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K 0215 : 2016
3.5 表面分析機器
番号 用語 定義 対応英語(参考)
5001 イオン散乱分光法, 数百eV程度の運動エネルギーをもつ低速イオンビームion scattering
ISS を試料に入射し,散乱イオンのエネルギースペクトルかspectroscopy,
ISS
ら表面に存在する元素種と濃度とを分析し,また,散乱
イオン強度の入射角依存性によって表面上の原子配列を
決定する方法。
5002 イオンマイクロプローSIMSの一次イオンビームを集束させ,局所の元素分析ion microprobe mass
ブ質量分析計 を行う機器。 spectrometer
5003 X線光電子分光法, X-ray photoelectron
試料にX線を照射したときに放出される光電子の運動エ
XPS ネルギー分布を測定し,試料表面の元素の種類又は化学spectroscopy,
結合状態について解析する方法。 XPS
5004 X線モノクロメーター X-ray monochromator
高分解能の光電子スペクトルを得るため特性X線を単色
(X線光電子分光法 化する機器。 (of XPS)
の)
5005 エッチング(表面分析 etching (of surface
イオンなどの衝突によって固体の表面が削られる(侵食
の) される)現象。 analysis)
5006 エッチングイオン銃 試料の表面の原子層を表面から垂直方向に削る数百eVetching ion gun
数keVのイオンを発生する機器。
5007 エバネッセント効果 evanescent effect (of
全反射条件下で,物質界面において光が低屈折媒体中に
(紫外可視光の) 漏れ出す現象。 ultraviolet/visible)
5008 オージェ効果 Auger effect
励起状態にある原子が基底状態に遷移するとき,準位間
のエネルギー差に等しいエネルギーの光子を放出する代
わりに,原子内の他の電子にそのエネルギーを与えて非
放射的に基底状態に戻り,そのときに1個の電子を放出
する現象。
5009 オージェ電子 オージェ効果によって放出される核内電子。 Auger electron
5010 オージェ電子スペクト Auger electron spectrum
オージェ効果によって放出された電子の運動エネルギー
ル 分布のスペクトル。
5011 Auger electron
オージェ電子分光装置 電子又は光子を試料に照射したとき,オージェ効果によ
って極表面(数nm)から放出されるオージェ電子のス spectrometer
ペクトルを測定し,試料表面に存在する元素を分析する
機器。
5012 オージェ電子分光法, Auger electron
2 keV程度の電子線を試料に入射させ,オージェ効果に
AES よって得られるオージェ電子のエネルギー分布から,試spectroscopy,
料表面の元素を解析する電子分光法。 AES
5013 化学シフト(光電子分 chemical shift (of
原子の化学状態の変化に起因するピークエネルギーの変
光の) 化。 electron spectroscopy)
5014 化学力顕微鏡 化学力顕微法を用いて測定する走査プローブ顕微鏡。chemical-force
microscope
5015 化学力顕微法, chemical-force
特定分子と相互作用力が得られるように機能化されたせ
CFM ん(尖)鋭な探針先端の偏差を検出する手法。 microscopy,
CFM
5016 間欠接触モード, intermittent contact mode,
z変位方向の正弦波変調を探針に印加し,正弦波振動の
タッピングモード(走 tapping mode (of
一部分で探針先端と試料が接触するようにする走査モー
査プローブ顕微鏡 ド。 scanning probe
の) microscope)
5017 カンチレバー(走査プ cantilever (of scanning
探針先端から最も離れた位置にチップを接合し,力を検
ローブ顕微鏡の) 知して探針先端を保持する薄板。 probe microscope)
――――― [JIS K 0215 pdf 26] ―――――
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K 0215 : 2016
番号 用語 定義 対応英語(参考)
5018 グロー放電スペクトル glow discharge
グロー放電を利用して試料の成分元素を励起し,放射さ
法 れた光を分光して得られるスペクトルから成分分析を行spectrometry
う分析法。
5019 結合エネルギー binding energy
原子を構成する電子を原子から引き離すときに必要なエ
ネルギー。
5020 ケルビンプローブフォ Kelvin-probe force
ケルビンプローブフォース顕微法によって測定する走査
ース顕微鏡 プローブ顕微鏡。 microscope
5021 ケルビンプローブフォ Kelvin-probe force
導電性探針先端を使用して,探針先端と試料表面間との
ース顕微法, 相対電位の空間的又は時間的変化をダイナミックモードmicroscopy,
KPFM, AFMで測定する方法。 KPFM,
KFM KFM
5022 原子間力顕微鏡, 原子間力顕微法を用いて表面性状を画像化する装置。atomic force microscope,
