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B 9917-3 : 2009
表JB.1−顕微鏡法による測定結果の報告書様式(例)
No. 室名 測定場所 温度 湿度 使用 測定年月日 測定者
(℃) (%) フィルタ
倍 粒径範囲 面積 格子内又 測定し 測定し 有効ろ ブランク 測定した合計粒子 粒子濃度
率 (μm) (mm2) は一定面 た格子 た合計 過面積 テストに 数からブランクテ (個/m3)
(X) 以上 未満 積内の粒 数(個)粒子数 中の粒 よって得 ストによって得ら
子数(個) (個) 子数 られた粒 れた粒子数を差し
(個) 子数(個)引いた数(個)
5 50
50 100
100
繊維状粒子
備考
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附属書JC
(参考)
参考文献
[1] ASME N510-1989, Testing of Nuclear Air-Treatment Systems. Fairfield, New Jersey, US: American Society
of Mechanical Engineers
[2] ASTM F24-00, Standard Method for Measuring and Counting Particulate Contamination on Surfaces.
Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and Materials
[3] ASTM F50-92 (2001) 1, Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles in
Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instruments Capable of Detecting Single Sub-Micrometre
and Larger Particles. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and Materials
[4] ASTM F312-97 (2003), Standard Test Methods for Microscopical Sizing and Counting Particles from
Aerospace Fluids on Membrane Filters. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing
Materials
[5] ASTM F328-98 (2003), Standard Practice for Calibration of an Airborne Particle Counter Using
Monodisperse Spherical Particles. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and
Materials
[6] ASTM F1471-93 (2001), Standard Test Method for Air Cleaning Performance of a High-Efficiency
Particulate Air-Filter System. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and Materials
[7] Chemical Abstracts Service Registry, Columbus, Ohio, US: American Chemical Society
[8] EN 1822-2:1998, High efficiency air filters (HEPA and ULPA)−Part 2: Aerosol production, measuring
equipment, particle counting statistics
[9] EN 1822-4:2000, High efficiency air filters (HEPA and ULPA)−Part 4: Determining leakage of filter
element (scan method)
[10] EN 12599:2000, Ventilation for buildings−Tests procedures and measuring methods for handing over
installed ventilation and air conditioning systems
[11] IEST-G-CC1001:1999, Counting Airborne Particles for Classification and Monitoring of Cleanrooms and
Clean Zones. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental Sciences and Technology
[12] IEST-G-CC1002:1999, Determination of the Concentration of Airborne Ultrafine Particles. Rolling
Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental Sciences and Technology
[13] IEST-G-CC1003:1999, Measurements of Airborne Macroparticles. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute
of Environmental Sciences and Technology
[14] IEST-RP-CC001.3:1993, HEPA and ULPA Filters. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental
Sciences and Technology
[15] IEST-RP-CC006.3:2004, Testing Cleanrooms. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental
Sciences and Technology
[16] IEST-RP-CC007.1:1992, Testing ULPA Filters. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental
Sciences and Technology
[17] IEST-RP-CC021.1:1993, Testing HEPA and ULPA Filter Media. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of
――――― [JIS B 9917-3 pdf 62] ―――――
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Environmental Sciences and Technology
[18] IEST-RP-CC034.2:1999, HEPA and ULPA Filter Media. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of
Environmental Sciences and Technology
[19] JIS Z 8762-1:2007 円形管路の絞り機構による流量測定方法−第1部 : 一般原理及び要求事項
注記 対応国際規格 : ISO 5167-1:2003,Measurement of fluid flow by means of pressure differential
devices inserted in circular cross-section conduits running full−Part 1: General principles and
requirements (IDT)
[20] JIS Z 8762-2:2007 円形管路の絞り機構による流量測定方法−第2部 : オリフィス板
注記 対応国際規格 : ISO 5167-2:2003,Measurement of fluid flow by means of pressure differential
devices inserted in circular cross-section conduits running full−Part 2: Orifice plates (IDT)
[21] JIS Z 8762-3:2007 円形管路の絞り機構による流量測定方法−第3部 : ノズル及びノズル形ベンチ
