JIS C 61340-3-2:2011 静電気―第３－２部：静電気の影響をシミュレーションする方法―マシンモデル（ＭＭ）の静電気放電試験波形

                                                            C 61340-3-2 : 2011 (IEC 61340-3-2 : 2006)

pdf 目 次

ページ

•  序文・・・・[1]
•  1 適用範囲・・・・[1]
•  2 用語及び定義・・・・[1]
•  3 試験装置・・・・[2]
•  4 MM ESD電流波形への要求事項・・・・[3]
•  4.1 一般的事項・・・・[3]
•  4.2 電流波形の確認及び校正・・・・[3]
•  5 供試品のESD耐圧評価・・・・[5]
•  5.1 一般パラメータ・・・・[5]
•  5.2 電気的端子をもつ供試品の評価・・・・[5]
•  5.3 電気的端子をもたない供試品の評価・・・・[6]
•  6 試験手順・・・・[6]
•  7 判定基準・・・・[6]
•  8 MMのESD耐性分類・・・・[6]

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C 61340-3-2 : 2011 (IEC 61340-3-2 : 2006)

まえがき

  この規格は,工業標準化法第12条第1項の規定に基づき,財団法人日本電子部品信頼性センター(RCJ)
及び財団法人日本規格協会(JSA)から,工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)を制定すべきとの申出があ
り,日本工業標準調査会の審議を経て,経済産業大臣が制定した日本工業規格(日本産業規格)である。
  この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。
  この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願又は実用新案権に抵触する可能性があることに注意
を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許権,出願公開後の特許出願及び実
用新案権に関わる確認について,責任はもたない。
  JIS C 61340の規格群には,次に示す部編成がある。
    JIS C 61340-2-1 静電気−測定方法−材料及び製品の静電気電荷拡散性能の測定方法
    JIS C 61340-3-1 第3-1部 : 静電気の影響をシミュレーションする方法−人体モデル(HBM)の静電
        気放電試験波形
    JIS C 61340-3-2 第3-2部 : 静電気の影響をシミュレーションする方法−マシンモデル(MM)の静電
        気放電試験波形
    JIS C 61340-4-1 第4-1部 : 特定応用のための標準的な試験方法−床仕上げ材及び施工床の電気抵抗
    JIS C 61340-4-3 第4-3部 : 特定応用のための標準的試験方法−履物
    JIS C 61340-4-4 第4-4部 : 特定応用のための標準的試験方法−フレキシブルコンテナの静電気的分
        類
    JIS C 61340-4-5 静電気−特定応用のための標準的試験方法−人体と組み合わせた履物及び床システ
        ムの静電気防止性能の評価方法

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                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                      C 61340-3-2 : 2011
                                                                       (IEC 61340-3-2 : 2006)

静電気−第3-2部 : 静電気の影響をシミュレーションする方法−マシンモデル(MM)の静電気放電試験波形

Electrostatics-Part 3-2: Methods for simulation of electrostatic effects-Machine model (MM) lectrostatic discharge test waveforms

序文

  この規格は,2006年に第2版として発行されたIEC 61340-3-2を基に,技術的内容及び構成を変更する
ことなく作成した日本工業規格(日本産業規格)である。
  なお,この規格で点線の下線を施してある参考事項は,対応国際規格にはない事項である。

1 適用範囲

  この規格は,マシンモデル(以下,MMという。)において静電気放電(以下,ESDという。)を再現す
るために用いる放電電流波形及びその波形を作り出し確認するために用いる装置の基本的な要求事項につ
いて規定する。
  この規格は,一般的な電子部品の試験に適用できる。さらに,ESD耐性試験又は性能評価目的で,材料
又は物質,電子部品及びその他の静電気対策用部材に応用するためのMMにおけるESDの電流波形(以
下,MM ESD電流波形という。)に適用できる。単体で取り扱う半導体デバイスのMM ESD電流波形は,
IEC 60749-27に規定する。
    注記 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。
          IEC 61340-3-2:2006,Electrostatics−Part 3-2: Methods for simulation of electrostatic effects−Machine
              model (MM)   lectrostatic discharge test waveforms(IDT)
            なお,対応の程度を表す記号“IDT”は,ISO/IEC Guide 21-1に基づき,“一致している”こ
          とを示す。

2 用語及び定義

  この規格で用いる主な用語及び定義は,次による。
2.1
供試品,UUT(unit under test)
  MMにおけるESD試験の対象となる材料,物質,静電気対策用部材又は製品。
2.2
供試品故障(UUT failure)
  ESD試験の結果,供試品が規定の特性値(パラメータ)に適合しなくなった状態。

