JIS K 0554:1995 超純水中の微粒子測定方法 | ページ 2

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K 0554-1995
(6) 4.4(7)の操作を行った空試験用のろ過膜について(1)(5)の操作を行う。
    注(18) ろ過膜の染色にフクシン(酸性)溶液 (2g/l) を用いて,次のように操作してもよい。
            ペトリ皿に硝酸 (1+5) 約5mlを入れ,ろ紙を浸す。そのろ紙上に捕集面を上にしてろ過膜
          を約2分間浸す。ろ紙で硝酸 (1+5) をふき取り,フクシン(酸性)溶液 (2g/l) 約5mlを入れ
          たペトリ皿にろ紙を浸し,その上に捕集面を上にしてろ過膜をおき,35分間放置してろ過膜
          上の微粒子を染色する。
            引き続いてメチレンブルー溶液 (0.2g/l) 約5mlを入れたペトリ皿にろ紙を浸し,その上に捕
          集面を上にしてろ過膜を6090秒間浸した後,裏面に残留しているメチレンブルー溶液をろ紙
          でふき取り,以下(4)以降の操作を行う。
5.5   測定 測定は,次による。
(1) 5.4の操作を行って調製したプレパラートを顕微鏡のステージ上に置く。この際,スライドガラスの長
    辺を可動ステージの座標軸と一致させる。
(2) 倍率を1 500倍又は2 000倍とし,ろ過膜の最上部の左端から右端へ(右端から左端へ)視野を移動さ
    せてろ過膜の右端まで検鏡する。次に,視野を下方に移し右端から左端(左端から右端)まで検鏡す
    る(19)。この操作をろ過膜の最下部まで繰り返して行い,ろ過膜の有効ろ過面積(20)の全域を含むよう
    に検鏡し,各視野ごとに粒径0.2         上の微粒子の大きさとその数を計数し(21),合計する。
      なお,視野数は,ろ過膜の有効ろ過面積に対し視野面積(22)の合計値(面積測定率)が0.1%(23)(24)
    以上になる値とする。
(3) 5.4(6)の操作を行った空試験用のろ過膜について(1)及び(2)の操作を行って,試料についての場合と同
    じ視野数について微粒子数を計数し,空試験値を求める(25)。
(4) 次の式によって試料中の微粒子数を,試料1lの個数として算出する。
                             Ns   Nb   A
                             ns   nb   a
                         N                 1000
                                Vs  Vb
                      ここに,   N :  試料中の微粒子数(個/l)
                                Ns :  測定した全微粒子数(個)
                                Nb :  空試験で求めた微粒子数(個)
                                ns :  測定した視野数
                                nb :  空試験での視野数
                                 A :  有効ろ過面積 (mm2)
                                 a :  一視野の面積 (mm2)
                                Vs :  試料 (ml)
                                Vb :  空試験に用いた試料 (ml)
    注(19) 検鏡時の視野を接眼レンズミクロメータの目盛幅と視野の移動距離から求め,この視野内の微
          粒子を計算する場合には,視野領域を上下に移動させて,微粒子が接眼レンズミクロメータの
          目盛を通過する際に行う。
            また,この場合には,視野領域の境界にかかった粒子については,視野領域の右辺及び下辺
          にかかった粒子は計数しない。
      (20) ろ過膜の有効ろ過面積は,使用するろ過器のろ過部の内径から求める。ろ過器に表示してある
          ものもある。
      (21) 微粒子の計数は,次の要領で行う。
          (a) 凝集したものは塊で1個とする。

