JIS B 0651:2001 製品の幾何特性仕様（ＧＰＳ）―表面性状：輪郭曲線方式―触針式表面粗さ測定機の特性 | ページ 4

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B 0651 : 2001(ISO 3274 : 1996)
                             附属書D(参考)        参考文献
1. TR B 0007 製品の幾何特性仕様 (GPS) −マスタープラン
    備考 TR B 0007は,ISO/TR 14638 : 1995 Geometrical Product Specifications (GPS) −Master planと一致
          している。
2. VIM−International vocabulary and general terms in metrology, BIPM, IEC, IFCC, ISO, IUPAC, IUPAP, OIML,
    2nd edition, 1993.
3. JIS B 0610 製品の幾何特性仕様 (GPS) −表面性状 : 輪郭曲線方式−転がり円うねりの定義及び表示
4. JIS B 8103 計測用語

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                            附属書1(参考) 標準特性値
  この規格で規定した特性値は,理想的なオペレータを前提としている。そのために,実用的には,次の
値を参考にするとよい。
1. 静的測定力 触針が平均位置から変位したときの静的測定力及び静的測定力の変化の割合は,附属書
1表1に示す値以下とする。
                          附属書1表1 触針の平均値における静的測定力
                               触針の平均位置における静的測定力
      触針の先端曲率半径の呼び値                              静的測定力の変化の割合の許容差
                                            mN                           mN/ 
                  2                         0.75                        0.035
                  5                      0.75 (4.0)(1)                  0.2
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     注(1) 触針の平均位置における静的測定力の最大値は,付け替え方式の触針など,特殊な構造のプローブ
          では,4.0mNとする。
2. 増幅器及び記録装置 縦倍率及び横倍率の呼び値は,附属書1表2に示す数列から選択することが望
ましい。
                             附属書1表2 縦倍率及び横倍率の呼び値
                      一次推奨          二次推奨                   その他
        縦倍率    100    200     500    250     400    125    160     315    630    800
         (Vv)    1 000  2 000   5 000  2 500   4 000  1 250  1 600   3 150  6 300  8 000
                10 000  20 000 50 000 25 000  40 000 12 500 16 000  31 500 63 000  80 000
               100 000
        横倍率     10      20     50      25     40
         (Vh)     100     200    500     250    400                  −
                 1 000  2 000   5 000  2 500   4 000
3. 送り装置 送り装置の送り運動の真直度は,駆動部の全移動距離内の任意の位置において,附属書1
表3に示す値以下とする。
    備考 スキッドは,粗さパラメータだけの測定に用いてもよい。
                            附属書1表3 送り装置の送り運動の真直度
                               評価長さ   送り運動の真直度 
                                 mm     スキッド使用 スキッドなし
                                  0.4       0.06        0.13
                                  1.25      0.13        0.3
                                  4         0.3         0.6
                                 12.5       0.6         1.3
                                 40         1.3         3

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B 0651 : 2001(ISO 3274 : 1996)
                            附属書2(参考) 標準性能値
  本体で規定した特性値は,理想的なオペレータを前提としている。そのために,実用的には,次の値を
参考にするとよい。
1. 測定機の安定度 測定機の安定度(測定値の変動)は,測定機に電源投入10分経過後の1時間におい
て,指定した測定範囲の3%未満とする。
2. 縦倍率の相対誤差 縦倍率の相対誤差(縦倍率の呼び値とその真値との差と縦倍率の呼び値との比)
の許容差は,±6%とする。
3. 横倍率の相対誤差 横倍率の相対誤差(横倍率の呼び値とその真値との差と横倍率の呼び値との比)
の許容差は,±6%とする。
    備考 2.2及び2.3の各項目は,測定機の安定後に測定した値に適用する。

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                     附属書3(参考) 検査項目及び検査方法
  実用的な検査方法として,次の方法を参考にするとよい。
 番号  検査項目         測定方法                   測定方法図             測定用具    許容値
  1 静的測定力 平衡している天びんの一方                                天びん,測附属書1表1
      及び静的測 の皿に触針を接触させ,そ                                微器,微動による。
      定力の変化 のときのプローブの位置l1                                装置
      割合       を測微器で測定する。次に,
                 天びんの他方の皿に分銅を
                 載せ,微動装置を下げて検
                 出器の触針の平均値まで下
                 げた状態(l2の位置)で,天
                 びんを平衡にする。このと
                 きの分銅の質量Mから,静
                 的測定力f=M×g及び静的
                 測定力の変化の割合
                          f
                        l2l1
                 を求める。スキッド式では,
                 皿にスキッドが接触する寸
                 前の状態でl2及びMを測定
                 する。
  2 送り装置の 測定機の縦倍率を十分大き                                オプチカ  附属書1表3
      送り運動の くとり,評価長さについて                                ルフラッ  による。
      真直度     オプチカルフラット面の断                                ト
                 面曲線,すなわち,残差曲
                 線を求め,これを間隔が最
                 小となるような平行二直線
                 で挟むときのZ方向の間隔
                 を送り装置の送り運動の真
                 直度とする。
  3 縦倍率の相 オプチカルフラットに厚さ                                ブロック  附属書2によ
      対誤差     の異なるブロックゲージを                                ゲージ及  る。
                 リンギングしたもの,又は                                びオプチ
                 微動台,高さ標準などによ                                カルフラ
                 って触針に与えた上下変位                                ット,又は
                 zと測定値Zを用いて,次の                                高さ標準,
                 式から縦倍率の相対誤差                                  微動台
                   攀        %) を求める。
                             Z  z
                        Vv         100
                               z
                 この測定を各呼び倍率につ
                 いて行い,その最大値を測
                 定値とする。

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B 0651 : 2001(ISO 3274 : 1996)
 番号  検査項目         測定方法                   測定方法図             測定用具    許容値
  4 横倍率の相 間隔測定標準又は標準尺の                                間隔測定  附属書2によ
      対誤差     山間隔xを測定機で測定し,                               標準又は  る。
                 その山間隔xと測定値Xを                                  標準尺
                 用いて,次の式から横倍率
                 の相対誤差 攀        %) を求め
                 る。
                             X  x
                        Vh         100
                               x
                 この測定を各呼び倍率につ
                 いて行い,その最大値を測
                 定値とする。

――――― [JIS B 0651 pdf 20] ―――――

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