JIS B 9917-3:2009 クリーンルーム及び付属清浄環境―第３部：試験方法 | ページ 2

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3.2.12
超微粒子 (ultrafine particle)
  粒径0.1 μm未満の粒子。

3.3 エアフィルタ及びフィルタシステム

3.3.1
エアロゾル負荷試験 (aerosol challenge)
  フィルタ又は設置されたフィルタ装置における,試験エアロゾル負荷を利用した検査。
3.3.2
定格リーク (designated leak)
  粒子計数器によってフィルタシステムの測定中に検出される,リークによる最大許容通過率で,受渡当
事者間の合意によって決定する。
3.3.3
希釈装置 (dilution system)
  濃度を下げるために,エアロゾルの粒子を含まない希釈空気を既知の容量比で混合するための装置。
3.3.4
フィルタシステム (filter system)
  フィルタ,フレーム及びその他の支持具又は他のハウジングで構成される装置。
3.3.5
最終フィルタ (final filter)
  空気がクリーンルームに入る前の最終位置に設置されるフィルタ。
3.3.6
設置フィルタシステム (installed filter system)
  天井,間仕切り,器具又は換気ダクトに設置されたフィルタ装置。
3.3.7
設置フィルタリーク試験 (installed filter leakage test)
  フィルタ及びフィルタ設置部に欠陥及びリークがないことを検証することによって,フィルタの取付け
が適切であることを確認するために実施する試験。
3.3.8
(フィルタシステムの)リーク [leak (of air filter system)   ]
  (フィルタシステムの)完全性の欠如又は欠陥による,下流濃度の予測値を超える浮遊粒子の侵入。
3.3.9
走査 (scanning)
  規定の試験面積上で粒子計数器などのプローブの入口を部分的に重なり合う順路で移動させる,フィル
タ及びフィルタユニットの一部のリークを明らかにする方法。
3.3.10
標準サンプル流量リーク透過率 (standard leak penetration)
  サンプリングプローブをリークの箇所で静止させたときに,標準サンプリング流量で粒子計数器が検出
することによって計測される透過率。
    注記 透過率は,フィルタ上流と下流との粒子濃度の比である。

――――― [JIS B 9917-3 pdf 6] ―――――

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3.4 気流及びその他の物理的要因

3.4.1
換気回数 (air exchange rate)
  単位時間における換気体積を,空間の体積で除して計算される,換気空気体積の入替率。
3.4.2
平均空気流量 (average airflow volume)
  クリーンルーム又はクリーンゾーンの空気の入替率を測定することができる,単位時間当たりに流れる
空気の平均体積。
    注記 空気流量は,毎時立方メートル (m3/h) で表す。
3.4.3
測定面 (measuring plane)
  風速などを試験又は測定するための断面。
3.4.4
非ー方向流 (non-unidirectional airflow)
  クリーンルーム又はクリーンゾーンに入る給気が,誘引によって内部の空気と混合することによって形
成された方向の定まっていない空気の流れ。
  [JIS B 9919:2004 [40]の3.8参照]
3.4.5
給気流量 (supply airflow rate)
  最終フィルタ又は給気ダクトから施設内部に入る単位時間当たりの空気体積。
3.4.6
総空気流量 (total airflow rate)
  クリーンルーム又はクリーンゾーンの測定面を通過する単位時間当たりの空気体積。
3.4.7
一方向流 (unidirectional airflow)
  クリーンルーム又はクリーンゾーン全断面において均一な流速でほぼ平行な流線をもつ制御された気流。
    注記 このような気流は結果としてクリーンルーム又はクリーンゾーン外に粒子を気流方向に移動し,
          排出させる。
  [JIS B 9919:2004 [40]の3.7参照]
3.4.8
気流の均一性 (uniformity of airflow)
  各位置における速度が平均空風速の規定の割合の範囲内にある,一方向流のパターン。

3.5 静電気測定 (Electrostatic measurement)

3.5.1
減衰時間 (discharge time)
  正又は負にあらかじめ帯電させた,絶縁した導電性モニタリングプレートが所定の電圧レベルまで減衰
するのに要する時間。
3.5.2
オフセット電圧 (offset voltage)
  初期帯電していない絶縁した導電性プレートをイオン化された空気の環境に暴露したときに,そのプレ

――――― [JIS B 9917-3 pdf 7] ―――――

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ートに蓄積される電荷によって生じる電圧。
3.5.3
静電気拡散特性 (static-dissipative property)
  作業面又は製品表面の静電気帯電を導電又はその他の機構で,特定の値又は公称ゼロの帯電レベルに減
衰させることのできる能力。
3.5.4
表面電位 (surface voltage level)
  適切な計器によって指示される,作業面又は製品表面における静電気帯電の正又は負の電圧のレベル。

