JIS B 9929:2006 空気中のイオン密度測定方法 | ページ 5

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n n0 exp n Z t (4.2)
ここに, n : 0 正又は負の初期イオン密度 (/m3)
小イオン寿命( は,初期密度がe
1に減衰するのに要する時間で定義され,式(4.2)から, 1 n Z
で与えられる。
エアロゾロル濃度が高い大気環境中
n懿 Z では,小イオン密度の項を無視して,近似的に Z で
与えられ,100700秒程度となる。一方,クリーンルームのようなエアロゾル濃度の低い環境
n懿 Z で
は,近似的に n で与えられる。したがって,このような環境中では,正・負の小イオンの密度が高
ければ高いほど,その寿命は短くなる。

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附属書5(参考)設計時のコンデンサ内の層流試験法
序文 この附属書は,コンデンサ形イオン密度測定器の設計時にコンデンサ内部の物理的層流を確認する
方法を記載したのもので,規定の一部ではない。
1. 試験装置の構成 試験装置の構成は,附属書図5.1に示すように,試験用粒子発生器,試験用粒子供
給部,清浄空気供給部,試験用コンデンサ,粒子捕集用フィルタ,空気流量測定部,空気吸引部からなる。
a) 試験用粒子発生器 試験用粒子発生器は,ネブライザ又はアトマイザを利用し,乾燥空気を用いて試
験用粒子を発生し,粒子を供給するものとする。試験用粒子には,フィルタで捕集したときに,目視
で確認しやすいメチレンブルーなどの染料を用いる。
b) 試験用粒子供給部 試験用粒子供給部は,物理的層流を確認しやすくするため,スリット状にする。
c) 清浄空気供給部 清浄空気供給部は,物理的層流を確認しやすくするため,染料粒子などの混入を排
除する。
d) 試験用コンデンサ イオン密度測定用コンデンサは,イオン密度測定器として設計されるコンデンサ
と同等の寸法でなければならない。
e) 粒子捕集用フィルタ 粒子捕集用フィルタは,できるだけ圧力損失の少ないものを使用する。
f) 空気流量測定部 空気流量測定部は,試験用コンデンサの寸法からあらかじめレイノルズ数を試算し
たときに,その値がおおむね1 0002 300の範囲内で流量の測定が可能なものとする。また,フィル
タによって生じる圧力損失に対して,流量補正が可能なものとする。
g) 空気吸引部 空気吸引部は,試験用コンデンサの寸法からあらかじめレイノルズ数を試算したときに,
その値がおおむね1 0002 300の範囲内で流量が可変なものとする。
試験用粒子 粒 空 空
子 気 気
供給部
捕 流 吸
試験用 集 量 引
コンデンサ 用 測 部
フ 定
ィ 部
清浄空気 ル
供給部 タ
附属書図 5.1 試験装置の構成図
2. 試験方法
2.1 準備

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2.1.1 設計時のコンデンサと同一寸法のコンデンサを準備し,附属書図5.2に示すように,コンデンサの
空気吸引部に染料粒子供給用BOXを取り付け,中央部の清浄空気導入部との間に適切なスリットを設け
る。
2.1.2 コンデンサ内の層流を確認するフィルタを,コンデンサの下流部に設置し,附属書図5.1に示した
試験装置を組み立てる。
(清浄空気IN)
(染料粒子IN)
粒子乾燥機
染料粒子供給用Box
染料粒子発生器
(ネブライザ又は
アトマイザ)
清浄空気供給装置 (染料粒子OUT)
インシュレータ
粒子捕集用フィルタ
(空気OUT)
附属書図5.2 層流試験方法構成図
2.2 試験手順
2.2.1 層流試験用の粒子を生成するために,可溶性の染料を純水に溶解し,ネブライザ,又はアトマイザ
に注入する。
2.2.2 ネブライザ,アトマイザに乾燥清浄空気を送り,発生した液滴状の粒子を乾燥させ,試験用粒子供
給部に染料粒子を導入する。
2.2.3 試料空気流量をレイノルズ数1 0002 300に範囲で数段階に調整し,空気吸引部を作動させ,各試
験流量ごとに染料粒子を粒子捕集用フィルタに付着させる。
2.2.4 各試験流量ごとにフィルタを取り外して,染料粒子の付着状況を確認する。
2.3 試験結果の確認及び記録
2.3.1 管内層流の確認 管内層流の確認は,取り外したフィルタ上に付着した染料粒子の目視確認によっ
て行う。管内が層流であれば,フィルタは附属書図5.3 に示した文様が作り出される。

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(同軸二重円筒式コンデンサ) (平行平板式コンデンサ)
附属書図 5.3 層流が実現しているときのフィルタへの染料粒子付着状況
2.3.2 管内乱流の確認 管内乱流の確認は,取り外したフィルタ上に付着した染料粒子の目視確認によっ
て行う。管内が乱流であれば,フィルタは附属書図5.4に示した文様が作り出される。
(同軸二重円筒式コンデンサ) (平行平板式コンデンサ)
附属書図 5.4 乱流が実現しているときのフィルタへの染料粒子付着状況
2.3.3 試験結果の記録 試験結果の記録は,物理的層流状態が保持されている最大試料空気流量を記録し,
同時に,その値を用いて計算したレイノルズ数を記録する。
関連規格 JIS A 1431 空気調和・換気設備の風量測定方法
JIS B 8330 送風機の試験及び検査方法
JIS B 9908 換気用エアフィルタユニット・換気用電気集じん器の性能試験方法
JIS B 9922 クリーンベンチ
JIS B 9927 クリーンルーム用エアフィルタ−性能試験方法
JIS T 8202 一般用風速計
JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語
ISO/IEC Guide : 1995,Guide to the expression of Uncertainty in measurement
IEC 61340-5-1 Electrostatics−Part 5-1: Protection of electronic devices from electrostatics phenomena
−General requirements

JIS B 9929:2006の国際規格 ICS 分類一覧

JIS B 9929:2006の関連規格と引用規格一覧

規格番号
規格名称
JISB9920:2002
クリーンルームの空気清浄度の評価方法