JIS Z 8126-2:1999 規格概要
この規格 Z8126-2は、真空技術・真空工業に関する真空ポンプ及び関連用語について規定。
JISZ8126-2 規格全文情報
- 規格番号
- JIS Z8126-2
- 規格名称
- 真空技術―用語―第2部 : 真空ポンプ及び関連用語
- 規格名称英語訳
- Vacuum technology -- Vocabulary -- Part 2:Vacuum pumps and related terms
- 制定年月日
- 1999年2月20日
- 最新改正日
- 2019年10月21日
- JIS 閲覧
- ‐
- 対応国際規格
ISO
- 国際規格分類
ICS
- 主務大臣
- 経済産業
- JISハンドブック
- ‐
- 改訂:履歴
- 1999-02-20 制定日, 2004-03-20 確認日, 2008-10-01 確認日, 2014-10-20 確認日, 2019-10-21 確認
- ページ
- JIS Z 8126-2:1999 PDF [11]
Z 8126-2 : 1999
まえがき
この規格は,工業標準化法に基づいて,日本工業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が制定した日
本工業規格である。これによって,JIS Z 8126 : 1990は廃止され,このJIS Z 8126群に置き換えられる。
今回の制定によって,JIS Z 8126群は,ISO 3529 (Vacuum technology−Vocabulary) の各部に一致した規
格となる。
JIS Z 8126群は,規格の名称の前付け及び主題を”真空技術−用語”とし,次の各部からなる。
第1部 : 一般用語
第2部 : 真空ポンプ及び関連用語
第3部 : 真空計及び関連用語
JIS Z 8126-2には,次に示す附属書がある。
附属書(参考) 真空ポンプの分類
(pdf 一覧ページ番号 )
――――― [JIS Z 8126-2 pdf 1] ―――――
日本工業規格(日本産業規格) JIS
Z 8126-2 : 1999
真空技術−用語−第2部 : 真空ポンプ及び関連用語
Vacuum technology−Vocabulary− Part 2 : Vacuum pumps and related terms
序文 この規格は,1981年に第1版として発行されたISO 3529-2, Vacuum technology−Vocabulary−Part 2 :
Vacuum pumps and related termsを翻訳し,技術的内容を変更することなく作成した日本工業規格(日本産業規格)であるが,
対応国際規格に規定されていない用語を日本工業規格(日本産業規格)として追加している。
なお,この規格で点線の下線を施してある部分は原国際規格にはない事項である。
1. 適用範囲 この規格は,真空技術・真空工業に関する主な真空ポンプ及び関連用語について規定する。
備考 この規格の対応国際規格を,次に示す。
ISO 3529-2 : 1981 Vacuum technology−Vocabulary−Part 2 : Vacuum pumps and related terms
2. 用語及び定義 用語,定義及び対応する外国語は,次のとおりとする。
なお,対応する外国語のうち,独語はISO 3529-2で公用語である英語・仏語と同等としているが,ISO
の用語と見なしてはいない。
2.1 真空ポンプ
番号 用語 定義 対応する外国語
2.1.0 真空ポンプ (英)vacuum pump
真空を作り,改善し,保持する機器。基
(独)Vakuumpumpe (f)
本的に異なっている二つの種類である気
(仏)pompe vide (f)
体輸送式ポンプ(2.1.1,2.1.2)及び気体ため
込み式ポンプ(2.1.3)とに分類される。
2.1.1 容積移送式真 (英)positive displacement (vacuum) ump
一定体積の気体が吸気口から周期的に隔
空ポンプ (独)Verdrangervakuumpumpe (f)
離されて排気口に運ばれる真空ポンプ。
(仏)pompe ( vide) olumtrique (f)
ほとんどの容積移送式真空ポンプで,気
体は排気口から排気されるまでに圧縮さ
れる。容積移送式真空ポンプは往復動式
(2.1.1.1)及び回転式(2.1.1.22.1.1.4)の二
つに分類される。
2.1.1.0.1ガスバラスト (英)gas ballast (vacuum) ump
適量の気体を圧縮過程でポンプ内に導入
ポンプ (独)Gasballastvakuumpumpe (f)
し,ポンプ内部で凝縮性気体が凝縮しな
(仏)pompe ( vide) injection de gaz (f)