3.6 測定器具及び測定条件

3.6.1
フォトメータ (aerosol photometer)
  粒子による散乱光の光量から粒子の質量濃度を求める測定器。
3.6.2
非等速サンプリング (anisokinetic sampling)
  サンプリングプローブの入口に入る空気の平均速度が,その場所における一方向流の平均流速と大きく
異なる捕集条件。
3.6.3
カスケードインパクタ (cascade impactor)
  試料空気を細かいノズル又はスリットから平板に向かって吹きつけ,慣性力によって粒子を平板に沈着
させる装置。
    注記 平板を数段直列に設置し,ノズル径又はスリット幅を順次狭め,気体の流速を高めることで粒
          子を分級し,捕集を行う。計測器としても利用する。
3.6.4
凝縮核計数器,CNC (condensation nucleus counter)
  超微粒子を核として蒸気を凝縮させ,拡大した液滴粒子を光散乱によって計数する機器。
3.6.5
計数効率 (counting efficiency)
  粒子計数器の試料吸入口から吸引された試験用空気中の微粒子の基準的な粒子濃度と,粒子計数器が表
示する粒子濃度との比率。
3.6.6
静電分級器,DMA (differential mobility analyzer)
  粒子の電気移動度に基づいた分級器。
3.6.7
拡散バッテリ (diffusion battery element)
  気流からより小さな粒子を除去するために,拡散の原理を利用した粒子の多段分級装置。
3.6.8
粒子計数器,DPC (discrete-particle counter)
  規定の流量について,(粒径選択を行って)個別の粒子の数と粒径とを表示及び記録する機器。
    注記 通常は,JIS B 9921の光散乱式自動粒子計数器が用いられる。

――――― [JIS B 9917-3 pdf 8] ―――――

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3.6.9
偽計数 (false count)
  測定した空気中に測定可能範囲の大きさの粒子が存在しないにもかかわらず,計数器の表示に現れる計
数値。
3.6.10
フード付き流量計 (flowhood with flowmeter)
  施設内の各最終フィルタ又は吹出口を完全に覆うフードを備え,流量を直接測定することができる流量
計。
3.6.11
等方向サンプリング (iso-axial sampling)
  サンプリングプローブの入口の中への気流の方向が,サンプリングする一方向流の方向と同じ捕集条件。
3.6.12
等速サンプリング (isokinetic sampling)
  サンプリングプローブの入口に入る空気の平均速度が,その場所の一方向流の平均速度と等しい捕集条
件。
3.6.13
カットオフデバイス (particle size cutoff device)
  粒子計数器又は凝縮核計数器の入口に取り付けられ,対象粒径以外の粒子を除去することができる装置。
3.6.14
最小可測粒径 (threshold size)
  その粒径以上の粒子の濃度を測定するために選定した,粒子の最小粒径。
3.6.15
タイムオブフライト(飛行時間形)粒径測定 (time-of-flight particle size measurement)
  風速と異なる速度の粒子の気流中における飛行時間によって決定される,空気動力学的粒子径の測定。
    注記 この測定は,一つの粒子が異なる風速の流れの場に導入したときに生じる粒子の速度の変化を
          利用する。
3.6.16
バーチャルインパクタ (virtual impactor)
  仮想(バーチャル)表面を利用して,慣性力で粒径を分級する装置。
    注記 大きな粒子は,表面を通り抜けて流れのない空間中に入り,小さい粒子は周囲の気流とともに
          流れ出る。
3.6.17
試験表面 (witness plate)
  対象の表面が接触できないもの,又は取扱いが困難な場合に,この表面を直接評価する代わりに使用す
る,規定の表面積をもつ汚染に敏感な材料。実際の表面の代わりに,代替表面を用いる材料。

3.7 占有状態 (Occupancy states)

3.7.1
施工完了時 (as-built)
  施工が完了し,設備が接続され,クリーンルームが運転されているが,生産のための装置,器具などが
なく,要員のいない状態。

――――― [JIS B 9917-3 pdf 9] ―――――

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  [JIS B 9920:2002の3.4.1参照]
3.7.2
製造装置設置時 (at-rest)
  施工が完了し,クリーンルームが運転されており,生産のための装置が設置され,受渡当事者間の合意
によって運転が行われているが,要員がいない状態。
  [JIS B 9920:2002の3.4.2参照]
3.7.3
通常運転時 (operational)
  設備が指示どおりに機能しており,指示どおりの人数の要員が適切な方法で活動している状態。
  [JIS B 9920:2002の3.4.3参照]

4 試験手順

4.1 クリーンルームの試験

4.1.1  要求される試験
  この規格に従って施設を分類するために,浮遊粒子の計数試験(表1参照)をJIS B 9920及びISO 14644-2
に規定されている時間間隔で実施しなければならない。
                                   表1−施設に要求される試験
                要求される試験              この規格内の参照箇所          他の規格
                                      概要       手順         器具
            清浄度クラス分類における  4.2.1      JA.2                   JIS B 9920,
                                                          JA.3(JIS B 9921
            浮遊粒子の計測                                の5.参照)    ISO 14644-2
4.1.2  任意の試験
  表2は,施設の試験に適した,その他の試験を記載している。これらの試験は,3.7に規定した3種類の
規定の占有状態のそれぞれに対して適用することができる。これらの試験は,すべてを含んだものでない
ことがあり,また,所定の認証プロジェクトに関して,すべての試験が要求されることはない可能性もあ
る。試験及び試験方法は,受渡当事者間の合意によって選定することが望ましい。選定した試験は,施設
の通常の監視プログラムの一環として,定期的に繰り返すこともできる(JIS B 9920及びISO 14644-2を
参照)。試験の選定のための指針及び試験の検査リストを附属書Aに示す。試験方法は,附属書Bに記載
する。試験装置は附属書Cに記載する。
  附属書Bに記載する試験方法は,概略を示している。特定条件へ適用するためには,固有の方法を開発
することが望ましい。

――――― [JIS B 9917-3 pdf 10] ―――――

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