AFM AFM
5023 原子間力顕微法 atomic force microscopy
表面力を検知するカンチレバー上のせん(尖)鋭な探針
先端のたわみをモニターしながら,試料表面を機械的に
走査することによって表面性状を画像化する方法。
5024 高速電子線回折法, high energy electron
高エネルギー(加速エネルギーが10 keV以上)の電子線
HEED を入射し,得られる回折像を解析する方法。 diffraction method,
HEED
5025 光電効果 photoelectric effect
物質が光のエネルギーを吸収して光電子(伝導電子を含
む。)が放出される現象。
5026 光電子 photoelectron
物質に真空紫外光,X線などの光を照射したきに光電効
果によって放出される電子。
5027 磁気力顕微鏡 磁気力顕微法を用いて測定する走査プローブ顕微鏡。magnetic-force
microscope
5028 磁気力顕微法, magnetic-force
探針先端と試料表面間との原子間力及び磁気的相互作用
MFM をモニターする探針アセンブリを使用したAFMモード microscopy,
による測定方法。 MFM
5029 真空紫外光電子スペク ultraviolet photoelectron
真空紫外光を試料に照射したときに,光電効果によって
トル 放出された光電子の運動エネルギー分布のスペクトル。spectrum
気体のスペクトルでは分子の振動スペクトル,固体のス
ペクトルでは固体の最外殻電子のスペクトル(バンドス
ペクトル)を含む。
5030 ultraviolet photoelectron
真空紫外光電子分光法, ヘリウム共鳴線(58.4 nm,21.2 eV)などの真空紫外線を
UPS 照射したときに放出される光電子の運動エネルギー分 spectroscopy,
UPS
布,角度分布などを測定し,試料の電子構造,原子配列
などを解析する方法。
5031 スパッタリング sputtering
固体の表面層の原子が荷電粒子との衝突によって除去さ
れる現象。
5032 cylindrical mirror
静電円筒鏡面形分析器 二つの同軸電極間に円筒形静電場を形成し,一定のエネ
ルギーの電子を収束する機器。 analyzer
5033 静電気力顕微鏡, electrostatic-force
静電気力顕微法(電気力顕微法)を用いて表面間の静電
電気力顕微鏡, 気力の分布を得る走査プローブ顕微鏡。 microscope,
EFM electric-force microscope,
EFM
5034 静電気力顕微法, electrostatic-force
導電性探針を使用して形状像及び探針先端−試料表面間
電気力顕微法 の静電気力の分布を得る方法。 microscopy,
electric-force microscopy
5035 静電半球形分析器 electrostatic
半球面形状の電極間に静電場を形成し,一定のエネルギ
ーの電子を二次元的に収束する機器。 hemispherical analyzer
――――― [JIS K 0215 pdf 27] ―――――
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K 0215 : 2016
番号 用語 定義 対応英語(参考)
5036 接触モード(走査プロ contact mode (of
常に探針−試料間に反発力がかかっている状態で,探針
ーブ顕微鏡の) と試料との相対的な高さを調整しながら,試料表面上にscanning probe
探針先端を走査するモード。 microscope)
5037 走査オージェ電子顕微 scanning Auger electron
細く絞った電子線を用いて試料表面を走査し,得られた
鏡, オージェ電子による元素像(オージェ像)によって表面microscope,
SAM の元素,それらの分布状態を解析する顕微鏡。 SAM
5038 走査近接場光顕微鏡 scanning near field
可視光領域でのエバネッセント効果を利用した光源をプ
ローブとして用い,それを走査しながら試料の光学的性optical microscope
質の変化を検出し,表面の構造を解析する顕微鏡。
5039 走査電気化学顕微鏡 scanning electrochemical
微小な金属探針の先で起きる局所的な電気化学反応によ
る電流値を金属探針を走査しながら測定する顕微鏡。 microscope
5040 走査トンネル顕微鏡, scanning tunneling
走査トンネル顕微法のモードを利用した走査プローブ顕
STM 微鏡。 microscope,
STM
5041 走査トンネル顕微法 scanning tunnelling
電圧印加された導電性探針の先端を機械的に走査するこ
とによって,トンネル電流と探針先端との表面距離のデmicroscopy
ータを用いて導電性表面をイメージングする方法。
5042 走査プローブ顕微鏡, scanning probe
走査型プローブ顕微法によって,試料表面の状態,各種
SPM の物性などを測定する顕微鏡。 microscope,
SPM
5043 走査プローブ顕微法 scanning probe
試料表面上を接触モード,非接触モード,タッピングモ
ード等で探針を機械的に走査しながら,検出器の応答をmicroscopy
