JIS Z 8126-1:1999 真空技術―用語―第１部：一般用語

Z 8126-1 : 1999

まえがき

  この規格は,工業標準化法に基づいて,日本工業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が制定した日
本工業規格である。これによって,JIS Z 8126 : 1990は廃止され,このJIS Z 8126群に置き換えられる。
  今回の制定によって,JIS Z 8126群は,ISO 3529 (Vacuum technology−Vocabulary) の各部に一致した規
格となる。
  JIS Z 8126群は,規格の名称の前付け及び主題を“真空技術−用語”とし,次の各部からなる。
  第1部 : 一般用語
  第2部 : 真空ポンプ及び関連用語
  第3部 : 真空計及び関連用語
  JIS Z 8126-1には,次に示す附属書がある。
    附属書A(規定) 圧力の単位(従来単位とSI単位との比較)
    附属書B(規定) 真空工学に関係のある量記号

(pdf 一覧ページ番号 )

――――― [JIS Z 8126-1 pdf 1] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                           JIS
                                                                          Z 8126-1 : 1999

真空技術−用語−第1部 : 一般用語

Vacuum technology−Vocabulary− Part 1 : General terms

序文 この規格は,1981年に第1版として発行されたISO 3529-1, Vacuum technology−Vocabulary−Part 1 :
General termsを翻訳し,技術的内容を変更することなく作成した日本工業規格(日本産業規格)であるが,対応国際規格に
規定されていない用語を日本工業規格(日本産業規格)として追加している。
なお,この規格で点線の下線を施してある部分は原国際規格にはない事項である。
1. 適用範囲 この規格は,真空技術・真空工業に関する主な真空計及び関連用語について規定する。
    備考 この規格の対応国際規格を,次に示す。
          ISO 3529-1 : 1981 Vacuum technology−Vocabulary−Part 1 : General terms
2. 用語及び定義 用語,定義及び対応する外国語は,次のとおりとする。
  なお,対応する外国語のうち,独語はISO 3529-1で公用語である英語・仏語と同等としているが,ISO
の用語とみなしてはいない。
   番号       用語                   定義                            対応する外国語
2.0.1    標準環境状態  温度20℃,相対湿度65%で,乾燥空気の (英)standard ambient conditions
                       圧力が大気圧 (101 325Pa) の状態。 (独)Normalklima (n)
                                                         (仏)conditions normales ambiantes
2.0.2    気体の標準状態 気体論における気体の標準状態を与える (英)standard reference conditions for gases
                       もので,温度0℃,圧力101325Pa(1標準 (独)Normzustand (m)   r Gase
                       気圧)の状態。                    (仏)conditions normales de rfrence pour les gaz
2.1.1    真空          通常の大気圧より低い圧力の気体で満た (英)vacuum
                       された空間の状態。                (独)Vakuum (n)
                          備考1. 圧力そのものをいうのでは (仏)vide (m)
                                 ない。
                              2. 真空の領域は習慣的に2.1.1.1
                                 2.1.1.4に示す圧力間隔で区
                                 分する。
2.1.1.1  低(粗い)真空 圧力100kPa100Pa (105102Pa) の真空。
                                                         (英)low (rough)   acuum
                                                         (独)Grobvakuum (n) (GV)
                                                         (仏)vide grossier
2.1.1.2  中真空        圧力100Pa0.1Pa (10210−1Pa) の真空。
                                                         (英)medium vacuum
                                                         (独)Feinvakuum (n) (FV)
                                                         (仏)vide moyen