いようにした容積移送式真空ポンプ。
2.1.1.0.2油封(液封)ポ (英)oil-sealed (liquid-sealed) acuum pump
油又は液体によって運動する部分のすき
ンプ (独)lgedichtete (flssigkeitsgedichtete)
まを密閉し,周期的圧縮行程の最後にポ
Vakuumpumpe (f)
ンプ無効空間の減少を図っている回転式
容積移送式真空ポンプ。 (仏)pompe vide bain d'huile ( bain de
liquide)(f)
――――― [JIS Z 8126-2 pdf 2] ―――――
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Z 8126-2 : 1999
番号 用語 定義 対応する外国語
2.1.1.0.3 (英)dry-sealed vacuum pump
ドライ(真空) 油又は液体を運動する部分のすきまを
ポンプ (独)trockenlaufende Vakuumpumpe (f)
密閉する目的に使用しない容積移送式
真空ポンプ。 (仏)pompe vide sche (f)
2.1.1.1 ピストン真空 (英)piston vacuum pump
シリンダ内のピストンの往復運動によ
ポンプ (独)Hubkolbenvakuumpumpe (f)
って気体を圧縮し,排気する容積移送式
真空ポンプ。 (仏)pompe vide piston altematif (f)
2.1.1.2 液封真空ポン (英)liquid ring vacuum pump
固定された翼板をもつ偏心ロータが,液
プ (独)Flussigkeitsringvakuumpumpe (f)
体を固定壁に押し付けるようになって
(仏)pompe vide anneau liquide (f)
いる回転式容積移送式真空ポンプ。その
液体は,固定壁に対し同心のリングを形
成し,ロータ翼板とともにポンプ容積を
変化させる。
2.1.1.3 (英)oil-sealed rotary vacuum pump
油回転(真空) 油によって,ロータ,ステータ,翼板な
ポンプ どの部品の間の気密及び無効空間の減
少を図っている容積移送式真空ポンプ。
2.1.1.3.1回転翼形油回 (英)sliding vane rotary vacuum pump
偏心して取り付けられたロータが,ステ
転(真空)ポン (独)Drehschiebervakuumpumpe (f)
ータの固定表面に対して接線方向に回
プ (仏)pompe vide palettes (f)
転する回転式容積移送式真空ポンプ。ロ
ータには2個以上の(通常半径方向の)
溝内をしゅう動する翼板があり,この翼
板がステータ内部をしゅう動し,ステー
タ内を幾つかの容積が変化する部分に
分割する。
2.1.1.3.2カム形油回転 (英)rotary piston vacuum pump
ステータ内壁に偏心ロータが接触して
(真空)ポンプ (独) −
回転する回転式容積移送式真空ポンプ。
(仏)pompe vide piston tournant (f)
ステータに対し相対運動しているしゅ
う動翼板は,ロータに押し付けられ,ス
テータ内を幾つかの容積の変化する部
分に分割する。
2.1.1.3.3揺動ピストン (英)rotary plunger vacuum pump
ステータ内壁に対して偏心してロータ
形油回転(真 (独)Sperrschiebervakuumpumpe (f)
が回転する回転式容積移送式真空ポン
空)ポンプ (仏)pompe vide piston oscillant (f)
プ。ステータ内は,ロータに固定された
翼板によって,二つの容積が変化する部
分に分割される。翼板は,ステータ内で
適切に囲まれ揺動している気密部分の
中をしゅう動する。
2.1.1.4 (英)Roots vacuum pump
ルーツ(真空) 二つの繭形ロータが互いに反対方向に
ポンプ (独)Wlzkolbenvakuumpumpe (f),
連動・同期して,ステータと微小なすき
Rootspumpe (f)
まを保ちながら,非接触で回転する容積
移送式真空ポンプ。 (仏)dpresseur Roots (m)
2.1.1.5 トロコイドポ (英)trochoid pump
ロータ断面がトロコイド曲線(例えば,
ンプ (独)Kreiskolbenvakuumpumpe (f)
だ円。)で,重心が円を描く回転式容積
移送式真空ポンプ。 (仏)pompetrochode (f)
2.1.2 運動量輸送式 (英)kinetic vacuum pump
気体及び分子に運動量を与え,吸気口か
真空ポンプ (独)kinetische Vakuumpumpe (f)
ら排気口へ連続的に気体を輸送するポ
