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Z 8126-3 : 2018
番号 用語 定義 対応する英語
3403 弾性真空計 弾性体(板,管など)を隔離媒体とした差圧真空計。 elastic element gauge
(2.4.1.2) 例 ブルドン管真空計,隔膜真空計,静電容量型隔膜真空計。
注記 差圧は,弾性体の変位から求める方法及びその変位を
ゼロにするために必要な力から求める方法がある。
3404 ブルドン管真空計 隔離媒体にブルドン管を用いる弾性真空計。 Bourdon gauge
(2.4.1.2.1)
3405 隔膜真空計 隔離媒体に隔膜を用いる弾性真空計。 diaphragm gauge,
(2.4.1.2.2) membrane gauge
例 ピエゾ型隔膜真空計,静電容量型隔膜真空計,シリコン
レゾナント型圧力計。
3406 静電容量型隔膜真 静電容量の変化で隔膜の変位を測定する隔膜真空計。 capacitance
(2.4.1.2.3) 空計 注記 静電容量型隔膜真空計は,キャパシタンスマノメータdiaphragm gauge,
とも呼ばれる。 capacitance
manometer
3407 圧縮真空計 compression gauge
水銀などの液体を用いて気体を既知の比率で圧縮し,その圧
(2.4.1.3) 力を測定して圧縮前の圧力を求める真空計。
注記 ボイルの法則が適用できる場合にだけ用いる。
3408 マクラウド真空計 McLeod gauge
水銀を移動することによって気体を圧縮し,その気体の圧力
(2.4.1.3) を液柱差によって求める圧縮真空計。
3409 圧力天びん pressure balance,
断面積が既知のピストンに質量が既知の分銅を載せて圧力と
(2.4.1.4) 重力とをバランスさせて圧力を発生させる機器。 piston gauge
3.4.2 気体の輸送現象に基づく真空計
番号 用語 定義 対応する英語
3410 粘性真空計 viscosity gauge
低圧気体の運動量輸送が気体の圧力に依存することを利用す
(2.4.2.1) ることによって,物体の表面に働く応力の変化を計測して圧
力を求める真空計。
3411 スピニングロータ spinning rotor gauge
真空中に回転子を磁気浮上させ,その回転の減衰速度から圧
(2.4.2.1.1) 真空計 力を測定する粘性真空計。
3412 水晶摩擦真空計 quartz friction
水晶振動子の共振周波数又はインピーダンスが圧力に依存す
(2.4.2.1.2) ることを利用し測定する粘性真空計。 vacuum gauge
注記 音さ(叉)形振動子を用いる場合,音さ(叉)形真空
計と呼ばれる。
3413 熱伝導真空計 thermal conductivity
異なる温度に保たれている加熱素子を含む二つの素子間の熱
(2.4.2.2) の移動量から圧力を求める真空計。 gauge
注記1 気体の熱伝導は,分子流域では圧力に依存すること
を利用している。
注記2 粘性流域では熱対流を利用して,測定範囲を大気圧
付近まで伸ばした熱伝導真空計もある。
例 ピラニ真空計,サーミスタ真空計,熱電対真空計,バイ
メタル真空計。
3414 熱電対真空計 加熱素子の温度を熱電対で測定する熱伝導真空計。 thermocouple gauge
(2.4.2.2.1)
3415 ピラニ真空計 Pirani gauge
加熱素子がホイートストンブリッジの一部を構成しており,
(2.4.2.2.2) その加熱素子の抵抗又は加熱素子から散逸する電力の圧力依
存性を利用して計測する熱伝導真空計。
注記 加熱素子として,金属細線が一般的に使われる。加熱
素子を一定温度に保つために必要な電力が圧力に依存
することを利用するピラニ真空計が,ピラニ真空計の
原理に最も忠実な定温度法である。そのほか定電圧法
(ピラニが開発した方式),定電流法がある。
――――― [JIS Z 8126-3 pdf 6] ―――――
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Z 8126-3 : 2018
番号 用語 定義 対応する英語
3416 サーミスタ真空計 thermistor gauge
加熱素子がサーミスタであり,その電気抵抗の変化を利用し
(2.4.2.2.3) て計測する熱伝導真空計。
3417 クヌーセン真空計 thermo-molecular
気体分子の平均自由行程に比べて十分小さい間隔を保って配
(2.4.2.2.4) 置され,かつ,異なった温度に保たれている,2面間での単gauge
位時間当たりの運動量輸送量を測定することによって圧力を
求める真空計。
3.4.3 気体中の電離現象に基づく真空計
番号 用語 定義 対応する英語
3418 電離真空計 ionization vacuum
気体分子の電離によって生じたイオン電流を測定して圧力を
(2.4.3.1) 求める真空計。 gauge
注記 圧力は,気体分子密度に比例する。
3419 放射線真空計 放射線源によって気体を電離する電離真空計。 radioactive ionization
注記 放射線障害防止法に基づきその使用に制限がかかるこgauge
とから,現在,我が国では放射線真空計は使われてい
ない。
3420 冷陰極電離真空計 cold cathode
電磁界中の冷陰極放電によって気体を電離する電離真空計。
ionization gauge
