JIS B 9917-8:2010 クリーンルーム及び関連制御環境―第８部：浮遊分子状汚染物質に関する空気清浄度

                                                                                 B 9917-8 : 2010

pdf 目 次

ページ

•  序文・・・・[1]
•  1 適用範囲・・・・[1]
•  2 引用規格・・・・[1]
•  3 用語及び定義・・・・[1]
•  3.1 一般・・・・[2]
•  3.2 汚染物質カテゴリ・・・・[2]
•  4 清浄度クラス・・・・[3]
•  4.1 一般・・・・[3]
•  4.2 JIS-AMCの表記仕様・・・・[3]
•  5 実証・・・・[5]
•  5.1 原則・・・・[5]
•  5.2 試験・・・・[5]
•  5.3 試験報告書・・・・[5]
•  附属書A(参考)浮遊分子状汚染の要因・・・・[6]
•  附属書B(参考)代表的な汚染物質・・・・[9]
•  附属書C(参考)代表的な測定方法・・・・[13]
•  附属書D(参考)隔離装置の特定要求事項に関する考慮事項・・・・[17]
•  附属書E(参考)参考文献・・・・[18]
•  附属書JA(参考)JISと対応国際規格との対比表・・・・[19]

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B 9917-8 : 2010

まえがき

  この規格は,工業標準化法第12条第1項の規定に基づき,社団法人日本空気清浄協会(JACA)及び財
団法人日本規格協会(JSA)から,工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)を制定すべきとの申出があり,日
本工業標準調査会の審議を経て,経済産業大臣が制定した日本工業規格(日本産業規格)である。
  この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。
  この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願,実用新案権又は出願公開後の実用新案登録出願に
抵触する可能性があることに注意を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許
権,出願公開後の特許出願,実用新案権及び出願公開後の実用新案登録出願にかかわる確認について,責
任はもたない。
  JIS B 9917の規格群には,次に示す部編成がある。
    JIS B 9917-3 第3部 : 試験方法
    JIS B 9917-5 クリーンルーム運転における管理及び清浄化
    JIS B 9917-8 第8部 : 浮遊分子状汚染物質に関する空気清浄度

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                                       日本工業規格(日本産業規格)                                JIS
                                                                           B 9917-8 : 2010

クリーンルーム及び関連制御環境−第8部 : 浮遊分子状汚染物質に関する空気清浄度

Cleanroom and associated controlled environments- Part 8: Classification of airborne molecular contamination

序文

  この規格は,2006年に第1版として発行されたISO 14644-8を基に作成した日本工業規格(日本産業規格)であるが,我
が国で標準的に使用される濃度単位に整合させるため,技術的内容を変更して作成した日本工業規格(日本産業規格)であ
る。
  なお,この規格で点線の下線を施してある箇所は,対応国際規格を変更している事項である。変更の一
覧表にその説明を付けて,附属書JAに示す。

1 適用範囲

  この規格は,特定化学物質(個々の物質,グループ又はカテゴリ)の気中濃度を用いて,クリーンルー
ム及び関連制御環境内の浮遊分子状汚染物質に関する空気清浄度クラス分類,並びにその範囲における試
験方法及び分析方法について規定する。
  この規格は,クリーンルーム運転中における106 ng/m310−3 ng/m3の範囲の濃度を対象とする。
  この規格は,浮遊分子状汚染物質の存在が製品又はプロセスに対してリスクとならない産業,プロセス
又は生産には適用しない。
  この規格は,浮遊分子状汚染物質の性質を記述するものではない。
  この規格は,表面分子状汚染物質のクラス分類は示さない。
    注記 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。
          ISO 14644-8:2006,Cleanrooms and associated controlled environments−Part 8: Classification of
              airborne molecular contamination(MOD)
            なお,対応の程度を表す記号“MOD”は,ISO/IEC Guide 21-1に基づき,“修正している”
          ことを示す。

2 引用規格

  次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。この引用
規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。
    JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語

