39
K 0147-2 : 2017 (ISO 18115-2 : 2013)
番号 用語 定義 対応英語(参考)
7.25 粗さ, Roughness,
実測断面曲線と基準断面曲線との差の二乗平均平方根の値。
Rq Rq
注記1 この粗さの定義は,JIS B 0601:2013及びISO 25178-2
の定義ほどの完全性はない。完全な定義では,測定デー
タに適用可能な効果的なフィルタを考慮する必要があ
る。上記の定義は,断面曲線Pq,粗さRq,うねり
(waviness)Wqの尺度となり得る。SPMのユーザーは,
現在,意図的にフィルタを適用していない。SPM走査
範囲が比較的小さいことから短距離のフィルタが用い
られることによって,通常,Pq又はWqより,むしろ
Rqが測定される。さらに,平たん化及びその他の通常
SPM画像に適用されるデータ処理は,走査長より長い
波長を伴う全ての粗さへの寄与を除去する。上記の定義
は,SPMを用いてどのように粗さが計算されるかの明
確な説明を与えることを意図している。SPMで得られ
る空間分解能の相違が理由で,SPMによる粗さ値は,
より完全な定義が適切な他の方法で決定された値と比
較する必要はない。
注記2 一般にSPMでは,各々の線走査が等価であると仮定さ
れることから,領域を用いれば,Rqをより適切に決定
することができる。このような領域測定による粗さは,
通常,Sq(ISO 25178-2)と呼ばれている。
注記3 SPM測定で粗さ評価される表面では,多くの場合,表
面の平均高さが基準断面曲線である。この場合,最小二
乗曲線が単一のライン軌跡に近似適合され,差し引かれ
る。又は,最小二乗面がデータ配列全体に近似適合され,
差し引かれる。別の状況では,線及び面は曲率をもたな
いが,二次又は高次の曲率をもち得る。引用すべき粗さ
が形状の仕上げの質に関する場合,基準断面曲線は平滑
化された理想的断面曲線であり得る。表面の平均高さを
用いない場合,所与の断面曲線を明記する。
注記4 JIS B 0601:2013では,他の粗さ測定法が見受けられる
が,SPM測定にはほとんど利用されていない。
7.26 ねじれ高調波カン torsional harmonic
高調波ねじれ周波数における効果を測定できるように,ねじれ
チレバー cantilever
振動を誘起するように設計された間欠接触モード(5.73)計測に
用いられる長方形カンチレバー。ハンマーヘッドのような形状
のカンチレバー端をもち,水平方向にオフセットされた位置に
探針先端を保持する。
注記1 このモードはソフトマテリアルの弾性率を高分解能で
計測するために用いられる。
注記2 20次までの高調波を用いることができる。
7.27 ねじれ間欠接触モ torsional intermittent
ねじれに対して活性なカンチレバー(5.18)を用いて間欠接触さ
ード, せる測定モード。 contact mode,
ねじれタッピング torsional tapping
モード mode
――――― [JIS K 0147-2 pdf 41] ―――――
40
K 0147-2 : 2017 (ISO 18115-2 : 2013)
番号 用語 定義 対応英語(参考)
7.28 真のプロファイル true profile
計測からのゆがみのない,試料XY平面上の所定の方向に測定
された所定の物性の実プロファイル。
注記1 理想プロファイル(7.17)参照。
注記2 真のプロファイルはシミュレーションの中で存在する
が,実際には,測定されたプロファイルの補正は全て真
のプロファイルの近似である。したがって,補正された
結果が,真のプロファイルから1 nm以内となることは
あり得る。
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[16] IUPAC, Compendium of Chemical Terminology, electronic version, at http://goldbook.iupac.org/
JIS K 0147-2:2017の引用国際規格 ISO 一覧
- ISO 18115-2:2013(IDT)
JIS K 0147-2:2017の国際規格 ICS 分類一覧
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