――――― [JIS Z 8126-1 pdf 2] ―――――

2
Z 8126-1 : 1999
   番号       用語                    定義                            対応する外国語
2.1.1.3  高真空 (HV)   圧力0.1Pa10  愀       10−110−5Pa) の真空。 (英)high vacuum (HV)
                                                         (独)Hochvakuum (n) (HV)
                                                         (仏)vide pouss
2.1.1.4  超高真空      圧力10 愀       10−5 Pa) 以下の真空。 (英)ultra-high vacuum (UHV)
          (UHV)           参考 圧力1nPa (10−9 Pa) 以下の真空 (独)Ultrahochvakuum (n) (UHV)
                               を極高真空 (XHV) と呼ぶこと (仏)ultra-vide
                               もある。
2.2.1    圧力          a) 境界面上の気体について : 実際の表面 (英)pressure
                          上のある面積に,気体によって作用さ (独)Druck (m)
                          れる力の垂直成分をその面積の逆数 (仏)pression (f)
                          で乗じたもの(気体の流れが存在する
                          ときは,その質量流量ベクトルに対し
                          て面の方向を規定する。)。
                       b) 空間内のある点を含む仮想の微小平
                          面を両側の方向から通過する分子に
                          よって,単位面積当たり,単位時間に
                          輸送される運動量の面に垂直な成分
                          の総和。空間内に定常的な気体の流れ
                          があるときは,流れの方向に対して面
                          の傾きを規定する。
                            (量記号 : p,単位記号 : Pa)
                          備考 “圧力”という用語は単独に用
                               いられるときは,静止している
                               気体中の圧力及び定常状態で
                               流れている気体の静圧を意味
                               している。
2.2.2    パスカル      国際単位系の圧力単位の名称。      (英)pascal
                       (単位記号 : Pa) 1Pa=1 N・m−2   (独)Pascal (n)
                          備考 他の圧力の諸単位については, (仏)pascal (m)
                               附属書Aを参照されたい。ただ
                               し,これらの単位は,可能な限
                               り使用を避けるべきである。
2.2.3    分圧          混合気体中の特定成分の圧力。      (英)partial pressure
                       (量記号 : 成分iに対してpi,単位記号 : Pa) (独)Partialdruck (m)
                                                         (仏)pression partielle (f)
2.2.4    全圧          混合気体中の全成分の分圧の総和。  (英)total pressure
                       (量記号 : p,単位記号 : Pa)       (独)Totaldruck (m)
                                                         (仏)pression totale (f)
2.3.1    気体          見掛け上,分子が分子間力によって運動の (英)gas
                       制限を受けないで空間を自由に満たせる (独)Gas (n)
                       状態にある物質。                  (仏)gaz (m)
                          備考 真空技術・真空工業では“気体”
                               という用語は非凝縮性気体及
                               び蒸気の両方を表している。
2.3.2    非凝縮性気体  温度がその物質の臨界温度以上になって (英)non-condensable gas
                       いて,圧力の増加だけでは凝縮相に変化さ (独)Gas (n)
                       せることができない気体。          (仏)gaz non condensable (m)
2.3.3    蒸気          温度がその物質の臨界温度以下になって (英)vapour; (米)vapor
                       いて,圧力の増加だけで凝縮相に変化させ (独)Dampf (m)
                       ることができる気体。              (仏)vapeur (f)

――――― [JIS Z 8126-1 pdf 3] ―――――

                                                                                              3
                                                                                  Z 8126-1 : 1999
   番号       用語                   定義                            対応する外国語
2.3.4    飽和蒸気圧    その温度で凝縮相と熱力学的平衡に達し (英)saturation vapour pressure
                       ている蒸気が示す圧力。            (独)Sttigungsdampfdruck (m)
                       (量記号 : pL,単位 : Pa)          (仏)pression de vapeur saturante (f)
2.3.5    飽和度        ある温度における蒸気の圧力とその飽和 (英)degree of saturation
                       蒸気圧との比。                    (独)Sttigungsgrad (m)
                                                         (仏)degr (m)   e saturation
2.3.6    飽和蒸気      ある温度において飽和蒸気圧に等しい圧 (英)saturated vapour
                       力を示す蒸気。                    (独)gesttigter Dampf (m)
                          備考 蒸気は,対象とする物質の凝縮 (仏)vapeur saturante (f)
                               相と熱力学的に平衡状態にあ
                               るときには,いつも飽和状態に
                               ある。
2.3.7    不飽和蒸気    ある温度において飽和蒸気圧より低い圧 (英)unsaturated vapour
                       力を示す蒸気。                    (独)ungesttigter Dampf (m)
                                                         (仏)vapeur sche (f)
2.4.1    気体分子密度  気体の中の特定の点において,またある瞬 (英)number density of molecules
                       間において,その特定の点を囲む適当に選 (独)volumenbezogene Teilchenanzahl (f) ;
                                                          Teilchenanzahldichte (f)
                       択された体積の中に,ある時間tにおいて
                       含まれる分子の数を,その体積の逆数で乗 (仏)nombre volumique de molcules (m)
                       じたもの。
                       (量記号 : n,単位 : m−3)
2.4.2    特定の成分の分 混合気体において : ある時間(1)   tにおいて,(英)concentration of molecules of a given
         子の密度                                         component
                       特定の点を囲むある体積に含まれる特定
                       の気体成分の分子密度。            (独)Teilchenanzahldichte einer
                                                          Komponente in einem Gasgemisch (f)
                       (特定の気体成分をBとすると,量記号 : 
                      nB,単位 : m−3)                   (仏)concentration molculaire d'um constituant
                          注(1) “時間”という言葉は,簡略化
                                                          donn
                               するために用いるものである。
                               より正確には,適切な統計的平
                               均が得られるように,時刻tを
                               中心とした短い時間間隔tに
                               おける時間平均がとられる。
2.4.3    単位質量密度                                    (英)unitary mass density
                       気体の質量密度をその圧力で除したもの。
                       (量記号 : Du,単位 : kg・m−3・Pa−1)
                                                         (独)druckbezogene Massendichte (f)
                                                         (仏)masse volumique unitaire (f)
2.4.4    平均自由行程  気体(一般には粒子の集合系)の中を自由に (英)mean free path
                       動き回る粒子(分子・原子・電子・イオン・ (独)mittlere freie Weglnge (f)
                       中性子など)が同種又は異種の粒子と次々に (仏)libre parcours moyen (m)
                       衝突する場合,相続く衝突間に粒子が飛行し
                       た距離の平均。
                       (量記号 :      l,単位 : m)
                          備考 平均をとると当たっては,統計
                               的に意味のある値が得られる
                               ように,十分大きな数の分子数
                               を取り,また十分長い時間に対
                               して平均を取るものとする。

