JIS Z 8122:2000 コンタミネーションコントロール用語

Z 8122 : 2000

まえがき

  この規格は,工業標準化法第12条第1項の規定に基づき,社団法人 日本空気清浄協会 (JACA) /財
団法人 日本規格協会 (JSA) から工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)を改正すべきとの申出があり,日本
工業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が改正した日本工業規格(日本産業規格)である。これによってJIS Z 8122 :
1994は改正され,この規格に置き換えられる。

(pdf 一覧ページ番号 )

――――― [JIS Z 8122 pdf 1] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                            Z 8122 : 2000

コンタミネーションコントロール用語

Contamination Control−Terminology

1. 適用範囲 この規格は,コンタミネーションコントロールに関する主な用語及びその定義について定
義する。
    備考1. コンタミネーションコントロールは,清浄度管理ともいい,限られた空間,及び製品などの
            内部,表面又は周辺について,要求される清浄状態を保持するためあらゆる事柄について計
            画を立て,組織し,実施することをいう。
              なお,放射能の問題は含まない。
2. 引用規格 次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成す
る。これらの引用規格は,その最新版を適用する。
    JIS B 8241 継目なし鋼製高圧ガス容器
    JIS B 9920 クリーンルーム中における浮遊微粒子の濃度測定方法及びクリーンルームの空気清浄度
        の評価方法
    JIS B 9921 光散乱式自動粒子計数器
    JIS B 9924 表面付着粒子計数器
    JIS B 9925 液体用光散乱式自動粒子計数器
    JIS K 3600 バイオテクノロジー用語
    JIS K 3800 生物学用クラスII安全キャビネット
    JIS Z 4812 放射性エアロゾル用高性能エアフィルタ
    JIS Z 8103 計測用語
    JIS Z 8901 試験用粉体及び試験用粒子
3. 用語の分類 用語は,次のように分類する。
a) 基本 1001
b) 管理 2001
c) 測定・分析
  1) 共通 3001
  2) 空気 3101
  3) 水・薬液 3201
  4) ガス 3301
  5) 微生物 3401
d) 清浄化装置

――――― [JIS Z 8122 pdf 2] ―――――

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Z 8122 : 2000
  1) 共通 4001
  2) 空気 4101
  3) 水・薬液 4201
  4) ガス 4301
  5) 微生物 4401
4. 定義 用語及び定義は,次による。
  なお,参考として慣用語対応英語を示す。
    備考1. 二つ以上の用語を併記してある場合は,上位の用語を優先的に使用する。
         2. 用語欄で用語の下の丸括弧のかなは,読み方を示す。
         3. 定義欄で太字で記載している語は,この規格中規定されている用語であることを示す。
a) 基本
 番号      用語                        定義                                 参考
                                                                   慣用語          対応英語
 1001 対象物        コンタミネーションコントロールの対象とするも              physical object
                    の。
                       備考 クリーンルーム内で取り扱う製品,器具,
                            実験対象物(生物を含む),クリーンルー
                            ム内の空気,クリーンルームに供給され
                            る水,ガス,薬液などをいう。
 1002 汚染          対象物に何らかの物質が付着,混入,発生すること 汚れ,     contamination
                    などによって,対象物が本来もっている機能,性能 コンタミネーショ
                    に好ましくない影響が与えられている状態。    ン
 1003 汚染物質                                                                contaminants
                    対象物に付着,混入,発生することなどによって汚 コンタミナント,
                    染を引き起こす物質。                      汚染要因物
 1004 被汚染物      汚染物質によって,汚染される対象物。      コンタミニー    contaminees
 1005 汚染源        被汚染物を発生する原因となるもの。                        contaminated source
                       備考 人間,動物,植物,衣服,土壌などの汚
                            染物,及び純水,ガス,薬品に含まれる
                            不純物。また製造工程に伴って発生する
                            汚染物質を指す場合もある。
 1006 清浄          汚染がない状態。                                          cleanness
 1007 清浄度        対象物の清浄状態を示す量。                                cleanliness
                       備考 一定面積又は一定体積中に含まれる汚染
                            物の大きさ,及び数又は質量によって表
                            す。
 1008 環境          被汚染物を取り巻いている状況で,直接・間接に汚 エンバイロンメン environment
                    染の原因になるもの。                        ト
                       備考 コンタミネーションコントロールの分野
                            における環境の主な例は,被汚染物に接
                            する空気,ガス,液体,固体表面などで
                            ある。
 1009 キャリア      汚染物質を被汚染物に運ぶ媒体。                            carrier
                       備考 周囲空気,工具などは,代表的なキャリ
                            アである。
 1010 粒子汚染      粒子状汚染物質によって,汚染している状態。                particle
                                                                                contamination
 1011 ガス汚染      ガス状汚染物質によって,汚染している状態。                gaseous

