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B 7081 : 2017
内部表面は,完全拡散面特性をもつ高い拡散反射材で形成しなければならない。
拡散反射材に適する物質及び対応する波長範囲は,表2によるのがよい。
表2−積分球の内壁に望ましい拡散反射材
物質 波長範囲 nm
硫酸バリウム(Barium sulfate) 3501 430
2002 500
ポリテトラフルオロエチレン(Polytetrafluoroethylene)
積分球の出口開口の開口度は出口開口面積及び積分球内面の面積との比で計算し,0.03以下とする。ま
た,最小散乱検出角(図1参照)は5°20°とする。
なお,積分球内面の面積には積分球の内部直径から算出する球の面積を用いる。積分球の内部直径は60
mm以上とする。
出口開口解放時の目的以外の光を抑制するために,積分球を通って出口開口から抜けた光が装置内部の
壁面などで反射して再び積分球内へ戻らないように光トラップを設置してもよい。
また,試料測定時に生じる散乱光のうち,積分球の内壁を経由せずに直接検出器へ入射する光をブロッ
クするためのバッフルを設置してもよい(図1参照)。
散乱光の値を比較するためには,積分球の仕様を同等にして測定を行う。
5.2.5 検出器
検出器は,光源に対して十分な感度,直線性及びダイナミックレンジをもつものとする。
通常,光電子増倍管を用いることが多い。
5.3 測定環境
測定環境の温度範囲及び相対湿度は,次による。
− 温度範囲は20 ℃35 ℃とする。
− 相対湿度は60 %以下とする。ただし,結露があってはならない。
6 測定方法
6.1 試料の条件
試料は平行な2面によって構成されており,少なくとも10 m以上の曲率半径の表面をもつ光学部品と
する。試料サイズは,厚みが10 mmまで又は試料を介した直線透過光が屈折によって出口開口以外の積分
球内壁に照射されない厚みとし,光軸に対して垂直方向が光束のサイズより十分大きく,入口開口前面の
試料ホルダに設置できるサイズとする。
6.2 試料の準備
製造業者による指示に従って,試料の保管,クリーニング及び準備を行う。
製造業者による指示がない場合,試料は60 %以下の相対湿度の環境で保管し,準備し,試験する。
必要に応じて,試料をJIS K 7100に従って,試験前の40時間以上,温度21 ℃25 ℃,相対湿度40 %
60 %の条件の下で保管する。
試料は開こん(梱)と準備との間,常にクリーンルーム状況の下で保管するのが望ましい。
手による取扱いは,試料の非光学面だけとする。
汚染物質が試料の上で観察された,又は開こん(梱)する以前の取扱い環境が不明で試料が汚染されて
いる可能性がある場合,試料の表面を文書化した手順によってクリーニングする。
汚染物質が除去できないときは,その状況を試験前に写真又は電子的手段によって記録する。
――――― [JIS B 7081 pdf 6] ―――――
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7 測定手順
7.1 装置の性能確認
附属書Bの方法によって装置の性能確認を行う。
7.2 入射光強度の測定
試料を設置しない状態で入口開口を開き,標準拡散反射材を積分球の出口開口に置き,測定波長範囲に
おける入射光強度[I1(λi)]を測定する(図2及び表3を参照)。
注記 図にリファレンスポートは記載していない(以下の図3図5も同様)。
図2−入射光強度の測定
7.3 試料の設置
試料を,積分球の入口開口に設置する。
7.4 試料全透過光強度の測定
試料の設置後,積分球の出口開口に標準拡散反射材を設置した状態で,入口開口を開き,全透過光強度
I2(λi)を測定する(図3及び表3を参照)。試料全透過率[τ2(λi)]は式(1)による。
τ2 λi I1 λi
I2 λi (1)
図3−試料全透過光強度の測定
7.5 装置内散乱光強度の測定
標準拡散反射材を取り外し,入口開口及び出口開口を開放し,積分球内の装置内散乱光強度[I3(λi)]を
測定する(図4及び表3を参照)。装置内散乱率[τ3(λi)]は式(2)による。
I3 λi
τ3 λi (2)
I1 λi
図4−装置内散乱光強度の測定
7.6 試料前方散乱光強度及び装置内散乱光強度の測定
入口開口に試料を設置して,出口開口を開放し,試料前方散乱光強度及び装置内散乱光強度[I4(λi)]を