同時測定し,表面の各種状態をイメージングする方法。
5044 ダイナミックモード dynamic-mode AFM,
探針先端と試料との相対位置を画像上の各ポイントで正
AFM, dynamic-force
弦波状に変化させるモードを利用した走査プローブ顕微
ダイナミックフォース鏡。 microscope,
顕微鏡, DFM
DFM
5045 脱出深さ escape depth
あるエネルギーをもつ電子がエネルギーを損失しないで
固体中を通過できる距離。
5046 探針, probe (of scanning probe
試料表面の微小領域を走査し,表面の形状及び相互作用
プローブ(走査プローを検出するカンチレバーの先端部及びその近傍。 microscope)
ブ顕微鏡の)
5047 低速電子線回折法, low energy electron
低エネルギー(加速エネルギーが1 keV以下)の電子線
LEED を試料に入射させて,電子線の回折像から試料の表面のdiffraction method,
原子構造を解析する方法。 LEED
5048 デプスプロファイル, depth profile
横軸に試料の表面から内部への距離,縦軸に原子,分子
深さプロファイル などの濃度をとったグラフ。
5049 電界イオン顕微鏡, field ion microscope,
試料表面から放出される電子又はイオンを用いて表面状
FIM(表面分析の) 態の拡大像を得る機器。 FIM (for surface analysis)
5050 電子線マイクロアナラ electron probe
細く絞った電子線を試料表面に照射し,発生する特性X
イザー, 線を分光して元素の組成及び分布を解析する機器。 microanalyzer,
EPMA EPMA
5051 トンネル電流 tunneling current
トンネル効果(ポテンシャル障壁を乗り越えるだけのエ
ネルギーをもたない電子が,その障壁を通り抜けること
ができる量子力学的な現象)によってポテンシャル障壁
を貫いて流れる電流。
5052 secondary ion-mass
二次イオン質量分析法, 高エネルギー(数keV20 keV)のイオンを試料に照射
SIMS し,スパッタリングによって放出される二次イオンを質spectrometry,
量分析計によって分析する方法。 SIMS
――――― [JIS K 0215 pdf 28] ―――――
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K 0215 : 2016
番号 用語 定義 対応英語(参考)
5053 reflection high energy
反射高速電子線回折法, 10 keV以上の電子線を試料表面に浅い角度で入射させ,
RHEED electron diffraction
試料表面の結晶格子で回折した反射図形を検出すること
で結晶表面の構造を分析する方法。 method,
RHEED
5054 非接触モード(走査プ non-contact mode
探針と試料の間に常に引力が働いている状態で走査する
ローブ顕微鏡の) モード。
5055 プラズモン plasmon
金属中の電子が電子間の静電的反発によって起こす量子
化されたプラズマ振動の現象。
5056 プラズモンピーク plasmon peak (of XPS)
X線光電子分光スペクトル中の内殻電子ピークの低エネ
(XPSの) ルギー側に現れるピーク。物質中で放出された光電子が
真空中に放出されるまでに固体中のプラズモンによって
運動エネルギーを奪われたために生じる。
5057 平均自由行程 mean free path
あるエネルギーをもつ電子が固体中を通過できる距離の
平均値。
3.6 分離分析機器
a) クロマトグラフ
番号 用語 定義 対応英語(参考)
6001 Rf値(薄層クロマトグ Rf value (of thin layer
分析種の移動距離を溶媒の移動最先端までの距離で除し
ラフィー又はペーパ た値。分析種の同定の指標として用いる。 chromatography or
ークロマトグラフィ paper chromatography)
ーの)
6002 アイソクラティック溶 isocratic elution (of liquid
単一組成の溶離液によって分析種を展開,溶出させる操
離法(液体クロマト 作。 chromatography)
グラフィーの)
6003 圧力勾配補正因子(ガj=(3/2) [(Pi/Po)2−1]/[(Pi/Po)3−1]で定義される値。充剤
pressure gradient
スクロマトグラフィが均一に詰められた一定の径をもつカラムについてのみcorrection factor (of
ーの) 適用できる。Pi及びPoはそれぞれカラム入口及び出口にgas chromatography)
おけるキャリヤーガスの圧力を表す。
6004 圧力プログラム法(ガ pressure programming
設定したプログラムに従って,移動相の圧力を変化させ
スクロマトグラフィ ながら分析種を展開させる方法。 method (of gas
ーの) chromatography)
6005 アフィニティークロマ affinity chromatography
生物学的親和性(酵素と基質,抗原と抗体など)を利用
トグラフィー した液体クロマトグラフィー。
6006 イオンクロマトグラフ イオンクロマトグラフィーを行う装置。 ion chromatograph
