クリーンルームおよび関連する管理された環境 関連 一覧 ISO/TC規格
ISO/TC 209 一覧 クリーンルームおよび関連する管理された環境 ―ISO/TC規格
ISO 14644-4:2001
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート4：設計、建設、および起動
ISO 14698-2:2003
クリーンルームおよび関連する管理された環境—生物汚染管理—パート2：生物汚染データの評価と解釈
ISO 14698-1:2003
クリーンルームおよび関連する管理された環境—生物汚染管理—パート1：一般原則と方法
ISO 14644-5:2004
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート5：運用
ISO 14644-7:2004
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート7：分離装置（クリーンエアフード、グローブボックス、アイソレーター、およびミニ環境）
ISO 14698-2:2003/Cor 1:2004
クリーンルームおよび関連する管理された環境—生物汚染管理—パート2：生物汚染データの評価と解釈—技術正誤表1
ISO 14644-9:2012
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート9：粒子濃度による表面清浄度の分類
ISO 14644-10:2013
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート10：化学物質濃度による表面清浄度の分類
ISO 14644-2:2015
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート2：粒子濃度による空気清浄度に関連するクリーンルーム性能の証拠を提供するための監視
ISO 14644-1:2015
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート1：粒子濃度による空気清浄度の分類
ISO 14644-8:2013
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート8：化学物質濃度（ACC）による空気清浄度の分類
ISO 14644-3:2019
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート3：テスト方法
ISO 14644-14:2016
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート14：浮遊粒子濃度による機器の使用への適合性の評価
ISO 14644-13:2017
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート13：粒子および化学物質の分類に関して定義されたレベルの清浄度を達成するための表面の洗浄
ISO 14644-15:2017
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート15：空気中の化学物質濃度による機器および材料の使用に対する適合性の評価
ISO 14644-16:2019
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート16：クリーンルームおよび分離装置のエネルギー効率
ISO 14644-12:2018
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート12：ナノスケールの粒子濃度によって空気の清浄度を監視するための仕様
ISO 14644-17:2021
クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート17：粒子堆積速度のアプリケーション
ISO 14644-4:2022 クリーンルームおよび関連する管理された環境 — Part 4: 設計、建設、および始動
ISO 14644-9:2022 クリーンルームおよび関連する管理された環境— Part 9: 粒子濃度の表面清浄度の評価
ISO 14644-8:2022 クリーンルームおよび関連する管理された環境 — Part 8: 化学物質濃度 (ACC) による空気清浄度の評価
ISO 14644-10:2022 クリーンルームおよび関連する管理された環境— Part 10: 化学汚染に対する表面の清浄度の評価
ISO 14644-18:2023 クリーンルームおよび関連する管理された環境 — Part 18: 消耗品の適合性の評価
ISO/TR 14644-21:2023 クリーンルームおよび関連する管理された環境 — Part 21: 浮遊粒子サンプリング技術