JIS B 8328:2009 真空技術―ターボ分子ポンプの性能試験方法

                                                                                   B 8328 : 2009

pdf 目 次

ページ

•  序文・・・・[1]
•  1 適用範囲・・・・[1]
•  2 引用規格・・・・[1]
•  3 用語及び定義・・・・[1]
•  4 記号・・・・[2]
•  5 排気速度測定装置・・・・[3]
•  5.1 流量計を用いる測定装置 : 吸気口圧力≧10-4 Pa・・・・[3]
•  5.2 オリフィス法による測定装置 : 吸気口圧力<10-4 Pa・・・・[3]
•  5.3 真空計・・・・[4]
•  6 試験の方法及び手順・・・・[4]
•  6.1 一般・・・・[4]
•  6.2 分圧の測定・・・・[4]
•  6.3 補助ポンプの大きさ・・・・[4]
•  6.4 排気速度の測定方法・・・・[5]
•  6.5 試験手順・・・・[5]
•  6.6 最大流量・・・・[8]
•  6.7 試験到達圧力・・・・[9]
•  6.8 圧縮比・・・・[10]
•  6.9 振動・・・・[10]
•  7 試験記録(追加項目)・・・・[11]
•  附属書JA(参考)JISと対応する国際規格との対比表・・・・[12]

(pdf 一覧ページ番号 1)

――――― [JIS B 8328 pdf 1] ―――――

B 8328 : 2009

まえがき

  この規格は,工業標準化法第12条第1項の規定に基づき,日本真空協会(VSJ)から,工業標準原案を具
して日本工業規格(日本産業規格)を制定すべきとの申出があり,日本工業標準調査会の審議を経て,経済産業大臣が制定
した日本工業規格(日本産業規格)である。
  この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。
  この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願,実用新案権又は出願公開後の実用新案登録出願に
抵触する可能性があることに注意を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許
権,出願公開後の特許出願,実用新案権及び出願公開後の実用新案登録出願にかかわる確認について,責
任はもたない。

(pdf 一覧ページ番号 2)

――――― [JIS B 8328 pdf 2] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                              B 8328 : 2009

真空技術−ターボ分子ポンプの性能試験方法

Vacuum technology-Turbomolecular pumps- Measurement of performance characteristics

序文

  この規格は,2003年に第1版として発行されたISO 5302を基に作成した日本工業規格(日本産業規格)であるが,日本
国内の現状に合わせるため,技術的内容を変更して作成した日本工業規格(日本産業規格)である。
  なお,この規格で側線又は点線の下線を施してある箇所は,対応国際規格を変更している事項である。
変更の一覧表にその説明を付けて,附属書JAに示す。

1 適用範囲

  この規格は,ターボ分子ポンプの性能試験方法について規定する。
  対象となるポンプは,大きさ,形式を問わずすべてのターボ分子ポンプとする。例えば,次の区分があ
ってもすべて適用する。
a) 機械式軸受(すべり軸受・転がり軸受)及び磁気軸受
b) ドラッグポンプ段の有無
     注記 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。
          ISO 5302:2003,Vacuum technology−Turbomolecular pumps−Measurement of performance
              characteristics (MOD)
            なお,対応の程度を表す記号(MOD)は,ISO/IEC Guide 21に基づき,修正していることを示
          す。

2 引用規格

  次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。この引用
規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。
    JIS Z 8126-2 真空技術−用語−第2部 : 真空ポンプ及び関連用語
      注記 対応国際規格 : ISO 3529-2,Vacuum technology−Vocabulary−Part 2: Vacuum pumps and related
             terms (MOD)

3 用語及び定義

  この規格で用いる主な用語及び定義は,JIS Z 8126-2によるほか,次による。
3.1
吸気口圧力 (inlet pressure)
  ターボ分子ポンプの吸気口での圧力。吸入圧ともいう。

