JIS Z 8122:2000 コンタミネーションコントロール用語 | ページ 8

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 番号      用語                        定義                                 参考
                                                                   慣用語          対応英語
                    集生成物にして,沈殿分離する除濁装置。                      equipment
 4204 加圧浮上装置  薬品を注入し混合を行うことによって,水中に浮遊            floatation equipment
                    している微細な粒子又は着色物質などの汚染物質
                    を大きな凝集生成物にし気泡を付着させて浮上さ
                    せ,上層から浮上汚泥として取り出す除濁装置。
 4205 ろ過器        凝集沈殿装置又は加圧浮上装置から流出してくる 砂ろ過器,   sand filter,
                    凝集生成物をろ過によって除去する装置。    圧力式ろ過器,  gravity filter,
                       備考1. ろ材としては,砂,粒状無煙炭が使用 重力式ろ過器 pressure filter
                              される。
                           2. 構造が開放槽のもので,その流れが自
                              然流下である重力式と,密閉槽で内圧
                              をもって流れる圧力式とがある。
 4206 活性炭ろ過器  粒状活性炭を充てんしたろ過器。                            activated carbon filter
                       備考 水中の有機物,残留塩素,過酸化水素な
                            どを除去するために用いる。
 4207 凝集ろ過装置  ろ過器の直前で凝集用薬剤を添加しながらろ過す              coagulation filtration
                    る装置。                                                    equipment
                       備考 成長の小さい凝集生成物を凝集沈殿装置
                            又は加圧浮上装置を用いず直接にろ過器
                            に通水し,ろ層全体で捕捉する。主とし
                            て,濁質が少ない原水に用いられる。
 4208 一次純水装置  超純水製造装置の中で前処理装置とサブシステム              primary pure water
                    との間に設置される装置で,逆浸透装置,イオン交              system
                    換装置,脱気設備などで構成され,比抵抗値5
                    18M   地        度の純水を製造する。
 4209 イオン交換装置 カチオン交換樹脂又はアニオン交換樹脂を利用し             ion exchange
                    て水中のイオン状物質を吸着除去する装置。                    equipment
                        備考 純水製造,排水の回収再利用などに用い
                             る。
 4210 混床式イオン交 一つのイオン交換樹脂塔の中にカチオン交換樹脂             mixed bed column
       換塔         とアニオン交換樹脂との両方を充てん混合して使
                    用する設備。
                        備考 カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂と
                             を混合せずに充てんする複床式と比較し
                             て高純度水が得られる。
 4211 超純水製造装置 上水道水,井戸水,工業用水などを原水とし,その           ultrapure water
                    中の不純物をイオン交換樹脂,逆浸透膜,限外ろ過              system
                    膜,紫外線酸化などを用いて精製し,高純度の純水
                    を製造する設備。
                        備考 装置は前処理装置及び一次純水装置並び
                             にサブシステムによって構成される。
 4212 カートリッジイ 主として,一次純水の純度アップ用のサブシステム           cartrige demineralizer
       オン交換樹脂ポ に設置される場合が多く,純水中に残留する微量イ
       リッシャー   オンを除去する非再生形の混床式イオン交換容器。
 4213 限外ろ過装置  限外ろ過膜を用いて分子の大きさによって分離を UF装置       ultrafiltration
                    行う圧力ろ過膜装置。                                        equipment
                        備考 分画分子量で数千から数百万程度の領域
                             で分離できる装置。限外ろ過膜としては,
                             中空糸形限外ろ過膜の使用が一般的であ

