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ISO 14644-9:2022 クリーンルームおよび関連する管理された環境— Part 9: 粒子濃度の表面清浄度の評価

ISO 14644-9:2022の概要

ISO14644-9:2022の規格概要

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Cleanrooms and associated controlled environments — Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration

この文書は、クリーンルームおよび関連する制御された環境アプリケーションの固体表面の粒子清浄度レベルを評価するための手順を確立します。テストおよび測定方法に関する推奨事項、および表面特性に関する情報は、付録AからDに記載されています。このドキュメントは、クリーンルームおよび関連する制御された環境（壁、天井、床、作業環境、ツールなど）のすべての固体表面に適用されます。機器および製品。粒子濃度 (SCP) による表面の清浄度の評価手順は、0.05 µmから500 µmの粒子に限定されています。このドキュメントでは、次の問題は考慮されていません。—特定のプロセスに対する表面の清浄度と適合性の要件; —表面の洗浄手順; —材料特性; —通常は時間依存およびプロセス依存である相互作用結合力または生成プロセスへの参照; —評価およびテストのための統計的手法の選択と使用; —粒子の他の特性、静電荷、イオン電荷、微生物学的状態など。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO14644-9:2022 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO 14644-9:2022
ISO 国際規格名称
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration
ISO 規格名称 日本語訳
クリーンルームおよび関連する管理された環境— Part 9: 粒子濃度の表面清浄度の評価
発行日 (Publication date)
2022-05
更新日：確認日 (Update date,Date confirmed)
2022-05-09
状態 (Status)
公開済み (Published)
改訂 (Edition)
2
PDF ページ数 (Number of pages)
26
TC（専門委員会）:Technical Committee
ISO/TC 209 クリーンルームおよび関連する管理された環境：(Cleanrooms and associated controlled environments)
ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）
13.040.35：Cleanrooms and associated controlled environments,
ISO 対応 JIS 規格
クリーンルーム及び付属清浄環境―第3部:試験方法, クリーンルーム運転における管理及び清浄化, クリーンルーム及び関連制御環境―第7部:隔離装置, クリーンルーム及び関連制御環境―第8部:浮遊分子状汚染物質に関する空気清浄度, クリーンルームの設計・施工及びスタートアップ, クリーンルームの空気清浄度の評価方法, クリーンルーム及び関連する制御環境―第1部:浮遊粒子数濃度による空気清浄度の分類, クリーンルーム及び関連する制御環境―第2部:浮遊粒子数濃度による空気清浄度に関するクリーンルーム性能を根拠付けるためのモニタリング,
ICS 対応 JIS 規格
13.040.35

ISO 14644-9:2022 関連規格 履歴一覧

ISO14644-9:2022 対応 JIS 規格一覧

ISO14644-9:2022 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 13：環境．健康予防．安全 > 13.040：気質 > 13.040.35：クリーンルーム及び関連する制御環境

ISO 14644-9:2022 修正 一覧 (Amendments)

ISO 14644-9:2022 正誤表 一覧 (Corrigenda)

ISO 14644-9:2022 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 60) 発行

サブステージコード 60.60 国際規格が発行されました (International Standard published)

ISO 14644-9:2022 持続可能な開発目標 SDGS

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。

  • 17の目標 : [Sustainable Development Goal]

    SDGsとは、「Sustainable Development Goals（持続可能な開発目標）」の略称で、2015年9月に国連で採択された2030年までの国際開発目標。17の目標と169のターゲット達成により、「誰一人取り残さない」社会の実現に向け、途上国及び先進国で取り組むものです。

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