JIS Z 8126-3:2018 真空技術―用語―第３部：真空計及び関連用語

                                                                                  Z 8126-3 : 2018

pdf 目 次

ページ

•  序文・・・・[1]
•  1 適用範囲・・・・[1]
•  2 引用規格・・・・[1]
•  3 用語及び定義・・・・[1]
•  3.1 真空計の一般用語・・・・[2]
•  3.2 真空計の一般的な分類・・・・[3]
•  3.3 真空計の特性・・・・[3]
•  3.4 全圧真空計・・・・[3]
•  3.5 分圧真空計・・・・[6]
•  附属書A(参考)真空計の分類・・・・[8]
•  附属書JA(参考)JISと対応国際規格との対比表・・・・[10]

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Z 8126-3 : 2018

まえがき

  この規格は,工業標準化法第14条によって準用する第12条第1項の規定に基づき,公益社団法人日本
表面真空学会(JVSS)及び一般財団法人日本規格協会(JSA)から,工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)
を改正すべきとの申出があり,日本工業標準調査会の審議を経て,経済産業大臣が改正した日本工業規格(日本産業規格)
である。
  これによって,JIS Z 8126-3:1999は改正され,この規格に置き換えられた。
  この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。
  この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願又は実用新案権に抵触する可能性があることに注意
を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許権,出願公開後の特許出願及び実
用新案権に関わる確認について,責任はもたない。
  JIS Z 8126の規格群には,次に示す部編成がある。
    JIS Z 8126-1 第1部 : 一般用語
    JIS Z 8126-2 第2部 : 真空ポンプ及び関連用語
    JIS Z 8126-3 第3部 : 真空計及び関連用語

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                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                           Z 8126-3 : 2018

真空技術−用語−第3部 : 真空計及び関連用語

Vacuum technology-Vocabulary-Part 3: Vacuum gauges and related terms

序文

  この規格は,2014年に第2版として発行されたISO 3529-3を基とし,国内の実情に合わせるため,技
術的内容を変更して作成した日本工業規格(日本産業規格)である。
  なお,この規格で側線又は点線の下線を施してある箇所は,対応国際規格を変更している事項である。
変更の一覧表にその説明を付けて,附属書JAに示す。

1 適用範囲

  この規格は,真空技術・真空工業に関する主な真空計及び関連用語について規定する。
    注記 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。
          ISO 3529-3:2014,Vacuum technology−Vocabulary−Part 3: Total and partial pressure vacuum gauges
              (MOD)
            なお,対応の程度を表す記号“MOD”は,ISO/IEC Guide 21-1に基づき,“修正している”
          ことを示す。

2 引用規格

  次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。これらの
引用規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。
    JIS Z 8126-1 真空技術−用語−第1部 : 一般用語
      注記 対応国際規格 : ISO 3529-1,Vacuum technology−Vocabulary−Part 1: General terms
    JIS Z 8126-2 真空技術−用語−第2部 : 真空ポンプ及び関連用語
      注記 対応国際規格 : ISO 3529-2,Vacuum technology−Vocabulary−Part 2: Vacuum pumps and related
             terms

3 用語及び定義

  用語,定義及び対応する英語は,次のとおりとする。また,用語の番号の付け方は,図1による。番号
欄内の括弧内の数字は,対応するISOにおける番号である。真空計の分類を,附属書Aに示す。

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Z 8126-3 : 2018
                                   図1−用語の番号付けの規則

