JIS B 9917-8:2010 クリーンルーム及び関連制御環境―第８部：浮遊分子状汚染物質に関する空気清浄度 | ページ 5

                                                                  附属書JA
                                                                   (参考)
                                                     JISと対応国際規格との対比表
                                                                         ISO 14644-8:2006,Cleanrooms and associated controlled environments−Part 8:
     JIS B 9917-8:2010 クリーンルーム及び関連制御環境−第8部 : 浮遊分子状汚染物
     質に関する空気清浄度                                                Classification of airborne molecular contamination
     (I)   JISの規定                  (II)    (III)国際規格の規定           (IV)   JISと国際規格との技術的差異の箇条ご (V)   JISと国際規格との技術的差
                                   国際規                                との評価及びその内容                    異の理由及び今後の対策
                                   格番号
      箇条番号         内容                箇条             内容         箇条ごと        技術的差異の内容
      及び題名                             番号                          の評価
     1適用範囲                             1        Scope                変更     濃度対象範囲を変更             クリーンルームとしてあるべき
                                                                                                                 清浄度レベルの濃度範囲とした。
     2引用規格
     4.2        JIS-AMCの表記仕様          4.2      ISO-AMC descriptor   変更     基準単位をg/m3からng/m3とした。基準単位をng/m3とすることで,
     JIS-AMCの                                      format                                                       クラス数の利便性を高める。
                                                                                  そのため,クラス数も変更された。
     表記仕様   JIS-AMCクラス表記          Table 1  ISO-AMC classes      削除     107 ng/m3以上の濃度のクラス数をクリーンルームとしてあるべき
                                                                                  削除。                         清浄度レベルの濃度範囲とした。
     5.3 試験報 試験報告書                 5.3      Test report          追加     分子状汚染物質濃度,JIS-AMCク  不可欠な要素を追加。
     告書                                                                         ラスなどの測定結果を追加。
     附属書A    要素設定の概念             A.2                           追加
                                                    Concepts for establishing                                    不可欠な要素を追加。
                                                                                  d)に“化学薬品及びプロセスガス”
     (参考)                                       parameters                    を追加。
                運転及び維持               A.6      Operation and maintenance 追加項目に“装置機器類の搬入手順” 不可欠な要素を追加。
                                                                                  を追加。
     附属書B    製品又はプロセスに         Table    Typical examples  of 削除     Total unsaturated hydrocarbon  JISで使用されなくなったため。
     (参考)   関係する化学物質及         B.1      contaminating chemicals       derivativesの項目を削除。
                びカテゴリの代表例                  and categories that can be
                                                    of concern to a product or
                                                    process
                                                                                                                                              B9
     附属書C    測定方法                   C.2      Method concepts      追加     測定方法として,“オンライン測 簡便な名称を追加。
                                                                                                                                                 91
     (参考)                                                                     定方法”及び“オフライン測定方
                                                                                                                                                   7-
                                                                                                                                                    8
                                                                                  法”を併記。
                                                                                                                                                      : 2
                代表的な試料採取方         C.3.1    Typical sampling methods 削除 droplet scanning extraction (DSE)を
                                                                                                                 空気採取方法としては通常使用
                                                                                                                                                        01
                法                                                                削除。                         しないため。
                                                                                                                                                          0
                                                                                                                                                  2

――――― [JIS B 9917-8 pdf 21] ―――――

                                                                                                                                              B9
                                                                                                                                                  2
                                                                                                                                                 9
     (I)   JISの規定                  (II)    (III)国際規格の規定           (IV)   JISと国際規格との技術的差異の箇条ご (V)   JISと国際規格との技術的差
                                                                                                                                                  17-
                                   国際規                                との評価及びその内容                    異の理由及び今後の対策
                                                                                                                                                    8 : 2
                                   格番号
      箇条番号         内容                箇条             内容         箇条ごと        技術的差異の内容
                                                                                                                                                        010
      及び題名                             番号                          の評価
     附属書C    代表的な分析方法           C.3.2                         変更
                                                    Typical analysis methods      分析方法略称の変更,単体で使用 JISで使用される略称に変更し
     (参考)                                                                     しない手法を削除,近年使用され た。
     (続き)                                                                     る方法を追加。
     附属書E    参考文献                            Bibliography         追加     参考文献の追加                 有効な文献を追加。
     (参考)
     JISと国際規格との対応の程度の全体評価 : ISO 14644-8:2006,MOD
     注記1 箇条ごとの評価欄の用語の意味は,次による。
            − 削除  国際規格の規定項目又は規定内容を削除している。
            − 追加  国際規格にない規定項目又は規定内容を追加している。
            − 変更  国際規格の規定内容を変更している。
     注記2 JISと国際規格との対応の程度の全体評価欄の記号の意味は,次による。
            − MOD  国際規格を修正している。