JIS B 0090-5:2010 光学素子及び光学システム用の製図手法―第５部：表面形状公差 | ページ 2

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B 0090-5 : 2010 (ISO 10110-5 : 2007)
  表面形状公差は,光学的有効範囲内に適用する。ただし,光学的有効範囲よりも小さな,任意の被検領
域を,光学的有効範囲内のいずれの位置についても適用する場合には,公差表示に被検領域の直径を次の
ように追記する。
− 3/A(B/C)   MSx  公差指示の例については,箇条6の例3を参照。
  この規格は,全表面形状偏差[サジッタ偏差及びイレギュラリティの両方を含む(JIS B 0091の3.2.3参
照)。]の最大高低差(PV)を公差として指示する方法は規定しない。このような指示が必要な場合には,
その情報は,例えば,“全表面形状偏差は0.25波長以下である”,又は,“全表面形状偏差は150 nm以下で
ある”のように図面に注記として指示する。
    注記 このような指示は,例えば,干渉計のオプティカルフラットに対し有効である。

5.4 位置

  位置は,該当面への引出し線によって指示する。また,偏心公差及び表面欠陥許容値も併せて指示する。
この指示の例は,JIS B 0090-1の附属書Aを参照。
  レンズ素子に対しては,上記指示の代わりに,JIS B 0090-10に従って表で指示することもできる。
  二つ以上の光学素子が接合(又は,オプティカルコンタクト)されることになるとき,個々の素子に指
示した表面形状公差は,特記のない限り接合(又は,オプティカルコンタクト)後の光学的部分組立部品
の各面にも適用する(JIS B 0090-1の4.8.3参照)。

6 公差指示の例

  この規格による公差指示の例及びその説明は,次による。
    例1 3/3(1)
            サジッタ偏差の公差は,3本である。イレギュラリティは,1本以下である。
    例2 3/5(─)   MSi<0.05
            サジッタ偏差の公差は,5本である。イレギュラリティと回転対称なイレギュラリティに対
          する特定の公差は,指示しないが,イレギュラリティのrms値は,0.05本未満である。
    例3 3/3(1/0.5);λ=632.8 nm (allφ20)
            サジッタ偏差の公差は,3本である。全イレギュラリティは,1本以下である。回転対称な
          イレギュラリティは,0.5本以下である。これらの公差は,直径20 mmの被検領域が光学的
          有効範囲内のいずれの位置にあっても適用する。すべての面形状偏差を規定する波長は,λ=
          632.8 nmである。
               注記 ナノメートル表示の場合 : 3/949.2 nm(316.4 nm/158.2 nm)(allφ20)
    例4 3/─(1)
            サジッタ偏差の公差は指示しないが,曲率半径の公差は,曲率半径表示方式で指示する。全
          イレギュラリティは,1本以下である。
               注記 曲率半径の公差を指示しない場合は,JIS B 0090-11の表1を適用する。
    例5 3/─RMSt<0.07;RMSa<0.035;λ=405 nm
            サジッタ偏差,イレギュラリティ,及び回転対称なイレギュラリティについての公差は指示
          しないが,曲率半径の公差は,曲率半径表示方式で指示する。しかし,面を望ましい理論面と
          比較するときは,全rms及びrms回転非対称なイレギュラリティは,それぞれ0.07本及び0.035
          本未満でなければならない。すべての面形状偏差を規定する波長は,λ=405 nmである。

――――― [JIS B 0090-5 pdf 6] ―――――

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                                                                B 0090-5 : 2010 (ISO 10110-5 : 2007)
               注記 曲率半径の公差を指示しない場合は,JIS B 0090-11の表1を適用する。
    例6 3/600 nm (300 nm/150 nm) (allφ20)
            サジッタ偏差の公差は,600 nmである。全イレギュラリティは,300 nm未満でなければなら
          ない。回転対称なイレギュラリティは,150 nm未満でなければならない。これらの公差は,直
          径20 mmの被検領域が光学的有効範囲内のどこの位置にあっても適用する。

――――― [JIS B 0090-5 pdf 7] ―――――

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B 0090-5 : 2010 (ISO 10110-5 : 2007)
                                          附属書A
                                          (参考)
                  サジッタ偏差の公差と曲率半径の公差との関係
  比     刀一到              は,曲率半径寸法公差に相当するしまの最大許容本数Nは,次の式による。
                                              2
                             2ΔR         d
                         N         1  1
                              λ          2R
  比d/Rが小さい場合は,この式の近似式は,次の式による。
                                 2
                             d      ΔR
                         N
                             2R      λ
                      ここに,         R :  曲率半径
                                      ΔR :  曲率半径寸法公差
                                       d :  被検領域の直径
                                       λ :  波長(通常546.07 nm)
参考文献 [1] JIS B 0090-11 光学素子及びシステム用の製図手法−第11部 : 公差表示のないデータ
                 注記 対応国際規格 : ISO 10110-11:1996,Optics and photonics−Preparation of drawings for
                      optical elements and systems−Part 11 : Non-toleranced data(IDT)
          [2] JIS B 0090-12 光学素子及びシステムの製図手法−第12部 : 非球面
                 注記1 対応国際規格 : ISO 10110-12:1997,Optics and optical instruments−Preparation of
                        drawings for optical elements and systems−Part 12: Aspheric surfaces(IDT)
                 注記2 ISO 10110-12は,2007年に改正版が発行されている。
                          ISO 10110-12:2007,Optics and photonics−Preparation of drawings for optical
                          elements and systems−Part 12 : Aspheric surfaces
          [3] ISO/TR 14999-2,Optics and photonics−Interferometric measurement of optical elements and
              optical systems−Part 2:Measurement and evaluation techniques
          [4] Born,M. and Wolf,E.,Principles of Optics,Pergamon press,Oxford-New York,1975
          [5] Malacara, D. ed. , Optical Shop Testing, Wiley, New York, 1978.
          [6] Marchal, A. Revue. d'Optique.26, p.257,1947