(仏)pompe vide cintique (f)
ンプ。流体作動式と機械式との二つに大
別される。
――――― [JIS Z 8126-2 pdf 3] ―――――
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Z 8126-2 : 1999
番号 用語 定義 対応する外国語
2.1.2.1 ターボ(形)真 (英)turbine vacuum pump
高速で回転するロータによって大量の
空ポンプ (独)Turbovakuumpumpe (f)
気体を輸送する回転式運動量輸送式真
(仏)dpresseur turbine (m)
空ポンプ。非接触で回転する密封機構が
ある。気体の流れは,回転軸に平行なも
の(軸流形)と回転軸に直角のもの(半
径流形)とがある。
2.1.2.2 エジェクタポ (英)ejector vacuum pump
ベンチュリ効果による圧力降下を利用
ンプ (独)Treibmittelstrahlvakuum pumpe (f)
して,気体を高速な流れに乗せて排気口
(仏)pompe vide jecteur (f) ;
に輸送する運動量輸送式真空ポンプ。粘
性流,中間流で作動する。 jecteur (m)
2.1.2.2.1液体ジェット jet vacuum pump
(英)liquid
作動流体が液体(通常は水)であるエジ
真空ポンプ ェクタ真空ポンプ。 (独)Flssigkeitsstrahlvakuum pumpe (f)
(仏)trompe vide (f)
2.1.2.2.2気体ジェット (英)gas jet vacuum pump
作動流体が非凝縮性気体であるエジェ
真空ポンプ クタ真空ポンプ (独)Gasstrahlvakuumpumpe (f)
(仏)jecteur gaz pour le vide (m)
2.1.2.2.3蒸気ジェット (英)vapour jet vacuum pump
作動流体が蒸気(水蒸気,水銀蒸気,油
真空ポンプ (独)Dampfstrahlvakuumpumpe (f) ;
蒸気)であるエジェクタ真空ポンプ。
Treibdampfvakuumpumpe (f) ;
Ejektorvakuumpumpe (f)
(仏)jecteur vapeur pour le vide (m)
2.1.2.3 拡散ポンプ (英)diffusionpump
低い圧力の高速蒸気流が作動流体であ
(独)Diffusionspumpe (f)
る運動量輸送式真空ポンプ。気体分子が
(仏)pompe diffusion (f)
この蒸気流内に拡散し,排気口へと輸送
される。蒸気流中では,分子密度は常に
低い。分子流で作動する。
2.1.2.3.1自己浄化形油 (英)self-purifying diffusion pump
ポンプ作動液の分解による揮発性の不
拡散ポンプ (独)selbstreinigende ldiffusionspumpe (f)
純物がボイラに戻らずに,排気口に輸送
されるようにした油拡散ポンプ。 (仏)pompe diffusion autorectifiante (f)
2.1.2.3.2分留形油拡散 (英)fractionating diffusion pump
高真空段の作動液には密度の高い低蒸
ポンプ (独)fraktionierende ldiffusionspumpe (f)
気圧のものが使用され,低真空段には密
(仏)pompe diffusion fractionnante (f)
度の低い高蒸気圧の作動液を使用する
ような多段式の油拡散ポンプ。
2.1.2.4 拡散エジェク (英)diffusion-ejector pump
拡散ポンプとして働く単段又は複数段
タポンプ (独)Diffusionsejectorpumpe (f)
のノズルと,エジェクタポンプとして働
(仏)pompe diffusion et jecteur (f)
く単段又は複数段のノズルをもつ多段
式運動量輸送式真空ポンプ。
2.1.2.5 分子ポンプ (英)molecular drag pump
高速のロータ表面によって気体分子に
(独)Molekularpumpe (f)
運動量が与えられ,ポンプの排気口の方
(仏)pompe molculaire mcaniqlue (f)
向に気体が輸送される運動量輸送式真
空ポンプ。
2.1.2.5.1ターボ分子ポ (英)turbo-molecular pump
ロータに溝又は羽根があって,それに対
ンプ (独)Turbomolekularpumpe (f)
応する同様のステータの間を回転する
(仏)pompe turbomolculaire (f)
分子ポンプ。回転体の周速は,気体分子
の運動速度とほぼ同じである。通常,分
子流条件のもとでその性能を発揮する。