3 用語及び定義

  この規格で用いる主な用語及び定義は,JIS Z 8122によるほか,次による。

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B 9917-8 : 2010

3.1 一般

3.1.1
分子状汚染(molecular contamination)
  分子状物質(化学物質・非粒子状物質)によって,製品,プロセス又は機器に有害な作用を受ける汚染。
3.1.2
浮遊分子状汚染(airborne molecular contamination)
  クリーンルーム又は清浄環境の空気中に浮遊する,ガス状又は蒸気状態の分子状物質によって製品又は
特定の表面に有害な作用を受ける汚染。
    注記1 この定義には,巨大分子などの粒子と判定される物質による汚染は含まれない。
    注記2 浮遊分子状汚染の要因については附属書Aを参照,代表的な汚染物質については附属書Bを
            参照。
3.1.3
表面分子状汚染(surface molecular contamination)
  クリーンルーム又は清浄環境で,製品又は特定の表面に吸着した分子状物質による汚染。
3.1.4
汚染物質カテゴリ(contaminant category)
  所定の表面に付着したときに特定の類似な有害作用を及ぼす化合物の分類の名称。
3.1.5
アウトガス(outgassing)
  材料からのガス状又は蒸気状態の分子状物質の発生。

3.2 汚染物質カテゴリ

3.2.1
酸性物質(acid)
  電子対を受け取ることによって新しい結合を築く化学反応特性をもつ物質。
3.2.2
塩基性物質(base)
  電子対を放出することによって新しい結合を築く化学反応特性をもつ物質。
3.2.3
生物毒素(biotoxic)
  生物,微生物,組織又は個別細胞の生命の発育及び維持に有害となる汚染物質。
3.2.4
凝縮性物質(condensable)
  クリーンルーム運転条件下で,凝縮によって表面に付着する物質。
3.2.5
腐食性物質(corrosive)
  表面の化学変化によって侵食を引き起こす物質。
3.2.6
ドーパント(dopant)
  吸着及び/又は拡散によって製品本体と一体化し,微量でも材料の特性を変化させる物質。

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3.2.7
有機物(organic)
  炭素及び水素を主成分とし,酸素,窒素又はその他の元素によって構成される化合物。
3.2.8
オキシダント(oxidant)
  酸化性物質。表面又は製品に付着し,酸化物を形成又は酸化還元反応を引き起こす物質。オゾン,NO2
など。

4 清浄度クラス

4.1 一般

  清浄度クラスは,4.2に記述する表記法によって表す。クラス表記は“JIS-AMC”で表し,汚染物質カテ
ゴリ,個々の物質又は物質群による汚染物質の分類ごとの上限濃度を示す。

4.2 JIS-AMCの表記仕様

  クリーンルーム又は関連制御環境のAMCクラスは,汚染物質カテゴリ,個々の物質,物質群など汚染
物質の分類ごとのJIS-AMC表記によって指定する。
  JIS-AMC表記仕様は,次による。
  JIS-AMC Class N (X)
  ここに,N : JIS-AMCクラスを表す数字。−36の範囲で表す。中間クラスは,0.1単位(最小単位)
           で表す。
       X : 汚染物質カテゴリ(対象製品との兼ね合いによる。)であり,次の項目が含まれるが,
         これに限定するものではない。
                − 酸性物質(ac)
                − 塩基性物質(ba)
                − 生物毒素(bt)
                − 凝縮性物質(cd)
                − 腐食性物質(cr)
                − ドーパント(dp)
                − 有機物,全有機物(or)
                − オキシダント(ox)
  Cx=10N
  ここに,Cx : JIS-AMCクラスNの上限濃度(ng/m3)
  クリーンルーム測定濃度が,Cx以下の値のとき,クラスNが満足される。
    例1 アンモニア(NH3)の気中濃度が0.8×103 ng/m3であるとき,クラス3の上限値103 ng/m3以下
          であるので,JIS-AMCクラス 3(NH3)を満足する。
    例2 総有機物質(TVOC)の気中濃度が105 ng/m3であるとき,クラス5の上限値105 ng/m3以下であ
          るので,JIS-AMCクラス 5(TVOC)を満足する。
    例3 凝縮性物質(cd)の気中濃度が3×10 ng/m3であるとき,クラス1.5の上限値31.6 ng/m3以下で
          あるので,JIS-AMCクラス 1.5(cd)を満足する。
    例4 ドーパント(dp)の気中濃度が10 ng/m3であるとき,クラス1の上限値10 ng/m3以下であるの

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