JIS Z 2331:2006 ヘリウム漏れ試験方法

                                                                                   Z 2331 : 2006

まえがき

  この規格は,工業標準化法第14条によって準用する第12条第1項の規定に基づき,社団法人日本非破
壊検査協会(JSNDI)/財団法人日本規格協会(JSA)から,工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)を改正すべき
との申出があり,日本工業標準調査会の審議を経て,経済産業大臣が改正した日本工業規格(日本産業規格)である。
  これによって,JIS Z 2331:1992は改正され,この規格に置き換えられる。
  この規格の一部が,技術的性質をもつ特許権,出願公開後の特許出願,実用新案権,又は出願公開後の
実用新案登録出願に抵触する可能性があることに注意を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会
は,このような技術的性質をもつ特許権,出願公開後の特許出願,実用新案権,又は出願公開後の実用新
案登録出願にかかわる確認について,責任はもたない。
  JIS Z 2331には,次に示す附属書がある。
    附属書1(規定)真空吹付け法(スプレー法)
    附属書2(規定)真空外覆法(真空フード法)
    附属書3(規定)吸込み法(スニッファー法)
    附属書4(規定)加圧積分法
    附属書5(規定)吸盤法(サクションカップ法)
    附属書6(規定)真空容器法(ベルジャー法)
    附属書7(規定)浸せき法(ボンビング法)

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――――― [JIS Z 2331 pdf 1] ―――――

Z 2331 : 2006

pdf 目 次

ページ

•  1. 適用範囲・・・・[1]
•  2. 引用規格・・・・[1]
•  3. 定義・・・・[1]
•  4. 試験方法の種類・・・・[1]
•  5. 測定の原理・・・・[1]
•  6. 試験装置・・・・[2]
•  7. 試験方法・・・・[3]
•  8. 記録・・・・[3]
•  附属書1(規定)真空吹付け法(スプレー法)・・・・[5]
•  附属書2(規定)真空外覆法(真空フード法)・・・・[10]
•  附属書3(規定)吸込み法(スニッファー法)・・・・[13]
•  附属書4(規定)加圧積分法・・・・[19]
•  附属書5(規定)吸盤法(サクションカップ法)・・・・[22]
•  附属書6(規定)真空容器法(ベルジャー法)・・・・[25]
•  附属書7(規定)浸せき法(ボンビング法)・・・・[28]

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――――― [JIS Z 2331 pdf 2] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                              Z 2331 : 2006

ヘリウム漏れ試験方法

Method for helium leak testing

1. 適用範囲

 この規格は,ヘリウムガスとリークディテクタとを用い,漏れ量及び漏れ箇所を検知する
漏れ試験方法について規定する。
  なお,この規格で規定する試験方法,判定基準及び諸式は,実用性を重視したものである。

2. 引用規格

 次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成す
る。これらの引用規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。
    JIS Z 2300 非破壊試験用語
    JIS Z 2330 ヘリウム漏れ試験方法の種類及びその選択
    JIS Z 8754 真空技術―質量分析計形リークディテクター校正方法

3. 定義

 この規格で用いる主な用語の定義は,JIS Z 2300及びJIS Z 2330による。

4. 試験方法の種類

 試験方法は,次の7種類の方法とする。
a) 真空吹付け法(スプレー法)
b) 真空外覆法(真空フード法)
c) 吸込み法(スニッファー法)
d) 加圧積分法
e) 吸盤法(サクションカップ法)
f)  真空容器法(ベルジャー法)
g) 浸せき法(ボンビング法)
  なお,上記試験方法の種類の具体的選択は,JIS Z 2330の 5.(ヘリウム漏れ試験方法の選択)による。