3421 ペニング真空計 Penning gauge
一対の平行平板陰極間に環状陽極を置き,それらの軸に平行
(2.4.3.2.1) に磁界をかける冷陰極電離真空計。
3422 マグネトロン真空 magnetron gauge,
同軸円筒状に電極を配置し,陰極を内側に配置し,電界に垂
(2.4.3.2.2) 計 直に磁界をかける冷陰極電離真空計。 cold cathode
magnetron gauge
3423 逆マグネトロン真 inverted magnetron
同軸円筒状に電極を配置し,陽極を内側に配置し,電界に垂
(2.4.3.2.3) 空計 直に磁界をかける冷陰極電離真空計。 gauge
3424 ガイスラ管 discharge tube
一対の電極をもち,その間の真空放電の色及び形状によって
気体の圧力及び種類の概略を表す放電管。 indicator
注記 放電時にX線を放出することから,ほとんど使われて
いない。
3425 熱陰極電離真空計 hot cathode
熱陰極から放出された電子によって気体を電離する電離真空
(2.4.3.3.1) 計。 ionization gauge
3426 三極管形電離真空 triode gauge
一般的な真空管の構造をもつ,熱陰極(フィラメント)を管
(2.4.3.3.2) 計 の軸上に置き,グリッド状陽極及びプレート状集イオン電極
をフィラメントと同軸的に配置した熱陰極電離真空計。
3427 高圧力電離真空計 high pressure
一般の三極管形電離真空計の圧力範囲に比べて高い圧力の中
(2.4.3.3.3) 真空で動作する熱陰極電離真空計。 ionization gauge
注記 電極間距離を短くすることによって,高い圧力までを
測定可能とした。
例 シュルツゲージ
3428 ベアード−アルパ Bayard-Alpert gauge
同筒状グリッドの外側に熱陰極を,かつ,中心軸上に細線の
(2.4.3.3.4) ート真空計, 集イオン電極を配置して,X線限界を低下させた熱陰極電離
B-A真空計 真空計。
3429 モジュレータ真空 modulator gauge
モジュレータとしての補助電極を設け,その電位変化による
(2.4.3.3.5) 計 集イオン電極電流の変化を測定し,残留電流の影響を見積も
ることができるようにしたベアード−アルパート真空計。
3430 サプレッサ真空計 suppressor gauge
サプレッサ電極を集イオン電極の近傍に設け,集イオン電極
(2.4.3.3.6) からの二次電子放出の影響を抑えてX線限界を低下させた熱
陰極電離真空計。
――――― [JIS Z 8126-3 pdf 7] ―――――
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Z 8126-3 : 2018
番号 用語 定義 対応する英語
3431 エキストラクタ真 extractor gauge
集イオン電極を円筒状グリッドの軸上の外側に置くことと同
(2.4.3.3.7) 空計 時にグリッドから遮蔽してX線限界を低下させた熱陰極電離
真空計。
3432 イオンエネルギー ion energy analysing
X線限界を低減させるとともに,空間で発生したイオンと電
(2.4.3.3.8) 分離型真空計 gauge
子刺激脱離イオンとを分離させることで,電子刺激脱離イオ
ンの影響を低減させて圧力測定下限を改善させた熱陰極電離
真空計。
例 ヘルマーゲージ,イオンスペクトロスコピーゲージ,軸
対称透過型電離真空計,湾曲ビーム真空計
注記 この種の真空計は,主に超高真空のうち,特に10−9 Pa
以下の圧力を測定することに目的が置かれている。
3433 オービトロン真空 orbitron gauge
電子軌道が長くなるように円筒状の集イオン電極とその軸上
(2.4.3.3.9) 計 に細線の集電子電極とを配置し,少ない電子で多くのイオン
を発生してX線限界を低下させた熱陰極電離真空計。
3434 熱陰極マグネトロ hot cathode
単純な円筒状マグネトロン構造をもつ真空計に熱陰極を付加
(2.4.3.3.10)ン真空計, した熱陰極電離真空計。 magnetron gauge,
ラファティゲージ Lafferty gauge
3.5 分圧真空計
番号 用語 定義 対応する英語
3501 質量分析計 mass spectrometer
質量電荷比の異なるイオン化された粒子を選別し,それぞれ
(2.5.1) のイオン電流を測る機器。
注記 質量分析計は,ある特定の気体の分圧を測定する用途,
混合気体の組成を分析する用途,及び漏れ探しにおい
てトレーサガスだけを検出する用途に使われる。質量
分析計は,イオンを選別する方法で分類される。
注記 対応国際規格と構成を合わせるために,3.5.1はなしとした。
3.5.2 電界を利用する質量分析計
番号 用語 定義 対応する英語
3502 高周波型質量分析 radio frequency mass
一対のグリッドによって正負交互に形成される高周波電界に
(2.5.2.1) 計 よって,イオンを選択的に加速して分離する質量分析計。 spectrometer
3503 四極子形質量分析 quadrupole mass
4本の柱状電極によって形成される一定比の直流電界及び高
(2.5.2.2) 計, 周波電界によってイオンを分離保持する質量分析計。 spectrometer
四重極(形)質量
分析計
3504 単極子形質量分析 monopole mass
