JIS B 0681-6:2014 製品の幾何特性仕様（ＧＰＳ）―表面性状：三次元―第６部：表面性状測定方法の分類 | ページ 3

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                                                                B 0681-6 : 2014 (ISO 25178-6 : 2010)
                                          附属書A
                                          (参考)
                                      測定学上の制限
A.1 表面の等質性
  3.3に規定した各方法は,プローブと表面との相互作用が前提となっている。そのため表面凹凸の高精度
な測定は,検出する表面の特性の等質性に依存する。それに留意しないと表面物質特性の空間的変動が,
明らかに誤った表面凹凸測定値を導いてしまう。光学的方法は表面上の光学的特性の変動に影響され,ス
タイラス及び原子間力顕微鏡のような接触式測定法は弾性率の変動に影響され,走査トンネル顕微鏡は導
電率の変動に影響される。したがって,どの表面凹凸を測定する方法でも表面の特性を考慮することは重
要である。
A.2 レンジ及び分解能
  3.3に規定された各方法は,X軸方向,Y軸方向及びZ軸方向(xy面に対する垂直方向)においてレン
ジ及び分解能の制限がある。使用されている測定機のレンジ及び分解能の制限を使用者が理解することは
重要である。これらは製造業者の取扱説明書及び添付資料に記載することが望ましい。
  一般に,
− 空間分解能は,横方向分解能によって通常制限される。それらは光学顕微鏡の回折限界又は接触式輪
    郭曲線計のプローブ先端の大きさ,ISO/TS 16610規格群[32]で認められた凹凸解析に適用される平滑
    化フィルタの短波長側のカットオフ又はネスティング指標(等価カットオフ)である。
− 横方向レンジは輪郭曲線の長さ又は測定される面積の大きさに制限される。
− Z軸方向(xy面に対する垂直方向)分解能は,測定機のノイズによって制限されることが多い(識別
    限界,ISO/IEC Guide 99:2007の4.16参照)。
− Z軸方向(xy面に対する垂直方向)測定範囲は,しばしばZ軸方向の駆動長さによって制限される。
  そのため,縦横の分解能限界は,しばしば相互作用センサの性能によって決められ,また,その一方で
両レンジは,プローブをZ軸方向(xy面に対する垂直方向)又はX軸及びY軸方向に変位させる変位デ
バイスの性能によって決めることが多い。レンジ及び分解能は,輪郭曲線及び三次元の表面凹凸測定機に
おいて重要な特性であり,かつ,[33],[34],[35]などで説明されている。
A.3 傾斜測定
  表面性状測定法は,急勾配の表面に対して測定が制限事項を伴うことがある。例えば,触針走査法及び
原子間力顕微鏡はプローブ先端のシャンク角によって制限される。幾つかの方式の光学顕微鏡において,
急勾配の測定に対する制限は対物レンズの開口数に関係する。

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B 0681-6 : 2014 (ISO 25178-6 : 2010)
                                          附属書B
                                          (参考)
                          GPSマトリックスモデルとの関係
B.1   全般
  GPSマトリックスモデルの全ての詳細は,ISO/TR 14638 [2]を参照する。
B.2   GPSマトリックスモデルにおける位置付け
  この規格は,図B.1に示すGPS基本規格,GPS基本マトリックスの三次元表面性状規格チェーンのリン
ク番号5に関係する。
                                               全体的なGPS規格
                                           一般的なGPSマトリックス
                             チェーンリンクの番号         1   2   3   4   5   6
                             サイズ
                             距離
                             半径
                             角度
                             データムに無関係な線の形状
                             データムに関係する線の形状
                             データムに無関係な表面の形状
                基本的な     データムに関係する表面の形状
                GPS規格      姿勢
                             位置
                             円周振れ
                             全振れ
                             データム
                             粗さ曲線
                             うねり曲線
                             断面曲線
                             表面欠陥
                             エッジ
                             三次元表面性状
                         図B.1−GPSマトリックスモデルにおける位置付け
B.3   関連国際規格
  関連国際規格は,図B.1に示す規格チェーンに含まれる規格である。

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参考文献
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     ISO 25178-601:2010,Geometrical product specifications (GPS)−Surface texture: Areal−Part 601: Nominal
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     ISO 25178-602:2010,Geometrical product specifications (GPS)−Surface texture: Areal−Part 602: Nominal
         characteristics of non-contact (confocal chromatic probe)   nstruments
     ISO 25178-603:2013,Geometrical product specifications (GPS)−Surface texture: Areal−Part 603: Nominal
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