ュリ管
注記 対応国際規格 : ISO 5167-3:2003,Measurement of fluid flow by means of pressure differential
devices inserted in circular cross-section conduits running full−Part 3: Nozzles and Venturi
nozzles (MOD)
[22] JIS Z 8762-4:2007 円形管路の絞り機構による流量測定方法−第4部 : 円すい形ベンチュリ管
注記 対応国際規格 : ISO 5167-4:2003,Measurement of fluid flow by means of pressure differential
devices inserted in circular cross-section conduits running full−Part 4: Venturi tubes (IDT)
[23] JACA No.24:1989,クリーンルームの性能評価指針,日本空気清浄協会
[24] SEMI E 14-93, Measurement of particle contamination contributed to the product from the process or support
tool. San Jose, California, US: SEMI (1997)
[25] US Patent 5,059,349, Method of measuring the efficiency of gas mask filters using monodispersed aerosols
[26] US Patent 5,059,352, Method for the generation of monodispersed aerosols for filter testing
[27] VDI 2083 Part 4:1996, Cleanroom technology−Surface cleanliness. Berlin: Beuth Verlag GmbH
[28] ISO 21501-4:2007,Determination of particle size distribution−Single particle light interaction methods−
Part 4: Light scattering airborne particle counter for clean spaces
[29] JIS B 8330:2000 送風機の試験及び検査方法
[30] JIS Z 8710 温度測定方法通則
[31] JIS Z 8806 湿度−測定方法
[32] JIS Z 8704 温度測定方法−電気的方法
[33] JIS Z 8705 ガラス製温度計による温度測定方法
[34] JIS C 1602 熱電対
[35] JIS C 1604 測温抵抗体
[36] JIS C 1611 サーミスタ測温体
[37] JIS B 9922 クリーンベンチ
[38] JIS Z 8120 光学用語
[39] JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語
[40] JIS B 9919 クリーンルームの設計・施工及びスタートアップ
[41] ISO 7726,Ergonomics of the thermal environment−Instruments for measuring physical quantities
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B9
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附属書JD
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(参考)
-
3 : 2
JISと対応する国際規格との対比表
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JIS B 9917-3:2009 クリーンルーム及び付属清浄環境−第3部 : 試験方法 ISO 14644-3:2005,Cleanrooms and associated controlled environments−Part 3: Test
methods
(I) JISの規定 (II) (III)国際規格の規定 (IV) JISと国際規格との技術的差異の箇条ご(V) JISと国際規格との技術的差
国際 との評価及びその内容 異の理由及び今後の対策
規格
箇条番号 内容 箇条 内容 箇条ごと 技術的差異の内容
番号
及び名称 番号 の評価
3 用語及び定義
3.1.3 installation 削除 用語の削除 クリーンルームと区別のないた
め削除
3.3.2 定格リーク 3.3.2 designated leak 削除 フォトメータを削除 リーク試験でフォトメータを使
用しないため。
3.3.10 標準サンプル流量リー 3.3.10 削除
standard leak penetration フォトメータを削除 リーク試験でフォトメータを使
ク透過率 用しないため。
4.1.1 要求される試験 4.1.1 Required test 削除 浮遊粒子の計数を削除 浮遊粒子の計数を4.1.2に移動し,
変更 参照箇所を修正 参照箇所を附属書JAに修正
4.1.2 任意の試験 4.1.2 Optional tests 追加 浮遊粒子の計数を追加
4.2.1 浮遊粒子の計数 4.2.1 変更
Airborne particle count 清浄度クラス分類試験の追加 附属書JA追加によるため。
附属書A クリーンルームに対す Annex A 削除 線形フォトメータ,対数フォトメリーク試験でフォトメータを使
る試験の選択及び試験 ータの削除 用しないため。
の実施順序
附属書B Annex B 追加 説明の追加 実質的差異はなし。
B.1 浮遊粒子の計数 B.1 削除
Airborne particle count 清浄度クラス分類に関する浮遊 清浄度クラス分類に関する浮遊
for classification and test 粒子の計数について削除 粒子の計数については,附属書JA
measurement で規定
B.3.3.2.1 フィルタによる捕集粒 B.3.3.2.1 Filter collectionand 追加 顕微鏡法として,附属書JBを作
子の顕微鏡による測定 microscopic measurement 成し,参照
B.6 設置フィルタシステム B.6 削除
Installed filter system フォトメータの説明を削除 リーク試験でフォトメータを使
のリーク試験 leakage test 用しないため。
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B 9917-3 : 2009
(I) JISの規定 (II) (III)国際規格の規定 (IV) JISと国際規格との技術的差異の箇条ご(V) JISと国際規格との技術的差
国際 との評価及びその内容 異の理由及び今後の対策
規格
箇条番号 内容 箇条 内容 箇条ごと 技術的差異の内容
番号
及び名称 番号 の評価
附属書C 試験装置 Annex C Test apparatus 変更 関連JISなどを参照
附属書JA 清浄度クラス分類及び 追加 要求される試験として,清浄度ク要求される試験項目として,明確
測定試験のための浮遊 ラス分類における浮遊粒子の計 に規定するため。
粒子の計数 測について規定として追加
附属書JB 光学顕微鏡法 追加 粗大粒子の測定方法として,追加 参照する規格がないため作成
JISと国際規格との対応の程度の全体評価 : ISO 14644-3:2005,MOD
注記1 箇条ごとの評価欄の用語の意味は,次による。
− 削除 国際規格の規定項目又は規定内容を削除している。
− 追加 国際規格にない規定項目又は規定内容を追加している。
− 変更 国際規格の規定内容を変更している。
注記2 JISと国際規格との対応の程度の全体評価欄の記号の意味は,次による。
− MOD 国際規格を修正している。
B9 917-
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JIS B 9917-3:2009の引用国際規格 ISO 一覧
- ISO 14644-3:2005(MOD)
JIS B 9917-3:2009の国際規格 ICS 分類一覧
- 13 : 環境.健康予防.安全 > 13.040 : 気質 > 13.040.35 : クリーンルーム及び関連する制御環境
JIS B 9917-3:2009の関連規格と引用規格一覧
- 規格番号
- 規格名称
- JISB9921:2010
- 光散乱式気中粒子計数器―校正方法及び検証方法
- JISZ8122:2000
- コンタミネーションコントロール用語