V形の電極及び1本の柱状電極によって形成される一定比の
(2.5.2.3) 計 spectrometer
直流電界及び高周波電界によってイオンを分離する質量分析
計。
3505 イオントラップ質 ion trap mass
適切に設計された静電界,電磁界,高周波電界又は高周波電
(2.5.2.4) 量分析計 spectrometer
磁界内にイオンを閉じ込めた後,交流電圧及びその周波数を
変化させて,イオンを分離する質量分析計。
3.5.3 電界及び磁界を利用する質量分析計
番号 用語 定義 対応する英語
3506 磁界偏向型質量分 magnetic deflection
静電界で加速されたイオンの軌道を磁界で偏向することによ
(2.5.3.1) 析計 ってイオンを分離する質量分析計。 mass spectrometer
3507 二重収束型質量分 double focusing mass
放射状の静電界及び磁界でイオンの軌道を二重に偏向するこ
(2.5.3.2) 析計 とによって,イオンの速度分散を小さくした質量分析計。 spectrometer
――――― [JIS Z 8126-3 pdf 8] ―――――
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Z 8126-3 : 2018
番号 用語 定義 対応する英語
3508 トロコイド形質量 trochoidal focusing
直交した静電界及び静磁界の中におけるイオンがトロコイド
(2.5.3.3) 分析計 mass spectrometer
軌道になることを利用して,イオンを分離する質量分析計。
3509 オメガトロン型質 omegatron mass
直交した高周波電界及び静磁界の中でのイオンのサイクロト
(2.5.3.4) 量分析計 ロン共鳴現象を利用して,イオンを分離する質量分析計。 spectrometer
3.5.4 飛行時間を利用する質量分析計
番号 用語 定義 対応する英語
3510 飛行時間型質量分 time of flight mass
既知の等しい運動エネルギーをもつイオン又は中性粒子が,
(2.5.4.1) 析計 spectrometer
既知の距離を飛ぶときに要する時間が,それらの飛行速度に
よって差が生じることを利用する質量分析計。
3511 リフレクトロン飛 reflectron (time of
イオンの飛行方向を反転させるための減速電場を備えた飛行
(2.5.4.1.1) 行時間型質量分 時間型質量分析計。 flight) ass
析計 注記 リフレクトロンはこの方法の名称であり,飛行時間型spectrometer
質量分析計の質量分解能を向上させる。リフレクトロ
ンを備えた飛行時間型質量分析計が,リフレクトロン
飛行時間型質量分析計である。
3512 遅延引き出し飛行 Wiley-McLaren mass
イオンの生成と加速とを二段階に分けることで生成されたイ
(2.5.4.1.2) 時間型質量分析 spectrometer,
オンの質量の違いによる初速の違いをそろえた飛行時間型質
計 量分析計。 delayed extraction
注記 この方法は遅延引き出し法と呼ばれ,飛行時間型質量(time of flight)
分析計の質量分解能を向上させる。遅延引き出し法をmass spectrometer
備えた飛行時間型質量分析計が,遅延引き出し飛行時
間型質量分析計である。
なお,我が国では,この方法は“二段階加速法”と
も呼ばれる。
――――― [JIS Z 8126-3 pdf 9] ―――――
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Z 8126-3 : 2018
Z8
8
附属書A
12
(参考)
6-
3 : 2
真空計の分類
01
3102
8
真空計
3203 3204
全圧(真空)計 分圧(真空)計
機械的現象に基づく真空計 気体の輸送現象に基づく真空計 気体中の電離現象に基づく真空計
3401 3410 3418
液柱差真空計 粘性真空計 電離真空計
3402 3411 3419
U字管真空計 スピニングロータ真空計 放射線真空計
3403 3412 3420 3421
弾性真空計 水晶摩擦真空計 冷陰極電離真空計 ペニング真空計
3404 3413 3425 3422
ブルドン管真空計 熱伝導真空計 熱陰極電離真空計 マグネトロン真空計
3405 3414 3426 3423
隔膜真空計 熱電対真空計 三極管形電離真空計 逆マグネトロン真空計
3406 3415 3427 3424
静電容量型隔膜真空計 ピラニ真空計 高圧力電離真空計 ガイスラ管
3407 3416 3428 3429
圧縮真空計 サーミスタ真空計 ベアード−アルパート真空計 モジュレータ真空計
3408 3417 3430
マクラウド真空計 クヌーセン真空計 サプレッサ真空計
3409 3431
圧力天びん エキストラクタ真空計
3432
イオンエネルギー分離型真空計
3433
オービトロン真空計
3434
熱陰極マグネトロン真空計
――――― [JIS Z 8126-3 pdf 10] ―――――
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JIS Z 8125:2004の国際規格 ICS 分類一覧
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