JIS B 9917-3:2009 クリーンルーム及び付属清浄環境―第３部：試験方法

                                                                                 B 9917-3 : 2009

pdf 目 次

ページ

•  序文・・・・[1]
•  1 適用範囲・・・・[1]
•  2 引用規格・・・・[1]
•  3 用語及び定義・・・・[2]
•  3.1 一般・・・・[2]
•  3.2 浮遊粒子の測定・・・・[2]
•  3.3 エアフィルタ及びフィルタシステム・・・・[4]
•  3.4 気流及びその他の物理的要因・・・・[5]
•  3.5 静電気測定 (Electrostatic measurement)・・・・[5]
•  3.6 測定器具及び測定条件・・・・[6]
•  3.7 占有状態 (Occupancy states)・・・・[7]
•  4 試験手順・・・・[8]
•  4.1 クリーンルームの試験・・・・[8]
•  4.2 試験項目・・・・[9]
•  5 試験報告書・・・・[10]
•  附属書A(参考)クリーンルームに対する試験の選択及び試験の実施順序・・・・[12]
•  附属書B(参考)試験方法・・・・[15]
•  附属書C(参考)試験装置・・・・[43]
•  附属書JA(規定)清浄度クラス分類及び測定試験のための浮遊粒子の計数・・・・[53]
•  附属書JB(参考)光学顕微鏡法・・・・[55]
•  附属書JC(参考)参考文献・・・・[60]
•  附属書JD(参考)JISと対応する国際規格との対比表・・・・[62]

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――――― [JIS B 9917-3 pdf 1] ―――――

B 9917-3 : 2009

まえがき

  この規格は,工業標準化法第12条第1項の規定に基づき,社団法人日本空気清浄協会 (JACA) 及び財
団法人日本規格協会 (JSA) から,工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)を制定すべきとの申出があり,日本
工業標準調査会の審議を経て,経済産業大臣が制定した日本工業規格(日本産業規格)である。
  この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。
  この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願,実用新案権又は出願公開後の実用新案登録出願に
抵触する可能性があることに注意を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許
権,出願公開後の特許出願,実用新案権及び出願公開後の実用新案登録出願にかかわる確認について,責
任はもたない。
  JIS B 9917の規格群には,次に示す部編成がある。
    JIS B 9917-3 クリーンルーム及び付属清浄環境−第3部 : 試験方法
    JIS B 9917-5 クリーンルーム運転における管理及び清浄化

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――――― [JIS B 9917-3 pdf 2] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                           B 9917-3 : 2009

クリーンルーム及び付属清浄環境−第3部 : 試験方法

Cleanrooms and associated controlled environments−Part 3: Test methods

序文

  この規格は,2005年に第1版として発行されたISO 14644-3を基に作成した日本工業規格(日本産業規格)であるが,国
内における評価の実状に合わせ,技術的内容を変更して作成した日本工業規格(日本産業規格)である。
  なお,この規格で点線の下線を施してある箇所は,対応国際規格を変更している事項である。変更の一
覧表にその説明を付けて,附属書JDに示す。

1 適用範囲

  この規格は,浮遊微粒子濃度による空気清浄度クラス分類のため,並びにクリーンルーム及びクリーン
ゾーンの性能評価のための試験方法及び試験の選択について規定する。
  一方向流形及び非一方向流形の二つのタイプのクリーンルーム及びクリーンゾーンで,施工完了時,製
造装置設置時及び通常運転時の占有状態における性能試験が規定されている。試験方法は,性能を測定す
るための試験器具及び試験手順を推奨する。試験方法がクリーンルーム及びクリーンゾーンの種類によっ
て影響される場合は,代替手順が提案されている。試験によっては,様々な用途で使用できるように,幾
つかの異なる方法及び装置が推奨されている。この規格に示していない代替方法についても,それが受渡
当事者間で合意されるならば使用してもよい。代替方法については,必ずしも同等の測定値を提供すると
は限らない。
    注記 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を,次に示す。
          ISO 14644-3:2005,Cleanrooms and associated controlled environments−Part 3: Test methods (MOD)
            なお,対応の程度を表す記号 (MOD) は,ISO/IEC Guide 21に基づき,修正していることを
          示す。

2 引用規格

  次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成する。これらの
引用規格のうちで,西暦年を付記してあるものは,記載の年の版を適用し,その後の改正版(追補を含む。)
は適用しない。西暦年の付記がない引用規格は,その最新版(追補を含む。)を適用する。
    JIS B 9920:2002 クリーンルームの空気清浄度の評価方法
      注記 対応国際規格 : ISO 14644-1:1999,Cleanrooms and associated controlled environments−Part 1:
             Classification of air cleanliness (MOD)
    JIS B 9921 光散乱式自動粒子計数器
    JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語

