JIS H 0602:1995 シリコン単結晶及びシリコンウェーハの４探針法による抵抗率測定方法 | ページ 2

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H 0602-1995
                      付表3 1828℃の範囲内のシリコンの抵抗率の温度係数
       抵抗率                温度係数                抵抗率                温度係数
                            攀      攀                                    攀      攀      
         攀            N形            P形              攀            N形            P形
     0.000 6         0.002 00        0.001 60          1.0         0.007 36        0.007 07
     0.000 8         0.002 00        0.001 60          1.2         0.007 47        0.007 22
                                                       1.4         0.007 55        0.007 34
     0.001 0         0.002 00        0.001 58          1.6         0.007 61        0.007 44
     0.001 2         0.001 84        0.001 51          2.0         0.007 68        0.007 59
     0.001 4         0.001 69        0.001 49          2.5         0.007 74        0.007 73
     0.001 6         0.001 61        0.001 48
     0.002 0         0.001 58        0.001 48          3.0         0.007 78        0.007 83
     0.002 5         0.001 59        0.001 45          3.5         0.007 82        0.007 91
                                                       4.0         0.007 85        0.007 97
     0.003 0          0.001 56       0.001 37          5.0         0.007 91        0.008 05
     0.003 5          0.001 46       0.001 27          6.0         0.007 97        0.008 11
     0.004 0          0.001 31       0.001 16          8.0         0.008 06        0.008 19
     0.005 0          0.000 96       0.000 94
     0.006 0          0.000 60       0.000 74         10           0.008 13        0.008 25
     0.008 0          0.000 06       0.000 46         12           0.008 18        0.008 29
                                                      14           0.008 22        0.008 32
     0.010          −0.000 22       0.000 31         16           0.008 24        0.008 35
     0.012          −0.000 31       0.000 25         20           0.008 26        0.008 40
     0.014          −0.000 26       0.000 25         25           0.008 27        0.008 45
     0.016          −0.000 13       0.000 29
     0.020            0.000 25       0.000 45         30           0.00828         0.008 49
     0.025            0.000 83       0.000 73         35           0.00829         0.008 53
                                                      40           0.00830         0.008 57
     0.030            0.001 39       0.001 02         50           0.00830         0.008 62
     0.035            0.001 90       0.001 31         60           0.00830         0.008 67
     0.040            0.002 35       0.001 58         80           0.00830         0.008 72
     0.050            0.003 09       0.002 08
     0.060            0.003 64       0.002 51        100           0.00830         0.008 76
     0.080            0.004 39       0.003 20        120           0.00830         0.008 78
                                                     140           0.00830         0.008 79
     0.10             0.004 86       0.003 72        160           0.00830         0.008 80
     0.12             0.005 17       0.004 12        200           0.00830         0.008 82
     0.14             0.005 40       0.004 44        250           0.00830         0.008 84
     0.16             0.005 58       0.004 71
     0.20             0.005 85       0.005 12        300           0.00830         0.008 86
     0.25             0.006 09       0.005 48        350           0.00830         0.008 88
                                                     400           0.00830         0.008 91
     0.30             0.006 27       0.005 75        500           0.00830         0.008 97
     0.35             0.006 43       0.005 96        600           0.00830         0.009 00
     0.40             0.006 56       0.006 13        800           0.00830         0.009 00
     0.50             0.006 78       0.006 39
     0.60             0.006 96       0.006 59      1 000           0.008 30        0.009 00
     0.80             0.007 20       0.006 87    >1 000           0.008 30        0.009 00
      備考 P形シリコンについては,ほう素を添加したものだけに適用される。イタリック体で示した数字は,
                                                                       攀
           測定点をスムーズな曲線で表したときの曲線上の点を示す。抵抗率1 000    上の温度係数は,外
           挿によって求めた。

――――― [JIS H 0602 pdf 6] ―――――

                                                                                              7
                                                                                    H 0602-1995
                          付表4 単結晶及びウェーハの抵抗率と測定電流
                                  抵抗率 地                   電流
                                            0.075以下        100mA
                            0.075を超え     0.75  以下        10mA
                            0.75 を超え     7.5   以下         1mA
                            7.5  を超え    75     以下       100 
                           75    を超え   750     以下        10 
                          750    を超え  2 000    以下         1 
                        2 000を超えるとき                     0.1 
                           備考 電流値の選定は,厚さが500         ェーハで中
                                探針の電位差が33mV以下になるようにした。
                    JIS原案作成委員会 構成表(平成2年1月1日改正のとき)
                                     氏名                         所属
        (委員長)             水 間 基一郎      日本シリコン株式会社
        (幹事)               徳 丸 洋 三       中央大学
        (幹事)               高 須 新一郎      東芝セラミックス株式会社
                               伊 藤 大 基       小松電子金属株式会社
                               津 屋 英 樹       日本電気株式会社
                               上 田 貴 士       九州電子金属株式会社
                               白 井 省 三       信越半導体株式会社
                               小 林 則 夫       株式会社東芝
                               安 楽 一 宏       沖電気工業株式会社
                               青 島 孝 明       株式会社日立製作所
                               本 田 耕一郎      株式会社富士通研究所
                               三 溝 宣 秀       日本モンサント株式会社
                               前 田 勲 男       工業技術院
        (関係者)             池 田 順 一       財団法人日本規格協会
        (事務局)             宮 下 敏 也       社団法人日本電子工業振興協会