――――― [JIS K 0554 pdf 6] ―――――

                                                                                              7
                                                                                    K 0554-1995
          (b) 連鎖状の微粒子は一つの連鎖で1個とする。
          (c) 微粒子に異なる種類の微粒子が付着しているものは,まとめて1個とする。
          (d) 接眼レンズミクロメータを中心にして上側の視野領域の境界にかかった粒子は計数しない。
          (e) ろ過膜の表面に捕集した微粒子だけを計数する。裏面や内部に存在するものは計数しない。
      (22) 視野面積は,顕微鏡の接眼レンズの視野直径及び対物レンズの倍率から求めるか又は対物ミク
          ロメータを用いて測定する。
      (23) 面積測定率が0.1%になるため視野数は,次の式によって求める。
                             A  k
                         n
                               100
                      ここに,   n :  視野数(個)
                                 A :  有効ろ過面積 (mm2)
                                 k :  面積測定率 (%)
                                 a :  一視野の面積 (mm2)
            また,注(19)の操作を行った場合には視野面積の代わりに一視野の領域面積を次の式によって
          求める。
                        a0=x×y
                      ここに, a0 :  一視野の領域面積 (mm2)
                                 x :  接眼レンズミクロメータの幅 (mm)
                                 y :  視野の移動距離 (mm)
      (24) 一視野当たりの微粒子数が約25個を超える場合には,面積測定率は0.1%未満としてもよい。
      (25) 4.の備考1.及び備考2.の操作で微粒子を捕集した場合には,次のように操作してろ過膜の空試
          験値を求める。
            ろ過膜をピンセットを用いて容器から取り出し,5.4及び5.5の操作を行い,ろ過膜の微粒子
          の大きさとその数を求める。この操作を,同一容器の中からろ過膜5枚以上を無作為に取り出
          して繰り返し,それぞれのろ過膜の微粒子の大きさとその数を求め,これらの平均値を求めて,
          空試験値とする。
    備考 光学顕微鏡の接眼レンズミクロメータの校正は,対物ミクロメータを可動ステージ上に置き,
          これを基準として接眼レンズミクロメータの目盛が何                        総合倍率1 5002
          000倍について定期的に行う。ただし,校正は接眼レンズミクロメータの全体に対して行い,
          目盛の一部については行わない。
6. 走査形電子顕微鏡による測定 ろ過膜に捕集した微粒子を走査形電子顕微鏡を用いて,微粒子の大き
さ及びその数を計数する。この方法は,粒径0.110        湟   粒子に適用する。
6.1   試薬 試薬は,次のものを用いる。
(1) 水 蒸留水又はイオン交換水を孔径0.1         下のろ過膜(2)でろ過する。この試験及び器具類の洗浄に
    はこの水を用いる。
6.2   器具及び装置 器具及び装置は,次のとおりとする。
(1) 走査形電子顕微鏡 走査形電子顕微鏡は,最小粒子径0.1              定するのに十分な分解能をもったも
    の(26)。
(2) 真空蒸着装置 真空蒸着装置は,微粒子を捕集したろ過膜に金,その他の導電性の材料を蒸着できる
    もの。