――――― [JIS B 7081 pdf 7] ―――――
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測定する。(図5及び表3を参照)。試料前方散乱率及び装置内散乱率[τ4(λi)]は式(3)による。
τ4 λi I1 λi
I4 λi (3)
図5−試料前方散乱光強度及び装置内散乱光強度の測定
表3−測定時の試料及び開口の状態
試料/入口開口 出口開口
I1(λi) 無/開放 標準拡散反射材
I2(λi) 有/開放 標準拡散反射材
I3(λi) 無/開放 開放
I4(λi) 有/開放 開放
7.7 λiにおける前方散乱率の計算方法
λiにおける前方散乱率[Sfor(λi)]は350 nm850 nmの波長範囲において,式(4)による。
データ間隔は5 nm以下とし,1 nmが望ましい。
なお,式(4)の導入については,ISO 13696:2002,Optics and optical instruments−Test methods for radiation
scattered by optical componentsを参考にした。
τ2 λi
τ4 λi τ3 λi
Sfor λi (4)
1 τ3 λi
ここに, τ2(λi) : 試料全透過率
τ3(λi) : 装置内散乱率
τ4(λi) : 試料前方散乱率及び装置内散乱率
7.8 波長平均前方散乱率の計算方法
波長平均前方散乱率の計算は,式(5)を用い,試料の透過帯域について計算する。計算の詳細については
附属書Aに示す。
n
Sfor λi
i
Sfor (5)
n
ここに, Sfor(λi) : i番目の波長における前方散乱率
λi : i番目の波長
n : 計算に用いた測定点の数
8 試験報告
試験報告には,次の情報を含まなければならない。
a) 試験所に関係する情報
1) 試験所の組織名及び住所
2) 試験の日付
3) 測定者の名前
4) 試験の基礎として使用した規格
――――― [JIS B 7081 pdf 8] ―――――
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b) 試料についての情報
1) 試料の製造業者名,部品のIDコード及び製造年月日
2) 基板及び薄膜の情報(例えば,材質,直径及び厚さなど)
3) 試料の保管及びクリーニングに対する製造業者の仕様
4) 通常の使用に対する製造業者の仕様(例えば,分光特性,波長,偏光,入射角,使用目的など)
c) 試験に関する情報
1) 分光光度計(製造業者名,型式及び性能確認結果)
2) 積分球のパラメータ(直径,開口度,最小散乱検出角,内壁のコーティング物質及び標準拡散反射
材)
3) 検出システムのパラメータ(波長領域,光源及び検出器)
4) 試験環境
5) 試料に対する光線の入射方向
d) 結果に関する情報
1) 試料前方散乱率,及び/又は平均前方散乱率
2) 平均前方散乱率の場合は,計算に用いた波長(λi),又は波長範囲
3) 結果に影響を与えるような場合はその詳細
――――― [JIS B 7081 pdf 9] ―――――
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附属書A
(規定)
装置内散乱光及び試料散乱の測定及び計算方法
A.1 透過率及び散乱率の測定
図A.1に薄膜試料の典型的な透過スペクトル及び散乱スペクトルを示す。また,典型的なτ4(λi),τ3(λi)及
びτ2(λi)×τ3(λi)の散乱スペクトルを,図A.2に示す。
図A.1−薄膜試料の典型的な透過スペクトル及び散乱スペクトル
図A.2−典型的なτ4(λi),τ3(λi)及びτ2(λi)×τ3(λi)の散乱スペクトル
A.2 散乱スペクトルの補正計算方法
薄膜フィルタ試料の散乱成分を計算するには,全散乱成分から装置散乱成分を取り除く必要がある。薄
――――― [JIS B 7081 pdf 10] ―――――
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JIS B 7081:2017の国際規格 ICS 分類一覧
JIS B 7081:2017の関連規格と引用規格一覧
- 規格番号
- 規格名称
- JISK7100:1999
- プラスチック―状態調節及び試験のための標準雰囲気