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Z 8122 : 2000
 番号      用語                        定義                                 参考
                                                                   慣用語          対応英語
                             るがスパイラル形限外ろ過膜もある。
 4214 逆浸透装置    逆浸透膜を用いて水中のイオン,有機物,微小粒子,RO装置    reverseosmosis
                    微生物粒子などを除去する装置。                              equipment
                       備考 水質によって異なるがイオン交換装置の
                            前段又は後段に設置し,処理水水質の安
                            定化に極めて重要な役割を果たす。保安
                            フィルタ,高圧ポンプ,逆浸透膜圧力容
                            器などで構成される。
 4215 高圧紫外線酸化 廃水中の有機物質の主波長が365nmである紫外線 高圧UV酸化    ultraviolet-ray
       装置         を照射して分解処理する装置。                                oxidation
                        備考 酸化剤として過酸化水素,次亜塩素酸ナ               equipment with
                             トリウム,オゾンを併用し,紫外線発生               high pressure
                             源には高圧水銀ランプが使用される。有               mercury lamp
                             機物質はほとんどのものが炭酸ガスまで
                             分解できる。
 4216 電気再生式イオ カチオン交換膜とアニオン交換膜との間に,それぞ 電気再生式脱イオ continuous electro
       ン交換装置   れカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを充てン装置          deionization
                    んし,電流を流すことによってイオン交換樹脂を連              equipment,
                    続的に再生しながらイオンを除去する装置。                   (CDI)
                        備考 薬品によるイオン交換樹脂の再生は不要              electro deionization
                             になる。                                           equipment,
                                                                               (EDI)
 4217 窒素ガス脱気装 窒素ガスと水とを接触させ,水中の酸素分圧を下げ            nitrogen gas bubbling
       置           ることによって溶存酸素を除去する装置。                      deaerator
                        備考 水と窒素ガスの微細気泡とを向流接触さ
                             せるか,窒素ガスの雰囲気下に水を噴霧
                             させることによって除去する。水中の窒
                             素ガス以外の溶存ガスが除去できる。
 4218 脱炭酸塔      原水中の炭酸ガスを除去する設備。                           decarbonator
                        備考 噴霧した水に多量の空気を吹き込むこと
                             によって行う。
 4219 真空脱気塔    水中の溶存ガスを除去する設備。                             vacuum degasifier
                        備考 真空の雰囲気下に水を噴霧することによ
                             って行う。主として,溶存酸素の除去に
                             用いる。
 4220 触媒樹脂脱酸素 パラジウムをコーティングしたイオン交換樹脂に             oxygen reduction
       装置         還元剤を混ぜた水を供給し,水中の溶存酸素を除去              equipment with
                    する装置。                                                  catalytic resin
                        備考 パラジウムの触媒作用によって,水素ガ
                             ス又はヒドラジンと水中の溶存酸素とを
                             反応させ除去する。酸素以外の溶存ガス
                             の除去はできない。
 4221 膜脱気装置    高分子性ガス透過膜を介して水中から溶存ガスを              membrane degasifier
                    除去する装置。
                        備考 テフロン系などのガス透過膜の片側に水
                             を供給し,反対側を真空にすることによ
                             って水中の溶存ガスを真空側へ透過させ
                             て除去する。
 4222 サブシステム  一次純水を原水として超純水を製造する装置。                subsystem

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 番号      用語                        定義                                 参考
                                                                   慣用語          対応英語
                        備考 超純水ユースポイントの近くに設置され
                             る。システムは低圧紫外線酸化装置,カ
                             ートリッジイオン交換ポリッシャー,端
                             末UF装置などで構成される。
 4223 低圧紫外線酸化 低圧水銀ランプから放射される184.9nmの紫外線に 低圧UV酸化装置 ultraviolet oxidation
       装置         よって,水中の微量有機物を酸化分解して有機酸又              equipment with
                    はCO2に分解する装置。                                       low pressure
                        備考 分解生成した有機酸又はCO2は,後段の                mercury lamp
                             カートリッジイオン交換ポリッシャーで
                             除去される。
 4224 超純水ユースポ サブシステムからユースポイント配管で導かれた ユースポイント point of use
       イント       超純水をウェハ処理工程における洗浄などのため POU
                    に取り出す箇所。
 4225 超純水用配管材 超純水の水質を低下させずに超純水ユースポイン             piping material for
                    トへ供給する配管材。                                        ultra pure water
                        備考 内面が平滑で,無機物,有機物の溶出を
                             抑えたものが用いられる。使用材として
                             は,硬質塩化ビニール (PVC),ふっ素樹
                             脂 (PVDF,PTFE,PFA),ポリエーテル
                             エーテルケトン (PEEK) などがある。
 4226 超純水ユースポ サブシステムから超純水ユースポイントへ送水し,           ultrapure water
       イント配管   再びサブシステムへ戻るような連続したループ状                distribution system
                    配管。
                        備考1. 水質維持のため,滞留部分をなくし,
                              適当な流速を保持する。
                           2. 配管には,流量計,圧力計,比抵抗計
                              などセンサ及びコントローラが取り付
                              けられ,流量,圧力,温度が制御され
                              ている。供給配管と戻り配管とを区別
                              し,逆流を防止して超純水水質の維持
                              を図るリバースリターン方式が多く用
                              いられる。
 4227 薬液容器      薬液メーカからユーザへの薬液運搬用容器。                  chemical container
                        備考 容器の材料は溶剤系薬液用にはガラス又
                             はステンレス鋼,酸・アルカリ系薬液用
                             にはポリエチレン,PFA,PTFEなどが使
                             用される。
 4228 薬液用フィルタ 薬液中の微小粒子を捕捉するためのフィルタ。               chemical liquid filter
 4229 循環ろ過      薬液をポンプで循環し,循環系の途中に設けた薬液            recirculation filtration
                    用フィルタで薬液中の微小粒子を捕捉し,洗浄槽内
                    の薬液を常に清浄状態に維持するシステム。
 4230 薬液自動供給装 薬液容器から生産装置へ薬液を自動供給する装置。           automatic chemical
       置            薬液の搬送には加圧窒素ガス又はポンプを使用                 supply system
                    する。
  4) ガス
 番号      用語                        定義                                 参考
                                                                   慣用語          対応英語
 4301 ガス精製装置  ガス中に含まれているガス状の不純物を触媒作用,            gas purifier
                    化学反応,吸着作用,金属格子透過などの工程を用