――――― [JIS Z 8126-1 pdf 4] ―――――

4
Z 8126-1 : 1999
   番号       用語                   定義                            対応する外国語
2.4.5    衝突頻度      気体(一般には粒子の集合系)の中を自由 (英)Collision rate
                       に動き回る粒子が単位時間に受ける衝突 (独)Storate (f)
                       の平均回数。                      (仏)taux de collision (m)
                       (量記号 :     単位 : s−1)
                          備考 衝突に関与する粒子の種類を
                               指定することがある。また,こ
                               の平均衝突回数は,統計的に意
                               味のある値を得るために,十分
                               大きい数の分子に対し,また十
                               分長い時間間隔に対して,平均
                               化するものとする。
2.4.6    体積衝突頻度  気体(一般には粒子の集合系)の中で起こ (英)volume collision rate
                       る粒子間衝突の単位時間,単位体積当たり (独)volumenbezogene Storate (f) ;
                       の平均回数。                       Volumenstossrate
                       (量記号 : x,単位 : m−3・s−1)   (仏)taux volumique de collision (m)
                          備考 1個の粒子に関する量ではな
                               い。
2.4.7    気体の量,pV値 気体の体積と圧力の積。このように定義さ (英)quantity of gas
                       れたこの物理量は気体の質量をその単位 (独)pV-Wert (m)
                       質量密度の逆数で乗じた値に等しい。(仏)quantit nergtique de gaz (f)
                       (量記号 : G,単位 : Pa・m3)
                          備考 この積の値は常温 (20℃) にお
                               ける値に換算するか,又は気体
                               の温度を示す必要がある。ま
                               た,この量は,気体が占める体
                               積における気体の内部エネル
                               ギーの3分の2に等しい。
2.5.1    拡散          気体が媒質中における濃度こう配によっ (英)diffusion of gas
                       て移動する現象。                  (独)Gasdiffusion (f)
                          備考 媒質は,他の気体(この場合を (仏)diffusion d'un gaz (f)
                               相互拡散という。)又は凝縮相
                               である。
2.5.2    拡散係数      拡散の分子流量密度を密度のこう配で除 (英)diffusion coefficient ; diffusivity
                       した値。                          (独)Diffusionkoeffizient (m)
                       (量記号 : D,単位 : m2・s−1)     (仏)coefficient de diffusion (m)
2.6.1    粘性流        気体分子の平均自由行程が導管断面の寸 (英)viscous flow
                       法よりも十分に小さい場合に起こる導管 (独)viskose Strmung (f)
                       内の気体の流れ。                  (仏)coulement visqueux (m)
                          備考 流れは気体の粘性に依存し,層
                               流又は乱流となる。
2.6.2    ポアズイユの流 円形断面の長い導管を通る粘性層流(レイ (英)Poiseuille flow
         れ            ノルズ数が小さい場合)。          (独)Poiseuille Strmung (f)
                                                         (仏)coulement de Poiseuille (m)
2.6.2.1  レイノルズ数  流れの特性を表す無次元量の一つであっ (英)Reynolds number
                       て,流れを特徴づける代表的な長さ(例え (独)Reynoldssche Zahl (f)
                       ば,管の直径),流れの速度,気体の密度,(仏)nombre de Reynolds (m)
                       気体の粘度の関数。
                       (量記号 : Re)

――――― [JIS Z 8126-1 pdf 5] ―――――

次のページ PDF 6