5. 測定の原理

 分析管の動作原理の一例を,図1に示す。試験体の漏れ箇所から流入(又は流出)する
微量のヘリウムガスをリークディテクタに導き,分析管のイオンチャンバ内でフィラメントからの電子ビ
ームによりイオン化させる。この生成イオンを加速電圧によって加速スリットで加速し,飛び出させて磁
場内に導く。質量に応じて特有の円軌道を描いて進むヘリウムイオンの到達位置にスリットを設けること
によって,これをイオンコレクタに集める。ヘリウムイオンを微少電流としてとらえ、増幅器で増幅する
ことによりメータ上に指示させる。漏れ量に比例するメータの指示値から漏れ量の定量化を行う。

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                                                           増幅器-メーターへ
                                             N
                                                             イオンコレクタ
                          サプレッサスリット                   シールド
                フィラメント
                                                                           アーススリット
         イオンチャンバ                                    ヘリウムイオン
            フォーカススリット                             軽いイオン
                    加速スリット                           重いイオン
                                              S
                                             磁場
                                          (マグネット)
                                 図 1 分析管の動作原理の一例

6. 試験装置

 ヘリウム漏れ試験は,試験方法によって次の装置を適宜に組み合わせて行う。
a) リークディテクタ ヘリウムガスを検知ガスとし,質量分析管を作動可能な真空状態に保つための真
    空排気系を内蔵する質量分析計形リークディテクタであって,JIS Z 8754によって校正されたものを
    いう。リークディテクタの一例を,図2に示す。
     装置単体の校正と,それに基づく出力値をリーク量として直読できる自動化された試験装置につい
    ては、試験方法により真のリーク量を求めるためには直読値を校正しなければならない。
                                リークディテクタ
                                                     外部接続口
                                       粗引バルブ
                                                          テストバルブ
                                            ペニング真空計
                                                  ・          M.A
                                                           分析管
                                      フォアバルブ
                                                 ターボ分子ポンプ
                                         油回転真空ポンプ
                                  図 2 リークディテクタの一例

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                                                                                   Z 2331 : 2006
b) 校正リーク リークディテクタの感度を校正するためのもので,真空法には校正リークを,加圧法に
    は校正リーク又はヘリウムガス濃度が明確となった混合ガスを使用する。校正リークにはチャネル形
    及びメンブレン形があるが,ヘリウムガスの透過を利用したメンブレン形の校正リークは、権威ある
    検定機関で測定されたトレーサビリティの確保された校正リーク,又は使用者が校正リーク相互間の
    比較によって,ばらつきが実用上問題のないことを確認した校正リークを使用する。
c) 補助排気装置 試験体を真空にするための真空ポンプ及び計測器,大排気速度真空ポンプ,真空計な
    どで構成する。
d) 試験材料 サーチガス,コールドトラップなどを使用する。
  1) サーチガス サーチガスとして,ヘリウムガスを使用する。ヘリウム混合ガスを使用する場合は,
      測定によって得られた試験結果をヘリウムガスの混合比率で補正する。
  2) コールドトラップ リークディテクタに搭載されているコールドトラップは,水分及び油分をトラ
      ップ表面に凝縮させ,分析管に到達させないために使用する。冷却媒として液体窒素を使用するが,
      水分,油分などを十分凝縮できるなら,他の物質を用いてもよい。
e) その他 附属品としては,次のようなものを使用する。
  1) 液体窒素を入れるための魔法瓶
  2) サーチガス供給のためのヘリウムガスボンベ
  3) 圧縮機及び減圧弁
  4) 真空系及び加圧系を組み立てるための各種継手,配管など
  5) 試験体の圧力を計測するための圧力計(真空計を含む。)

7. 試験方法

 試験方法は,附属書17による。

8. 記録

 少なくとも次の項目を記録する。
a) 品名及び個数
b) 製品番号
c) 試験条件
  1) 試験方法の種類
  2) 加圧法の場合 試験圧力及び温度
  3) 試験装置の器番
  4) 試験体の容積
  5) ヘリウムガス濃度
  6) 検出感度
d) 試験実施年月日
e) 試験場所
f)  試験者氏名
g) 試験結果

――――― [JIS Z 2331 pdf 5] ―――――

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