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Z 8122 : 2000
 番号      用語                        定義                                 参考
                                                                   慣用語          対応英語
                    いて除去する装置。
 4302 キャリアガス  電子デバイス製造に使用するガスの中で,希釈用又            carrier gas
                    は液状物質の気化用に用いるガス。
                       備考1. N2,H2,Ar,Heガスが主なもの。
                           2. 容器及び配管内の置換用途のものまで
                              含めていう場合もある。
 4303 特殊材料ガス  電子デバイス製造に使用するガスの中で,主にデバ            special material gas
                    イスの原材料及びその加工用として用いられるガ
                    ス。
                        備考 SiH4,AsH3,PH3などが主なものである。
 4304 シリンダ      JIS B 8241による高圧ガス用の容器。        ガスボンベ      cylinder
                        備考 容器の肩部に刻印で充てんガスの名称, ボンベ,
                             内容積,耐圧試験年月,最高充てん圧力 高圧ガス容器
                             などが記されている。
 4305 シリンダキャビ シリンダを1から数本収納したボックス。    ボンベボックス  cylinder cabinet
       ネット           備考 シリンダはボックス内に固定される。ボ
                             ックス内にはあらかじめレギュレータ,
                             切替え弁などのガス供給配管系が作られ
                             ており,ボックスを介してシリンダから
                             製造装置へガス供給が行われる。
 4306 インラインガス ガス供給配管系中に設けられ,配管のガス中に存在           in-line gas filter
       フィルタ     する微小粒子を捕捉するための精密フィルタ。
  5) 微生物
 番号      用語                        定義                                 参考
                                                                   慣用語          対応英語
 4401 バイオクリーン 微生物,培養細胞などの取扱いにおいて,外部から           biological clean
       ベンチ       の雑菌の混入,逆に外部への生物汚染を防ぐ工夫が              bench
                    されている箱状の実験台。
 4402 バイオハザード 危険性がある微生物を取り扱う場合に用いる箱状 安全キャビネット biological safety
       クラスIIキャビ の装置。                                                  cabinet
       ネット           備考 JIS K 3800に規定するバイオハザードを
                             防止するための構造をもつもの。
 4403 オートクレーブ 高圧蒸気滅菌装置。                                        autoclave
                        備考 一般的には121℃,1520分で滅菌する。
 4404 ステリルロック バイオロジカルクリーンルーム,バイオハザード安            sterile lock
                    全施設において,清浄度が異なる区域間の隔壁に物
                    を通すため設ける機構。
 4405 アイソレータ  気密の鋼製又はビニル製の容器に,操作用のゴム手             isolator
                    袋,送搬出入口,HEPAフィルタ付き給気口,排気
                    口,送風機,消毒液噴霧口などを取り付けた装置。
                        備考 無菌動物,ノトバイオートなどの無菌飼
                             育装置として使用する。
 4406 ダンクタンク  ステリルロックに使用される消毒薬液槽。    ジャミーサイダル dunk-tank
                                                                トラップ
                        備考 薬液で,これを設置した両室間の空気の
                             流通を防止するようになっている。
 4407 紫外線殺菌装置 紫外線によって微生物を殺菌する装置。                      ultraviolet sterilizer
                        備考 バイオハザード安全施設,クリーンルー
                             ム,クリーンベンチ,安全キャビネット,
                             パスボックスなどの空間内の殺菌に,ま

――――― [JIS Z 8122 pdf 39] ―――――

                                                                                             39
                                                                                   Z 8122 : 2000
 番号      用語                        定義                                 参考
                                                                   慣用語          対応英語
                             た超純水装置では超純水中の微生物を殺
                             菌する目的で使用する。
          JIS Z 8122 (コンタミネーションコントロール用語)改正原案作成委員会 構成表
                                     氏名                         所属
        (委員長)          ○  藤 井 正 一       芝浦工業大学
        (委員)            ○  浅 田 敏 勝       福井工業大学工学部
                            ○  古 橋 正 吉       東京医科歯科大学
                            ○  山 崎 省 二       国立公衆衛生院衛生獣医学部
                            ○  池 田 耕 一       国立公衆衛生院建築衛生学部
                            ○  細 渕 和 成       都立産業技術研究所研究開発部
                            ○  酢 屋 ユリ子      北里大学事務部
                               中 嶋      誠      通商産業省機械情報産業局
                               八 田      勲      工業技術院標準部
                               橋 本      進      財団法人日本規格協会技術部
                            ○ 松 田 正 一        キリンビール株式会社高崎医薬工場
                            ○ 是 永      博      第一製薬株式会社試験研究センター
                            ○ 川 又      亨      日本エアーテック株式会社
                            ○ 石 井 久 元        日本アイ・ビー・エム株式会社
                            ○ 鈴 木 道 夫        日立プラント建設株式会社
                            ○ 益 戸 光 和        栗田工業株式会社
                            ○ 三 上 壯 介        ミドリ安全株式会社
                            ○ 竹 迫 清 之        シーエル研究所
                            ○ 大 竹 信 義        社団法人日本空気清浄協会
                               備考 ○印は,分科会の兼任を示す。