JIS C 5630-19:2014 マイクロマシン及びMEMS―第19部:電子コンパス | ページ 3

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C 5630-19 : 2014 (IEC 62047-19 : 2013)
6 5 7
8
2
1
3 4
1 DUT 6 DUT用電源
2 3軸ヘルムホルツコイル 7 3軸ヘルムホルツコイル用電源
3 磁気計 8 データリーダ
4 磁気センサ ⇒ 信号系
5 データ処理用コンピュータ → 電源系
図4−3軸ヘルムホルツコイルを用いた場合の測定回路
6 5
7
2
1
3 4
1 DUT 6 DUT用電源
2 シールドルーム又はシールドボックス 7 データリーダ
3 磁気計 ⇒ 信号系
4 磁気センサ → 電源系
5 データ処理用コンピュータ
図5−シールドルーム又はシールドボックスを用いた場合の測定回路
5.3.3 測定原理
無磁場環境でのDUTからの出力値を測定する。出力の単位はLSB(注記参照)で表したボルト(V)で
ある。この単位はボルト以外にもアンペア(A),秒(s)などを用いてもよい。
注記 LSBについては5.1.3.2の注記1を参照。
5.3.4 測定上の注意事項

――――― [JIS C 5630-19 pdf 11] ―――――

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C 5630-19 : 2014 (IEC 62047-19 : 2013)
シールドルーム又はシールドボックスを利用し,無磁場環境を形成することがDUTからの出力値を正
確に測定する上で効果的である。ただし,3軸ヘルムホルツコイルを用いて無磁場環境を形成する場合,
シールドルーム又はシールドボックスを用いる必要はない。
5.3.5 測定手順
5.3.5.1 3軸ヘルムホルツコイルを用いる場合
3軸ヘルムホルツコイルを用いる場合は,次による(図4参照)。
a) 指定の無磁場相当磁場強度以下になるように,3軸ヘルムホルツコイルの特定コイルに特定電流を印
加する。
b) 3軸ヘルムホルツコイルに設置した磁気センサによって,無磁場環境が形成されていることを確認す
る。
c) UTのパッケージの各辺方向と3軸ヘルムホルツコイルによる各磁界軸が平行になるように,3軸ヘ
ルムホルツコイル内にDUTを設置する。
d) UTを動作状態にするために,所望の電源電圧をDUTに印加する。
e) UTからのデジタル出力値をPCでシリアル通信によって取得する。
注記 測定順序は,c) → a) → b) → d) → e) でもよい。
5.3.5.2 シールドルーム又はシールドボックスを用いる場合
シールドルーム又はシールドボックスを用いる場合は,次による(図5参照)。
a) シールドルーム又はシールドボックスに設置した磁気センサによって,ルーム又はボックス内が無磁
場相当磁場強度以下であることを確認する。
b) UTを動作状態にするために,所望の電源電圧をDUTに印加する。
c) Cを用い,DUTからのデジタル出力値をシリアル通信によって取得する。
5.3.6 指定条件
測定条件は,次による。
− 周囲温度
− 無磁場相当磁場強度

5.4 磁気センサ部の他軸感度

5.4.1  目的
磁気センサの他軸感度を指定の条件下で測定する。他軸感度の規定が2種類あるため,測定法が2種類
ある。2種類の規定は,5.4.3.1及び5.4.4.1を参照する。
5.4.2 測定回路
測定回路は,図2と同じ回路を用いる。
5.4.3 測定法1
5.4.3.1 測定原理
各センサ(x軸センサ,y軸センサ,z軸センサ)の感度軸方向に垂直の方向に磁界印加することによる
出力変化を感度で除したものを他軸感度と規定する。
x軸センサのy軸方向他軸感度Axyは,式(3)によって求める。
Vyp Vyn
Axy 100 (3)
2HAx
ここに, Axy : x軸センサのy軸方向の他軸感度(%)
Vyp : 強さHの磁界を磁気センサ部のy軸正方向に印加したとき

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C 5630-19 : 2014 (IEC 62047-19 : 2013)
の,磁気センサ部のx軸センサ出力,単位はLSB(注記1参
照)で表したボルト(V)である。
Vyn : 強さHの磁界を磁気センサ部のy軸負方向に印加したとき
の,磁気センサ部のx軸センサ出力で,単位はLSB(注記1
参照)で表したボルト(V)である。
H : 磁場の強さで,単位はA/mである(注記2参照)。
Ax : x軸センサの感度で,単位はLSBで表したV・m/Aである。
注記1 LSBについては5.1.3.2の注記1を参照。
注記2 Hは磁界の代わりに磁束密度(単位 : T)を用いてもよい。
5.4.3.2 測定上の注意事項
パッケージ各面とコイルの磁界方向と一致させる。
5.4.3.3 測定手順
5.4.3.3.1 x軸センサのy軸方向感度の測定法
x軸センサのy軸方向感度の測定法は,次のとおりである。
a) 周囲温度を設定する。
b) UTに電源電圧を印加して,必要に応じてレジスタを初期化する。
c) 指定の印加磁界をDUTのy軸正方向に印加する。
d) UTのx軸センサ出力を測定する。
e) 指定の印加磁界をセンサのy軸負方向に印加する。
f) DUTのx軸センサ出力を測定する。
g) 軸センサ出力値から式(3)を用いて他軸感度を求める。
5.4.3.3.2 x軸センサのz軸方向感度の測定法
測定法は5.4.3.3.1の規定による。
5.4.3.3.3 y軸センサのx軸方向感度の測定法
測定法は5.4.3.3.1の規定による。
5.4.3.3.4 y軸センサのz軸方向感度の測定法
測定法は5.4.3.3.1の規定による。
5.4.3.3.5 z軸センサのx軸方向感度の測定法
測定法は5.4.3.3.1の規定による。
5.4.3.3.6 z軸センサのy軸方向感度の測定法
測定法は5.4.3.3.1の規定による。
5.4.4 測定法2
5.4.4.1 測定原理
5.4.4.1.1 xy他軸感度の測定原理
x軸センサとy軸センサとの出力間の直交性のずれをδとした場合,tan δを百分率で表したものを,xy
他軸感度とする。xz他軸感度及びyz他軸感度についても同様とする。
具体的には,xy他軸感度Axyは,式(4)及び式(5)で求める。
Axy 100
tan δ (4)
Vyxp Vyxn Vxyp Vxyn
arctan arctan (5)
Vxxp Vxxn Vyyp Vyyn