――――― [JIS K 0554 pdf 7] ―――――

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(3) 試料台 試料台は,アルミニウム製,黄銅製又はステンレス鋼製のもの。
(4) 両面テープ及び銀ペースト 両面テープ及び銀ペーストは,微粒子を捕集したろ過膜を走査形電子顕
    微鏡の試料台に固定できるもの。
(5) ピンセット 4.2(3)による。
(6) 超音波洗浄器 4.2(4)による。
(7) クリーンベンチ 4.2(5)による。
    注(26) 走査形電子顕微鏡の倍率表示マークは,定期的に粒径1         度のポリスチレン系の標準粒子を
          用いて校正する。
6.3   器具類の洗浄 試料台,ピンセットなどは,4.3によって洗浄する。
6.4   測定用試料の調製 測定用試料の調製は,次による。
(1) 4.4で試料中の微粒子を捕集したろ過膜(孔径0.1         下を用いる。)を5.4(1)の操作を行って自然乾
    燥させた後,両面テープ又は銀ペーストを用いて試料台に固定する。
(2) ろ過膜及び捕集した微粒子に,金,その他の導電性の材料を蒸着する。
(3) 4.4(7)の操作を行った空試験用のろ過膜について(1)及び(2)の操作を行う。
6.5   測定 測定は,次による。
(1) 6.4の(1)及び(2)の操作を行ったろ過膜を固定した試料台を走査形電子顕微鏡の試料室に入れる。
(2) 倍率を5 000倍以上とし,ろ過膜の最上部の左端から右端へ(右端から左端へ)視野を移動させてろ
    過膜の右端まで走査し各視野の写真撮影を行う(27)。次に,視野を下方に移し右端から左端(左端から
    右端)まで走査し写真撮影を行う(27)。この操作をろ過膜の最下部まで繰り返して行い,ろ過膜の有効
    ろ過面積(20)の全域を含むように走査し,撮影した写真上で各視野ごとに粒径0.1      上の微粒子の大
    きさとその数を計数し(21)(28),合計する。
      なお,視野数は,ろ過膜の有効ろ過面積に対し視野面積(29)の合計値(面積測定率)が0.01%(30)以上
    になる値とする。
(3) 6.4(3)の操作を行った空試験用のろ過膜について(1)及び(2)の操作を行って試料と同じ視野数について
    微粒子数を計数し,空試験値を求める(31)。
(4) 5.5(4)の式によって試料中の微粒子数を,試料1lの個数として算出する。
    注(27) 走査形電子顕微鏡の画面上で粒径0.1        上の微粒子が鮮明に観察できる場合には画面上で微
          粒子の大きさとその数を計数してもよい。
      (28) 電子顕微鏡の視野が円形の場合には円の横方向の中心線から上辺の境界にかかった粒子は計数
          しない。
      (29) 装置の形式及び倍率によって決まる。
      (30) 面積測定率が0.01%になるための視野数は注(23)の式を用いる。
      (31) 4.の備考1.及び備考2.の操作で微粒子を捕集した場合には,次のように操作してろ過膜の空試
          験値を求める。
            ろ過膜をピンセットを用いて容器から取り出し,6.4及び6.5の操作を行い,ろ過膜の微粒子
          の大きさとその数を求める。この操作を,同一容器の中からろ過膜5枚以上を無作為に取り出
          して繰り返し,それぞれのろ過膜の微粒子の大きさとその数を求め,これらの平均値を求めて,
          空試験値とする。

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                                                                                    K 0554-1995
7. 微粒子自動計測器による測定 試料を配管から微粒子自動計測器(以下,自動計測器という。)に導入
して微粒子の相対的な大きさ及び数を連続的に測定する。この方法は,粒径0.210        湟  粒子に適用す
る(32)。
    注(32) 自動計測器の種類によって測定値が異なることがある。
7.1   試薬 試薬は,次のものを用いる。
(1) 水 6.1(1)による。
(2) 過酸化水素水 (30g/l)  4.1(2)による。
(3) 微粒子標準液 ポリスチレン系の微粒子標準液。粒径0.2                33)(34)。
(4) 校正液 微粒子標準液を水で希釈して粒子数が105106個/mlの範囲の液を調製して校正液とする。
    この校正液の正確な濃度は,次のようにして求める。
      粒子数約106個を含むように校正液の一定量をとり,水で約100mlに希釈する。この液の全量を用
    いて液中の微粒子を4.の備考2.に準じて孔径0.1                    に捕集する。引き続いて6.4及び6.5
    に従って微粒子の粒径及び数を測定し,校正液1ml中の粒子数を算出する。
      なお,希釈及びろ過の操作は,クリーンベンチ内で行う。
    注(33) 粒径の変動係数が4%以下のものを用いる。市販品を使用できる。市販の微粒子標準液は,通常
          は安定であるが,これを水で希釈すると不安定になる。
      (34) 試験目的によって,粒径を0.2        外(10         下)のものを用いる。
7.2   装置 装置は,次のとおりとする。
(1) 自動計測器 光散乱方式微粒子自動計測器
(2) 試料採取弁 4.2(1)(a)による。
(3) 接続具 4.2(1)(b)による。
(4) 試料導入管 4.2(1)(c)による。
(5) クリーンベンチ 4.2(5)による。
7.3   自動計測器の接続 自動計測器の接続は,次のとおりとする。
(1) 4.4の(1)及び(2)の操作を行った後,自動計測器に適した流量(35)に試料採取弁を調節して約15分間放
    流する。
(2) 次に,自動計測器の試料導入口と試料導入管を直結する。
    注(35) 自動計測器の種類によって異なる。
7.4   校正 校正は,次のとおりとする(36)。
(1) 自動計測器に一定の流量(37)で試料を導入する。
(2) 自動計測器の電源を入れ,作動状態とする。
(3) 指示値が安定した後,粒径0.2              を一定流量で自動計測器に注入して(38),指示値を読む。
(4) 校正液の注入流量を変え,指示値を読む。
(5) 試料の流量と校正液の注入流量とから校正液を加えた試料中の微粒子数(個/l)を算出し,指示値と
    の関係を求める(39)。
    注(36) 機種によって,校正方法が異なる場合がある。その場合には,この方法に準じて校正する。
      (37) 通常,10500ml/minが用いられる。
      (38) 試料導入管に分岐管を設け,校正液が試料中に均一に希釈されるように注入ポンプを用いて一
          定流量で注入する。
      (39) 目的によって,粒径0.2       外の校正液についても,(3)(5)の操作を行い,校正液を加えた試

