とは,この規格で定義された理想的な測定機によって求められ
る値である。
粗さ曲線又はうねり曲線のための
3.4.22 輪郭曲線の記録図形誤差 (deviation of the profile recording)
断面曲線のディジタルデータと同じデータのグラフィックプリンタ,プロッタ及びモニタに出力された図
形との差。
備考 測定断面曲線の縦座標値及び横座標値は,記録図形の縦倍率Vv及び横倍率Vhによって拡大さ
れたピクセル座標に直接表示する。両座標軸の誤差は,出力装置のピクセル間隔より小さくな
ければならない。直線性,ヒステリシス,振幅及び位相の誤差,又はオーバシュートのような
他の誤差は生じてはならない。輪郭曲線の記録図形誤差は,実用上は,断面曲線,粗さ曲線及
びうねり曲線の誤差となる。
4. 測定機の呼び特性
――――― [JIS B 0651 pdf 10] ―――――
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JIS B 0651:2001の引用国際規格 ISO 一覧
- ISO 3274:1996(IDT)
JIS B 0651:2001の国際規格 ICS 分類一覧
- 17 : 度量衡及び測定.物理的現象 > 17.040 : 線及び角度の測定 > 17.040.30 : 測定機器
- 17 : 度量衡及び測定.物理的現象 > 17.040 : 線及び角度の測定 > 17.040.20 : 表面の特性
JIS B 0651:2001の関連規格と引用規格一覧
- 規格番号
- 規格名称
- JISB0601:2013
- 製品の幾何特性仕様(GPS)―表面性状:輪郭曲線方式―用語,定義及び表面性状パラメータ
- JISB0631:2000
- 製品の幾何特性仕様(GPS)―表面性状:輪郭曲線方式―モチーフパラメータ
- JISB0632:2001
- 製品の幾何特性仕様(GPS)―表面性状:輪郭曲線方式―位相補償フィルタの特性
- JISB0633:2001
- 製品の幾何特性仕様(GPS)―表面性状:輪郭曲線方式―表面性状評価の方式及び手順