――――― [JIS C 5630-19 pdf 13] ―――――

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C 5630-19 : 2014 (IEC 62047-19 : 2013)
ここに, Axy : xy他軸感度(%)
Vxxp : 強さHの磁界をセンサのx軸正方向に印加したときの,磁気
センサのx軸センサ出力,単位はLSB(注記1参照)で表し
たボルト(V)である。
Vxxn : 強さHの磁界をセンサのx軸負方向に印加したときの,磁気
センサのx軸センサ出力,単位はLSB(注記1参照)で表し
たボルト(V)である。
Vxyp : 強さHの磁界をセンサのx軸正方向に印加したときの,磁気
センサのy軸センサ出力,単位はLSB(注記1参照)で表し
たボルト(V)である。
Vxyn : 強さHの磁界をセンサのx軸負方向に印加したときの,磁気
センサのy軸センサ出力,単位はLSB(注記1参照)で表し
たボルト(V)である。
Vyxp : 強さHの磁界をセンサのy軸正方向に印加したときの,磁気
センサのx軸センサ出力,単位はLSB(注記1参照)で表し
たボルト(V)である。
Vyxn : 強さHの磁界をセンサのy軸負方向に印加したときの,磁気
センサのx軸センサ出力,単位はLSB(注記1参照)で表し
たボルト(V)である。
Vyyp : 強さHの磁界をセンサのy軸正方向に印加したときの,磁気
センサのy軸センサ出力,単位はLSB(注記1参照)で表し
たボルト(V)である。
Vyyn : 強さHの磁界をセンサのy軸負方向に印加したときの,磁気
センサのy軸センサ出力,単位はLSB(注記1参照)で表し
たボルト(V)である。
H : 磁場の強さで,その単位はA/mである(注記2参照)。
注記1 LSBについては5.1.3.2の注記1を参照。
注記2 Hは磁界の代わりに磁束密度(単位 : T)を用いてもよい。
5.4.4.1.2 xz他軸感度の測定原理
xz他軸感度の測定原理は5.4.4.1.1と同様な測定原理である。
5.4.4.1.3 yz他軸感度の測定原理
yz他軸感度の測定原理は5.4.4.1.1と同様な測定原理である。
5.4.4.2 測定上の注意事項
コイルの各軸を直交させる。
5.4.4.3 測定手順
5.4.4.3.1 xy他軸感度の測定手順
xy他軸感度の測定手順は次による。
a) 周囲温度を設定する。
b) UTに電源電圧を印加して,必要に応じてレジスタを初期化する。
c) 指定の印加磁界をDUTのx軸正方向に印加する。
d) UTのx軸センサ出力及びy軸センサ出力を測定する。
e) 指定の印加磁界をDUTのx軸負方向に印加する。
f) DUTのx軸センサ出力及びy軸センサ出力を測定する。
g) 指定の印加磁界をDUTのy軸正方向に印加する。
h) UTのx軸センサ出力及びy軸センサ出力を測定する。
i) 指定の印加磁界をDUTのy軸負方向に印加する。

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C 5630-19 : 2014 (IEC 62047-19 : 2013)
j) DUTのx軸センサ出力及びy軸センサ出力を測定する。
k) 軸センサ出力値及びy軸センサ出力値から,式(4)及び式(5)を用いて他軸感度を求める。
5.4.4.3.2 xz他軸感度の測定手順
xz他軸感度の測定手順は,5.4.4.3.1の規定による。
5.4.4.3.3 yz他軸感度の測定手順
yz他軸感度の測定手順は,5.4.4.3.1の規定による。
5.4.5 指定条件
測定条件は,次による。
− 印加磁界強度
− 周囲温度
− 電源電圧

5.5 加速度センサ部の感度及びオフセット

5.5.1  目的
加速度センサ部の感度及びオフセットを指定条件下で測定する。
5.5.2 測定回路
測定回路は,図2と同じ回路を用いる。
5.5.3 測定原理
加速度センサ部の感度は,x,y及びzの各軸について同様に定義される。以下では,x軸を例に説明す
る。
x軸感度の測定時のDUTの向きを,図6に示す。
x軸
x軸
g
a) 軸鉛直上向き b) 軸鉛直下向き
図6−DUTの向き
DUTの向きを,x軸が鉛直上向き及び鉛直下向きとなるよう2通りに変化させたとき,x軸センサの出
力及び加速度は,それぞれ次の式で求める。
x軸鉛直上向き時のx軸センサの出力Vux及び加速度Guxは,式(6)及び式(7)による。
Vux=−bx+Voffx (6)

――――― [JIS C 5630-19 pdf 15] ―――――

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