――――― [JIS B 8328 pdf 3] ―――――

2
B 8328 : 2009
3.2
排気口圧力 (backing pressure)
  ターボ分子ポンプの排気口での圧力。背圧ともいう。
3.3
最大流量 (maximum throughput)
  ポンプが破損又は損傷しないで連続して運転できる最も大きい気体負荷で,Pa・m3/s又はPa・L/sの単位
を用いる。
    注記 この値の限界はポンプの設計によって決まる。ほとんどの場合,ポンプの特定の位置の最大温
          度で与えられる。最大流量Qmaxの値は,排気する気体の種類,排気口圧力及び冷却条件に依存
          する。
3.4
排気速度 (volume flow rate, pumping speed)
  理想状態の下で,単位時間当たりにポンプの吸入口を通過する気体の体積で,m3/s又はL/sの単位を用
いる。
  しかし,実際には,ある気体に対するポンプの排気速度Sは,便宜的にその気体の流量Q及び所定の運
転条件において規定したテストドームの所定の点での平衡圧力pから,次の式 (1) によって求める。
                            Q
                         S      (1)
                            p
3.5
到達圧力 (ultimate pressure)
  気体導入弁を閉じた状態で,かつ,ポンプが通常の運転状態にあるときの,テストドーム内の漸近的に
到達する限界圧力。
3.6
試験到達圧力 (minimum operational pressure)
  実用的に測定可能な到達圧力のことで,加熱脱ガスを行ってから48時間後のテストドームの圧力。
3.7
圧縮比 (compression ratio)
  ある気体に対するターボ分子ポンプの吸気口圧力p1と排気口圧力p2との比で,次の式 (2) によって求
める。
                              p2
                         Keff      (2)
                              p1
    注記 与えられた気体に対する流量0のときの最大圧縮比K0を得るには,少なくとも排気口配管内の
          気体の分圧がp2の90 %以上である必要がある。
3.8
許容吸気口圧力 (maximum working pressure)
  ターボ分子ポンプ及びそれを駆動する電源装置が故障することなく,連続して運転を続けることができ
る最も高い吸気口圧力。

4 記号

  この規格で用いる記号の定義及び単位は,表1による。

――――― [JIS B 8328 pdf 4] ―――――

                                                                                              3
                                                                                   B 8328 : 2009
                                    表1−記号の定義及び単位
              記号                      定義                            単位
           C         コンダクタンス                                 m3/s (=103 L/s)
           d         オリフィス直径                                      m
           D         テストドーム内径                                    m
           Keff      圧縮比                                              −
           K0        最大圧縮比                                          −
           L         オリフィス板の厚さ                                  m
           M         気体のモル質量                                    kg/mol
           p         テストドームの特定位置の平衡圧力                    Pa
           p1        吸気口圧力                                          Pa
           p01       最低吸気口圧力                                      Pa
           p1max     許容吸気口圧力                                      Pa
           p2        排気口圧力                                          Pa
           p02       最低排気口圧力                                      Pa
           pa,pb    テストドームの特定位置の圧力                        Pa
           p0a,p0b  気体を入れる前のテストドームの特定位置の圧力       Pa
           Q         気体の流量                                  Pa・m3/s(=103 Pa・L/s)
           Qmax      最大流量                                    Pa・m3/s(=103 Pa・L/s)
           R         気体定数                                        N・m/mol・K
           S         排気速度                                       m3/s (=103 L/s)
           SX        ターボ分子ポンプの期待される最大排気速度       m3/s (=103 L/s)
           SB        補助ポンプの排気速度                           m3/s (=103 L/s)
           SBeff     補助ポンプの実効排気速度                       m3/s (=103 L/s)
           T         テストドーム内の気体の温度                          K

5 排気速度測定装置

5.1 流量計を用いる測定装置 : 吸気口圧力≧10-4 Pa

  測定には,図1に示すポンプ吸気口内径と同じ内径Dのテストドームlを使用する。ドームのポンプ接
続フランジと反対側の面は,平面,平均高さが平面の場合の高さと同じになる円すい(錐),又は緩やかな
曲面とする。テストドームは,試験到達圧力が得られるようにドームを一様に加熱できるベーキング装置
を取り付けられるものとする。
  吸気口内径が100 mm未満のポンプの場合,ドームの内径は,100 mmとする。テストドームとポンプ吸
気口との接続部は,図1に示すように45°のテーパ状にする。吸気口内径が100 mm以上のポンプの場合,
ドームの内径Dは実際のポンプ吸気口内径と同じにする。

5.2 オリフィス法による測定装置 : 吸気口圧力<10-4 Pa

  測定には,図2に示すテストドーム2を使用する。試験到達圧力が得られるよう,テストドームはドー
ムを一様に加熱できるベーキング装置を取り付けられるものとする。
  薄板オリフィスの直径は,予想される流量(排気速度)に応じて選定され,測定圧力paとpb(図2参照)
との比率が350の間になるようにしなければならない。吸気口圧力p1(=pb)での気体の平均自由行程が,
オリフィス径dより小さくならないように注意する。
  吸気口内径が100 mm未満のポンプの場合,ドームの内径は,100 mmとする。テストドームとポンプ吸
気口との接続部は,図2に示すように45°のテーパ状にする。吸気口内径が100 mm以上のポンプの場合,
ドームの内径Dは実際のポンプ吸気口内径と同じにする。

――――― [JIS B 8328 pdf 5] ―――――

次のページ PDF 6