3.1 真空計の一般用語

   番号         用語                              定義                           対応する英語
3101      (気体の)圧力計 気体・蒸気の圧力を測定する計器。                   pressure gauge
(2.1.1)
3102      真空計           気体・蒸気の大気圧より低い圧力を測定する計器。     vacuum gauge
(2.1.2)                    注記1 真空計は,圧力計の一種である。
                           注記2 真空計には,圧力を直接には測定せず,特定の条件
                                  の下で圧力に関連した他の物理量を測定しているも
                                  のが多い。
                           注記3 真空計は,測定子と制御器とが一体になり圧力を信
                                  号出力するトランスデューサ真空計,測定子,制御
                                  器と表示器とが一体になっている真空計など様々な
                                  タイプがある。
3103      測定子,                                                            gauge head
                           真空計において,感圧素子を備え,真空系に取り付ける真空
(2.1.2.1) センサ部         計の構成部品。
3104      ヌードゲージ     外筒がない測定子。                                 nude gauge
(2.1.2.1.1)                注記1 ヌードゲージの感圧素子は,真空系に直接挿入する。
                           注記2 ヌードゲージは,裸真空計(裸測定子)とも呼ばれ
                                  る。
3105      制御器,                                                            control unit,
                           測定子を作動し,計測するために必要な真空計の制御回路。
(2.1.2.2) コントローラ                                                        controller
3106      表示器           出力信号を,通常は圧力の単位で表示する真空計の構成部品。 indicator,
(2.1.2.2.1)                                                                   indicating unit
3107      複合真空計                                                          combination vacuum
                           測定子内に,二つ以上の異なる測定原理の感圧素子を内蔵し
                           た真空計。                                           gauge,
                                                                              combined vacuum
                           注記 ピラニ真空計,水晶摩擦真空計などの低真空側を対象
                                とする真空計と,熱陰極電離真空計,冷陰極電離真空gauge
                                計などの高真空側を対象とする真空計とを組み合わせ
                                た真空計。

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                                                                                  Z 8126-3 : 2018

3.2 真空計の一般的な分類

   番号         用語                              定義                           対応する英語
3201      差圧真空計                                                          differential vacuum
                           圧力差を測定する真空計。例えば,弾性変形の範囲内で隔膜
(2.2.1)                    又は液柱を用いる。                                   gauge
3202      絶対真空計       物理量の測定だけから圧力が求められる真空計。       absolute vacuum
(2.2.2)                                                                         gauge
3203      全圧(真空)計   気体の全圧を測定する真空計。                       total pressure vacuum
(2.2.3)                                                                         gauge
3204      分圧(真空)計   混合気体の成分の分圧に関係する量を測定する真空計。 partial pressure
(2.2.4)                    注記1 分圧計の感度は気体の種類によって異なる。       vacuum gauge,
                                                                              partial pressure
                           注記2 この種のゲージは,“残留ガス分析計”とも呼ばれる。
                                                                                analyser,
                                                                              residual gas analyser

3.3 真空計の特性

   番号         用語                              定義                           対応する英語
3301      測定範囲                                                            measurement range
                           真空計を所定の条件で動作させたとき,真空計の指示値の測
(2.3.1)                    定不確かさが規定の値以下のときの最小圧力と最大圧力との
                           間の圧力範囲。
                           注記 真空計によっては,測定範囲は気体の種類に依存する
                                場合がある。このような真空計では,窒素を用いた場
                                合の測定範囲を用いる。
3302      感度係数                                                            sensitivity coefficient,
                           真空計に指示された読みの変化と対応する圧力変化との比。
(2.3.2)                                                                       sensitivity
                           真空計によっては,読みの変化と,圧力変化及び圧力に依存
                           しない定数の積との比。
                           注記1 真空計によっては,感度係数は気体の種類に依存す
                                  る場合がある。この場合,窒素を用いた感度係数を
                                  記載することが望ましい。
                           注記2 感度係数は,温度にも依存する。
3303      比感度係数                                                          relative sensitivity
                           真空計のある気体に対する感度を,その真空計の同一条件下
(2.3.3)                    における同一圧力の窒素に対する感度で除した値。       factor
3304      窒素相当圧,                                                        equivalent nitrogen
                           窒素に対する感度で補正した圧力値。窒素に対して校正され
(2.3.5)   窒素換算値       た真空計の場合は,その真空計の読み値。               pressure
                           注記 熱伝導真空計,電離真空計などの感度は,測定する気
                                体の種類に依存する場合があるので,そのような真空
                                計については,通常,窒素相当圧を表示する。
3305      X線限界                                                             X-ray limit
                           熱陰極電離真空計で,集電子電極から放出される軟X線によ
(2.3.6)                    って,主として集イオン電極から放出される光電子による残
                           留電流に対応する窒素相当圧。
                           注記 冷陰極電離真空計の場合,通常,X線限界は大きな影
                                響を与えない。

3.4 全圧真空計

3.4.1  機械的現象に基づく真空計
   番号         用語                              定義                           対応する英語
3401      液柱差真空計     液体を用いる差圧真空計。通常は,U字管状である。    liquid level
(2.4.1.1)                  注記 液面の高さの差を測定することで差圧を測定する。  manometer
3402      U字管真空計      U字管を用いる液柱差真空計。                        U-tube manometer

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