――――― [JIS Z 8122 pdf 3] ―――――

                                                                                              3
                                                                                   Z 8122 : 2000
 番号      用語                        定義                                 参考
                                                                   慣用語          対応英語
                                                                                contamination
 1012 内部汚染      対象物の内部が汚染物質によって汚染されている              Internal
                    か,又は汚染されている状態。                                contamination
 1013 表面汚染      対象物の表面が汚染物質によって汚染されている              surface
                    か,又は汚染されている状態。                                contamination
                       備考 半導体分野ではウエハの表面が原子オー
                            ダで凹凸の著しい状態を表面マイクロラ
                            フネス,表面粗度 (surface micro
                            roughness) という,このような表面でデ
                            イバイスを作ると特性が悪化する。これ
                            も表面汚染の1種と考える。
 1014 被膜汚染      被膜による表面汚染。                                      film contamination
                       備考 半導体の分野では,けい素の自然酸化膜
                            による汚染も含む。
 1015 粒子          固体又は液体の粒状小物体。                                particle,
                       備考 測定可能な大きさをもつ。                          particulate
 1016 粒径          粒子の大きさ。                                            particle size
                       備考 粒子は各種の形状をもっているので,粒
                            径は測定法ごとに定められた方法によっ
                            て表す。例えば,顕微鏡法によって測定
                            した粒径は粒子の最大差渡し寸法,粒子
                            の沈降速度によって測定した粒径は空気
                            力学的に等価な球形粒子の直径,光散乱
                            式自動粒子計数器法で測定した粒径は粒
                            子からの散乱光量の等しい球形の試験粒
                            子の直径で表す。
 1017 粗大粒子      粒径が10       度100         度の粒子。                   coarse particle
                       備考 発じん源の由来から粒径が2      上とす
                             る場合もある。
 1018 微小粒子      一般に,気体中,又は液体中に浮遊し,ほとんど沈 微粒子     fine particle
                    降しない粒径が1      度以下の粒子。
                       備考 発じん源の由来から2      下とする場合
                             もある。
 1019 サブミクロン粒 微小粒子のうち0.11      度以下の粒子。                   submicron particle
       子
 1020 超微粒子      粒径が1100nm程度の粒子。                  nm粒子          ultrafine particle
 1021 エアロゾル    気体中に分散している固体又は液体の微細粒子。              aerosol
                    (JIS K 3600参照。)
 1022 粉じん        固形物がその化学的組成が変わらないままで形・大 ダスト     dust
                    きさが変わって粒状になり分散した粒子。
                        備考1. 粉じん(塵)と表記してもよい。
                           2. 粉砕,研磨,せん(穿)孔,爆破など
                              主として物理的破砕過程で生じる。
 1023 繊維状粒子    長い方の寸法が,幅の10倍以上である粒子。                  fibre particle
 1024 浮遊微小粒子  気体又は液体中に浮遊している微小粒子。    浮遊微粒子,    airborne particle,
                                                              SPM             (気体中)
                                                                              liquidborne particle,
                                                                              (液体中)
                                                                              suspended particulate

――――― [JIS Z 8122 pdf 4] ―――――

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Z 8122 : 2000
 番号      用語                        定義                                 参考
                                                                   慣用語          対応英語
                                                                                matter
 1025 荷電粒子      他の物質との接触によって,又はイオンとの結合に イオン粒子 ion particle
                    よって正又は負の電荷をもつ分子,又は微小粒子。
 1026 ミスト        微小な液体粒子が空気中に浮遊している系。                  mist
 1027 フューム      や(冶)金工程などで,溶融物質から揮発したガス            fume
                    状態の物質が凝縮して生成した微小な固体粒子又
                    は液体粒子が空気中に浮遊している系。
 1028 粒子状汚染物質 固体,又は液体の粒子状の汚染物質。                       particulate
                        備考 粉じんダスト,ミスト,フューム,煙,               contaminant
                             霧などを示す。
                                                              AMC
 1029 ガス状汚染物質 気体中にガスの状態で含まれている汚染物質。               gaseous contaminant
                        備考 通常CO2,SO2,NOx(1)   NH3フロン,臭気              airborne molecular
                            などがその例である。“(酸性,アルカリ              contaminant (acid,
                            性有機性のものがある。)”                          base, condensable,
                       注(1)   Oxは,窒素酸化物の総称。                          dopant)
 1030 汚染濃度      汚染物質の濃度。                                          concentration of
                        備考 被汚染物の単位面積,単体体積又は                   contaminant
                              単位質量当たりの汚染物質の種類
                              別及び寸法別の数又は質量で表す。
 1031 空気汚染濃度  空気中に含まれる汚染物質の空気の単位体積又は              concentration of
                    単位質量当たりの量。                                        airborne
                                                                                contaminant
 1032 粒子濃度      気体又は液体中に浮遊している微小粒子の濃度。              particle concentration
                        備考 一般には単位体積若しくは単位質
                              量の気体中,又は液体中に浮遊して
                              いる微小粒子の種類別及び寸法別
                              の数又は質量で表す。
 1033 ガス濃度      気体,液体,まれには固体中に含まれているガス状            gas concentration
                    汚染物質の濃度。
                        備考 一般にはmg/m3又はppmで表す。
 1034 質量濃度      標準状態(JIS Z 8103を参照)における単位体積の            mass concentration
                    気体,又は液体中に含まれている汚染物質の質量。
 1035 相対濃度      気体又は液体中に含まれている汚染物質によって              equivalent
                    発生する現象を介して求めた汚染濃度。例,散乱光              concentration
                    量などから求めた相当質量濃度。
 1036 相当質量濃度  質量濃度で示された相対濃度。                              equivalent mass
                                                                                concentration,
                                                                                concentration
 1037 個数濃度      標準状態(JIS Z 8103を参照)における単位体積の            number concentration
                    気体,又は液体中に含まれている粒子の個数。
 1038 光学濃度      浮遊微小粒子をろ紙上に捕集して,その光の透過量            optical density,
                    又は反射量の減少によって求めた相当質量濃度。                optical
                                                                                concentration
 1039 表面濃度      被汚染物の表面の単位面積当たりに含まれる汚染              concentration of
                    物質の量。                                                  surface
                                                                                contamination
 1040 希釈          溶液に希釈剤を加えて溶質の濃度を減少させる行              dilution

――――― [JIS Z 8122 pdf 5] ―――――

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