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          料中の粒子数(個/l)を算出し,指示値との関係を求める。
7.5   測定 測定は,次による。
(1) 自動計測器に一定の流量(37)で試料を導入する。
(2) 自動計測器の電源を入れ,作動状態とする。
(3) 指示値が安定した後,連続して5回指示値を読む。
(4) 5回の平均値を求める。
(5) この値と,7.4で求めた粒子数と試料中の微粒子数(個/l)の関係から,試料中の微粒子数(個/l)
    を求める。
    備考 次の操作によって試料を試料容器に採取した後,自動計測器を用いて微粒子数(個/l)を求め
          ることができる。ただし,試料容器の汚れと操作中の微粒子による汚染に十分な注意が必要で
          あり,微粒子数の少ない試料には適用しにくい。
            4.の備考1.に従い,試料容器(1l以上)に試料を採取する。7.3及び7.4の操作によって自動
          計測器の校正を行った後,試料導入口から一定の流量(通常,10500ml/minが用いられる。)
          で水を流しておく。次に,試料容器中の試料を自動計測器に導入し,指示値を読み,試料中の
          微粒子数(個/l)を算出する。
            なお,これらの操作は,クリーンベンチ内で行う。
8. 結果の表示 測定結果を表示する場合には,必ず測定方法を記載する。
                                        付表1 引用規格
    JIS B 7132 液浸系レンズ用生物顕微鏡
    JIS B 7147 生物顕微鏡用対物レンズ
    JIS B 7148 顕微鏡用接眼レンズ
    JIS B 7149 顕微鏡用101mm目盛接眼レンズミクロメータ
    JIS B 7152 生物顕微鏡用対物レンズ及び接眼レンズ−性能測定方法
    JIS B 9922 クリーンベンチ
    JIS K 0050 化学分析方法通則
    JIS K 0094 工業用水・工場排水の試料採取方法
    JIS K 0101 工業用水試験方法
    JIS K 0211 分析化学用語(基礎部門)
    JIS K 0950 プラスチック製滅菌シャーレ
    JIS K 2400 顕微鏡用液浸油
    JIS K 8102 エタノール (95) (試薬)
    JIS K 8230 過酸化水素(試薬)
    JIS K 8574 水酸化カリウム(試薬)
    JIS K 8798 フェノール(試薬)
    JIS K 8804 塩基性フクシン(試薬)
    JIS K 8897 メチレンブルー(試薬)
    JIS P 3801 ろ紙(化学分析用)

――――― [JIS K 0554 pdf 10] ―――――

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