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2
C 61340-3-2 : 2011 (IEC 61340-3-2 : 2006)
2.3
ESD耐圧(ESD withstand voltage)
  供試品故障を発生させない最大ESD電圧。

3 試験装置

3.1   MM ESD電流波形発生装置 MM ESD電流波形発生装置は,供試品へ印加するMMにおけるESD
事象を模擬する電流波形を作り出す。MM ESD電流波形発生装置の等価回路及び校正用負荷を,図1に示
す。
                      記号
                      1 MM ESD電流波形発生装置(公称値 : 200 pF)
                      2 端子A              3 スイッチ        4 端子B
                      5 供試品             6 校正用負荷      7 短絡線
                      8 抵抗器R=500 Ω    9 電流トランスデューサ
                    図1−MM ESD電流波形発生装置の等価回路及び校正用負荷
  各機器は,次による。
a) 校正用負荷(図1の記号7及び8)は,3.2.2に規定する。
b) 電流トランスデューサ(記号9)は,3.2.3に規定する。
c) 正負又は両極性の実施のため,端子A(記号2)と端子B(記号4)とを入れ替えてはならない。
d) 供試品及びその他のテストジグに静電気帯電を残さないために,MM単発パルスの印加期間後に10 ms
    100 msの間,スイッチ(記号3)を閉じる。
      注記1 MM ESD電流波形発生装置の性能は,浮遊容量及びインダクタンスの影響を強く受ける。
      注記2 MM ESD電流波形発生装置の設計には,再帯電状態及び2重パルス印加を避けるように注
              意することが望ましい。パルスを連続して印加する場合,完全に放電した後,次のパルス
              を印加することが望ましい。
      注記3 スイッチの直列抵抗は,デバイスの除電を遅くさせる。
3.2   電流波形校正装置 MM ESD電流波形の校正に用いる装置について規定する。電流波形校正装置に
は,電流波形記録装置,高電圧抵抗器及び電流トランスデューサを含むが,これらに限定しない。
3.2.1  電流波形記録装置 電流波形記録装置のシングルショットの帯域幅は,350 MHz以上とする。
3.2.2  校正用負荷
  MM ESD電流波形発生装置を校正するために,次の二つの負荷を用いる。
a) 負荷1 : 短絡線

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                                                            C 61340-3-2 : 2011 (IEC 61340-3-2 : 2006)
b) 負荷2 : 波形校正に用いる電圧に対して,500 Ω±1 %のできるだけインダクタンス成分の低い抵抗器
  短絡線及び抵抗器のリード長は,できるだけ短くする。電流トランスデューサを通して,図1の端子A
及び端子Bに接続する校正用負荷は同じ長さでなければならない。
3.2.3  電流トランスデューサ 電流トランスデューサの帯域幅は,350 MHz以上とする。

4 MM ESD電流波形への要求事項

4.1 一般的事項

  供試品の試験前に,MM ESD電流波形発生装置は,短絡線(負荷1)及び抵抗負荷(負荷2)を通した
電流波形が正常であることを確認する。短絡線でのESD電流波形は,表1に規定する全ての正及び負の等
価電圧に対して,図2に示すとおりとする。抵抗負荷でのESD電流波形は,+400 V及び−400 Vの等価
電圧に対して,図3に示すとおりとする。

4.2 電流波形の確認及び校正

  試験装置は,最初の受入試験の間に電流波形の確認をしなければならない。ESD電流波形に影響を及ぼ
す可能性がある修理を行った場合は,試験装置の電流波形を再確認しなければならない。さらに,定期的
に波形校正をしなければならない。
  供試品の試験に試験基板又は回路基板を用いる場合,基板は,試験装置の電流波形を確認するときに用
いたものと同じとする。電流波形が表1並びに図2及び図3と合致しない場合,直近の波形校正後に実施
した全てのESD試験は無効とする。
                                      表1−電流波形の仕様
        電圧ストレス  等価電圧  短絡線における                      抵抗器(500 Ω)におけ
                                               抵抗器(500 Ω)におけ
           レベル               ピーク電流a)   p1  るピーク電流IPR   る100 nsでの電流a)   100
                         V            A                 A                    A
             1          100          1.7                −                   −
             2          200          3.5                −                   −
             3          400          7.0                          4          800          14.0               −                   −
        注a) 許容差は,±15 %とする。

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