6007 イオンクロマトグラフ ion chromatography,
溶離液を移動相にしてカラムに試料を導入し,固定相と
ィー, IC
の相互作用(イオン交換など)の差を利用して,イオン
IC を測定する高速液体クロマトグラフィー。
6008 イオン交換クロマトグ ion-exchange
固定相にイオン交換能をもつ物質を用いてイオン解離性
ラフィー 分析種の分離を行う液体クロマトグラフィー。 chromatography
6009 移動相 mobile phase,
クロマトグラフィーが行われる場の要素の一つで,固定
moving phase
相に接して流れる気体,液体,超臨界流体などの流体。
6010 液液クロマトグラフィ liquid-liquid
固定相として液体を用いる液体クロマトグラフィー。
ー chromatography
6011 液固クロマトグラフィ liquid-solid
固定相として固体を用いる液体クロマトグラフィー。
ー chromatography
6012 液体クロマトグラフィ 移動相として液体を用いるクロマトグラフィー。 liquid chromatography,
ー, LC
LC
――――― [JIS K 0215 pdf 29] ―――――
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番号 用語 定義 対応英語(参考)
6013 液体クロマトグラフ 液体クロマトグラフィーを行う装置。 liquid chromatograph
6014 液体クロマトグラフィ liquid chromatography/
質量分析計を検出器とする液体クロマトグラフィー。
ー質量分析, mass spectrometry,
LC/MS LC/MS
6015 液体クロマトグラフ質 liquid chromatograph/
液体クロマトグラフと質量分析計とを結合した装置。
量分析計, mass spectrometer,
LC-MS LC-MS
6016 炎光光度検出器, flame photometric
還元性の水素炎中の硫黄又はりんによる発光を測定する
FPD(ガスクロマトグ ガスクロマトグラフ用検出器。 detector,
ラフィーの) FPD (of gas
chromatography)
6017 往復運動形プランジャ reciprocating pump
往復運動するプランジャーによって移動相(液体)を吸
ーポンプ(液体クロ 引,吐出させるポンプ。
マトグラフの)
6018 温度プログラム法 temperature
設定したプログラムに従ってカラム槽の温度を変化させ
るクロマトグラフィー。 programming method
6019 化学結合形充剤 担体表面に固定相となる物質を化学結合させた充剤。 chemically bonded
packings
6020 下降展開(ペーパーク移動相を下方に向けて移動させることで分離する手法。 descending development
ロマトグラフィーの) (of paper
chromatography)
6021 ガスクロマトグラフ ガスクロマトグラフィーを行う装置。 gas chromatograph
6022 ガスクロマトグラフィ 移動相として気体を用いるクロマトグラフィー。 gas chromatography,
ー, GC
GC
6023 ガスクロマトグラフィ gas chromatography/
質量分析計を検出器とするガスクロマトグラフィー。
ー質量分析, mass spectrometry,
GC/MS GC/MS
6024 ガスクロマトグラフ質 gas chromatograph/mass
ガスクロマトグラフと質量分析計とを結合した装置。
量分析計, spectrometer,
GC-MS GC-MS
6025 ガードカラム guard column
性能劣化を防ぐために分離カラムの前に設置する小形の
カラム。
6026 カラム column
クロマトグラフィーを行うために固定相を形成する物質
を保持させた管の総称。
6027 カラムクロマトグラフ column chromatograph
固定相としてカラムを使用した液体クロマトグラフ。
(液体クロマトグラ (for liquid
フィーの) chromatography)
6028 カラム槽 カラムを収容する槽。 column compartment
6029 気液クロマトグラフィ gas-liquid
固定相として液体を用いるガスクロマトグラフィー。
ー chromatography
6030 気固クロマトグラフィ gas-solid
固定相として固体を用いるガスクロマトグラフィー。
ー chromatography
6031 逆相クロマトグラフィ reversed phase
固定相よりも極性の高い移動相を用いる液体クロマトグ
ー ラフィー。 chromatography
6032 キャピラリーカラム 内径約l mm以下の中空カラム又は充カラムの総称。 capillary column (of gas
(ガスクロマトグラ chromatography)
フィーの)
――――― [JIS K 0215 pdf 30] ―――――
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JIS K 0215:2016の国際規格 ICS 分類一覧
- 01 : 総論.用語.標準化.ドキュメンテーション > 01.040 : 用語集 > 01.040.71 : 化学技術(用語集)