2.1.2.6 イオン輸送ポ (英)ion transfer pump
気体分子がイオン化され,電界又は磁界
ンプ (独)Ionentransferpumpe (f)
を伴う電界によって排気口に輸送され
る運動量輸送式真空ポンプ。 (仏)pompe ionisation (f)
――――― [JIS Z 8126-2 pdf 4] ―――――
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Z 8126-2 : 1999
番号 用語 定義 対応する外国語
2.1.2.7 蒸気噴射ポン (英)vapour pump
蒸気の噴流で排気作用を行う運動量輸
プ (独)Treibdampfpumpe (f)
送式真空ポンプ。噴流の排気作用の機構
によって蒸気ジェット真空ポンプ及び
拡散ポンプの区別がある。
2.1.3 気体ため込み (英)entrapment (capture) acuum pump
内表面での吸着又は凝縮などによって
式真空ポンプ (独)gasbinende Vakuumpumpe (f) ;
気体分子を捕そくし,ため込むことによ
って排気する真空ポンプ。 [Sorptionspumpe (f) nd
Kondensationspumpe (f) ]
(仏)pompe vide fixation (f)
2.1.3.1 ソープション (英)adsorption pump
例えば,多孔質物質のような実質面積の
ポプ (独)Adsorptionspumpe (f)
大きな物質の表面に,物理的に気体を吸
(仏)pompe physisorption (f) ;
着して排気する気体ため込み式ポンプ。
pompe sorption (f)
2.1.3.2 ゲッタポンプ (英)getter pump
気体を主に化学作用によってゲッタに
(独)Getterpumpe (f)
ため込んで排気するため込み式ポンプ。
(仏)pompe sorbeur (f)
ゲッタは,純金属又は合金で,バルク又
は蒸着された活性薄膜を形成している。
2.1.3.3 サブリメーシ (英)sublimation (evaporation) ump
ゲッタ材料が昇華されるような気体た
ョンポンプ め込み式ポンプ (独)Verdampferpumpe (f) ;
備考 ここでは蒸発及び昇華は同じ Sublimationspumpe (f)
概念として扱う。 (仏)pompe sublimation ( vaporation) (f)
2.1.3.4 ゲッタイオン (英)getter ion pump
気体分子がイオン化され,電界又は磁界
ポンプ (独)Ionengetterpumpe (f)
を伴う電界によってゲッタ材料面に輸
(仏)pompe ionique sorbeur (f)
送されて排気される気体ため込み式真
空ポンプ。
2.1.3.4.1蒸発イオンポ (英)sublimation (evaporation) on pump
連続又は不連続な昇華・蒸発によってゲ
ンプ (独)Ionenverdampferpumpe (f)
ッタ面を形成し,イオン化した気体をゲ
(仏)pompe ionique sublimation
ッタへ輸送するゲッタイオンポンプ。
( vaporation) (f)
2.1.3.4.2スパッタイオ (英)sputter ion pump
陰極スパッタリングによってゲッタ面
ンポンプ を更新するゲッタイオンポンプ。 (独)Ionenzerstuberpumpe (f)
(仏)pompe ionique pulvrisation (f)
2.1.3.5 クライオポン (英)cryopump
残留気体を凝縮するのに十分な低温面
プ (独)Kryopumpe (D
からなる気体ため込み式ポンプ。凝縮物
(仏)pompe cryostatiq ue (f) ;
は,平衡蒸気圧が必要とされる圧力以下
になるような温度に保たれる。 cryopompe (f)
備考 低温面は,排気される気体に
もよるが,120K以下である。
2.1.3.5.1クライオソー (英)cryosorption pump
収着を主な排気作用とするクライオポ
プションポン ンプ。 (独)Kryosorptionspumpe (f)
プ (仏)pompe cryosorption (f)
2.2 真空ポンプの部品
番号 用語 定義 対応する外国語
2.2.0.1 ポンプケース (英)pump case
真空状態の気体を大気から仕切るポン
プの外壁。 (独)Vakuumpumpenkrper (m) ;
Vakuumpengehuse (n)
(仏)corps de pompe (m)
――――― [JIS Z 8126-2 pdf 5] ―――――
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