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Z 8129 : 2014
[20] SUGINUMA, S., HIRATA, M. Dependence of sensitivity coefficient of a nude-type Bayard-Alpert gauge on the
diameter of an envelope. Vacuum 1999,53,pp. 177-180
――――― [JIS Z 8129 pdf 21] ―――――
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Z 8129 : 2014
附属書JA
(参考)
JISと対応国際規格との対比表
JIS Z 8129:2014 真空技術−真空計−熱陰極電離真空計の仕様の表記法 ISO 27894:2009 Vacuum technology−Vacuum gauges−Specifications for hot cathode ionization
gauges
(I) JISの規定 (II) (III)国際規格の規定 (V) JISと国際規格との技術的差
(IV) JISと国際規格との技術的差異の箇条ごとの評価及
国際規 びその内容 異の理由及び今後の対策
箇条番号 内容 格番号 箇条 内容 箇条ごと 技術的差異の内容
及び題名 番号 の評価
2 引用規格
3 用語及び 3.1.0A 真空計 − − 追加 3.1.0Aとして真空計の定義を追加した。技術
定義 的差異はない。
3.2.4 補正係数 3.2.4 追加 注記で式(6)の曖昧さを回避した。 今後ISO規格に反映させること
を提案する。
3.2.5 相対補正係 3.2.5 追加 注記で式(8)の曖昧さを回避した。 今後ISO規格にも反映させるこ
数 とを提案する。
3.2.6 暖機時間 3.2.6 追加 使用条件によって暖機時間が異なることをISO規格に反映させることを提
明記した。 案する。
3.2.7 残留電流 3.2.7 追加 ここで定義されている残留電流の主たる成ISO規格に反映させることを提
案する。
分が,超高真空領域において得られるもので
あることを明記した。
4 記号及び 表1 fcx/N2 4 追加 ISO規格に反映させることを提
3.2.5の式(7)を明確にするために追加した。
単位 技術的な差異はない。 案する。
表1 pcN2 4 追加 ISO規格に反映させることを提
3.2.5の式(8)を明確にするために追加した。
技術的な差異はない。 案する。
6 製造業者 6.2 表示及び測定 6.2 変更 計量法に基づき,使用単位はSI単位とした。
が提示する 信号出力
熱陰極電離 6.3 測定圧力範囲 6.3 変更 計量法に基づき,使用単位はSI単位とした。
Z8
真空計の仕
12
様を表す項
9 : 2
目
0 14
2
――――― [JIS Z 8129 pdf 22] ―――――
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Z 8129 : 2014
Z8
2
(I) JISの規定 (II) (III)国際規格の規定 (V) JISと国際規格との技術的差
(IV) JISと国際規格との技術的差異の箇条ごとの評価及
1
国際規 びその内容 異の理由及び今後の対策
29
格番号
: 2
箇条番号 内容 箇条 内容 箇条ごと 技術的差異の内容
0
及び題名 番号 の評価
14
6 製造業者 6.4 測定の不確か 6.4 変更 不確かさ又は正確さ
が提示する さ [uncertainty (accuracy) ]を不確かさに統一し
熱陰極電離 た。
真空計の仕 式(10)をより一般的な式に置き換え,より的
様を表す項 確なものとした。
目(続き) 6.5 残留電流相当 6.5 変更 計量法に基づき,単位はSI単位とした。
圧力
6.7 外囲器の種類 6.7 一致 外囲器の材料,測定子の材料は明記されてい
及び測定子の材料 7.3 ることが一般的であることからISOの6.7及
び7.3をまとめた。
6.15 制御部への入 6.15 追加 交流の場合の表記条件を明確にした。
力電力
7 熱陰極電 7.0A 一般 − − 追加 箇条7の目的を明確にするため追加した。
離真空計の 技術的差異はない。
仕様を表す 7.4 脱ガス法 7.4 変更 損傷を受けるのが熱陰極だけでなく,測定子
項目(任意) 全体である。
7.11 記録及び校正 7.11 追加 注記で,日本においてトレーサビリティを証
証明書 明することのできる校正証明書に関して追
記した。
技術的差異はない。
8 熱陰極電 8.0A 一般 − 追加 箇条8の目的を明確にするため追加した。
離真空計に 技術的差異はない。
おける測定 8.7 使用前の点検 8.7 追加 ISO規格に反映させることを提
測定子の洗浄,交換によって感度,読み値の
の不確かさ 及び洗浄 変化があることが一般的であるため追加し案する。
の要因 た。技術的差異はない。
8.12 測定子の取付 8.12 追加 測定子の取り付けによって感度が異なるこISO規格に反映させることを提
位置及び取付け向 とに対する具体的な例を示した。 案する。
き 技術的な差異はない。
JISと国際規格との対応の程度の全体評価 : ISO 27894:2009,MOD
――――― [JIS Z 8129 pdf 23] ―――――
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Z 8129 : 2014
注記1 箇条ごとの評価欄の用語の意味は,次による。
− 一致·················· 技術的差異がない。
− 追加·················· 国際規格にない規定項目又は規定内容を追加している。
− 変更·················· 国際規格の規定内容を変更している。
注記2 JISと国際規格との対応の程度の全体評価欄の記号の意味は,次による。
− MOD··············· 国際規格を修正している。
Z8 129 : 2
0 14
2
JIS Z 8129:2014の引用国際規格 ISO 一覧
- ISO 27894:2009(MOD)
JIS Z 8129:2014の国際規格 ICS 分類一覧
- 23 : 一般的に利用される流体システム及びその構成要素 > 23.160 : 真空技術
JIS Z 8129:2014の関連規格と引用規格一覧
- 規格番号
- 規格名称