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2
B 9917-3 : 2009
    ISO 14644-2:2000,Cleanrooms and associated controlled environments−Part 2: Specifications for testing and
        monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1

3 用語及び定義

  この規格で用いる主な用語及び定義は,JIS Z 8122によるほか,次による。

3.1 一般

3.1.1
クリーンルーム (cleanroom)
  コンタミネーションコントロールの行われている限られた部屋であって,空気中における浮遊微粒子,
浮遊微生物及び分子状汚染物質が限定された清浄度レベル以下に管理され,また,その部屋に供給される
材料,薬品,水などについても要求される清浄度が保持され,必要に応じて,温度,湿度,圧力などの環
境条件についても管理状態にある部屋。
3.1.2
クリーンゾーン (clean zone)
  コンタミネーションコントロールの行われている限られた領域であって,空気中における浮遊微粒子,
浮遊微生物及び分子状汚染物質が限定された清浄度レベル以下に管理され,また,その領域に供給される
材料,薬品,水などについても要求される清浄度が保持され,必要に応じて,温度,湿度,圧力などの環
境条件についても管理状態にある領域。この空間は閉鎖されていても開放されていてもよく,またクリー
ンルーム内にあっても外にあってもよい。
3.1.3
隔離装置 (separative device)
  ある空間の内外を適切な清浄度レベルに分離する装置。
    注記 構造的及び力学的手法を利用している。
    例 クリーンブース,クリーンベンチ,封じ込め装置(キャビネット),グローブボックス,アイソレ
        ーター及びミニエンバイロメント。

3.2 浮遊粒子の測定

3.2.1
エアロゾル発生装置 (aerosol generator)
  一定の濃度において適切な粒径分布(例えば,0.05 μm2 μm)をもつ粒子状物質を発生することができ
る装置で,熱,水圧,空気圧,音波又は静電気の手段で発生するもの。
3.2.2
浮遊粒子 (airborne particle)
  粒径が(この規格では)1 nm100 μmの空中に浮遊する微生物又は非微生物の固体若しくは液体物質。
    注記 空気清浄度に関しては,JIS B 9920:2002の3.2を参照。
3.2.3
個数中央径,CMD (count median particle diameter)
  個数濃度を基準として表した粒径分布の中央値。
    注記 CMDの場合,粒子総数の半分がCMDを下回る粒径をもつ粒子で構成されていて,他の半分が
          CMDを上回る粒径をもつ粒子で構成されている。

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3.2.4
粗大粒子 (macroparticle)
  粒径が5 μmを超える粒子。
  [JIS B 9920:2002の3.2.4参照]
3.2.5
M表示 (M-descriptor)
  使用する測定方法の特性の粒径として表される,空気1 m3当たりの粗大粒子数で測定又は規定される濃
度。
    注記 M表示は,サンプリング位置における平均値の上限(又はクリーンルーム若しくはクリーンゾ
          ーンの特性付けに使用するサンプリング位置の数に応じた上限信頼限界)とみなしてもよい。
          M表示を浮遊微粒子の清浄度クラスの定義に用いることはできないが,浮遊微粒子の清浄度ク
          ラスとは別に,浮遊微粒子の清浄度クラスと関連して参照してもよい。
  [JIS B 9920:2002の3.3.2参照]
3.2.6
質量中央径,MMD (mass median particle diameter)
  質量濃度を基準として表した粒径分布の中央値。
    注記 MMDの場合,粒子総質量の半分がMMDを下回る粒径をもつ粒子で構成されていて,他の半
          分がMMDを上回る粒径をもつ粒子で構成されている。
3.2.7
粒子濃度 (particle concentration)
  単位空気体積当たりの浮遊粒子の個数。
3.2.8
粒径 (particle size)
  浮遊微粒子の測定装置によって計測される球体相当の直径。
    注記 粒子計数器の中で,光散乱式粒子計数器では,光散乱相当径である。
3.2.9
粒径分布 (particle size distribution)
  粒径区分に従った粒子の累積濃度分布。
3.2.10
試験エアロゾル (test aerosol)
  既知及び制御された粒径分布と濃度をもつ,気体中に浮遊した固体及び/又は液体の粒子。
3.2.11
U表示 (U-descriptor)
  超微粒子を含む,空気1 m3当たりの粒子数で測定又は規定される濃度[JIS B 9920:2002の3.3.1参照]。
    注記 U表示は,サンプリング位置における平均値の上限(又はクリーンルーム若しくはクリーンゾ
          ーンの特性付けに使用するサンプリング位置の数に応じた上限信頼限界)とみなしてもよい。
          U表示を浮遊微粒子の清浄度クラスの定義に用いることはできないが,浮遊微粒子の清浄度ク
          ラスとは別に浮遊微粒子の清浄度クラスと関連して参照してもよい。

――――― [JIS B 9917-3 pdf 5] ―――――

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