JIS B 9917-3:2009 クリーンルーム及び付属清浄環境―第３部：試験方法 | ページ 3

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                                  表2−施設に対する任意の試験
              任意の試験                  この規格内の参照箇所              参照規格
                                      概要       手順       器具
    浮遊粒子の計数                    4.2.1       B.1        C.1    JIS B 9921
    超微粒子の計数                    4.2.1       B.2        C.2    JIS B 9920
    粗大粒子の計数                    4.2.1       B.3        C.3    JIS B 9920
    風速試験a)                        4.2.2       B.4        C.4    JIS B 9920及びISO 14644-2
    差圧試験a)                        4.2.3       B.5        C.5    JIS B 9920及びISO 14644-2
    設置フィルタシステムのリーク試験  4.2.4       B.6        C.6    ISO 14644-2
    気流の方向の測定及び可視化        4.2.5       B.7        C.7    ISO 14644-2
    温度試験                          4.2.6       B.8        C.8    JIS Z 8710[30]
    湿度試験                          4.2.6       B.9        C.9    JIS Z 8806[31]
    静電気試験及びイオン発生器試験    4.2.7      B.10       C.10
    沈着粒子の測定                    4.2.8      B.11       C.11
    回復性能試験                      4.2.9      B.12       C.12    ISO 14644-2
    汚染空気の侵入試験                4.2.10      B.13       C.13
    注a) これは,JIS B 9920及びISO 14644-2に基づいて要求される試験である。これら任意の試験は,重要性
         の順序で示してはいない。実施することが望ましい試験の順序は,特性の文書の要求事項又は受渡当事
         者間の合意に基づくこともある。

4.2 試験項目

4.2.1  浮遊粒子の計数
  この試験は,空気の清浄度を求めるために実施するもので,次の4種類の部分で構成される。
a) 清浄度クラス分類試験(附属書JAによる。)
b) 浮遊粒子の計数試験(任意)(B.1参照)
c) 超微粒子の計数試験(任意)(B.2参照)
d) 粗大粒子の計数試験(任意)(B.3参照)
  試験b)   d) は,説明の目的又は規定の要求事項に対する根拠として使用することができるが,清浄度
クラス分類に使用することはできない。
4.2.2  風速試験
  この試験は,非一方向流形クリーンルーム内への給気流量及び一方向流形クリーンルーム内の空気の流
速の分布を求めるために実施する。通常,空気の風速試験又は空気の流量試験のいずれかが実施され,結
果は,平均風速又は総空気流量の一つだけの形式であることが要求される。総空気流量はまた,非一方向
流形の施設の換気回数(1時間当たりの空気の入替回数)の計算に使用することができる。風速は,一方
向流形クリーンルームに対して求められる。風速試験の手順をB.4に示す。
4.2.3  差圧試験
  この試験の目的は,クリーンルームとその環境との間に規定された差圧を維持するための,クリーンル
ームシステムの能力を検証することにある。この空気の差圧試験は,空気の速度又は流量,流れの均一性
及びその他すべての適用される試験において,クリーンルームの仕様に合格した後で実施することが望ま
しい。差圧試験の詳細をB.5に示す。
4.2.4  設置フィルタシステムのリーク試験
  この試験は,施設の中にバイパスリークがないこと及びフィルタに欠陥(フィルタろ材及びフレームの
シール内の小さな穴並びにその他の損傷)並びにリーク(フィルタフレーム及びガスケットシール内のバ

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イパスリーク,フィルタバンクの骨組み内のリーク)がないことを検証することによって,施設に高効率
の最終空気清浄装置が適切に設置されていることを確認するために実施する。この試験は,システムの効
率は検証しない。試験は,フィルタの上流側に試験エアロゾルを導入し,フィルタ及びその支持構造体の
下流側を走査することによって,又は下流側のダクト内でサンプリングして行う。リークの検出の方法を
B.6に示す。
4.2.5  気流の方向の測定及び可視化
  この試験の目的は,気流の方向若しくは気流のパターン又はその両方を,設計及び性能の仕様書との関
連で検証することである。必要であれば,施設内の気流の空間的特性も検証できる。この試験の手順をB.7
に示す。
4.2.6  温度及び湿度の試験
  これらの試験の目的は,試験エリアに関して,空気の温度及び湿度(相対湿度又は露点として表す。)を
使用者が規定した時間内の変動を含めた制御範囲に維持するための,クリーンルームの空気調和システム
の能力を実証することである。これらの試験の手順をB.8及びB.9に示す。
4.2.7  静電気試験及びイオン発生器試験
  これらの試験の目的は,物体上に存在する表面電位,材料の静電気拡散特性及び施設内での静電気制御
に用いられるイオン発生器(すなわち,イオナイザ)の性能を評価することである。静電気試験は,作業
台及び製品表面の表面電位レべル,並びに床,作業台などの静電気拡散特性を評価するために実施する。
イオン発生器試験は,表面を除電するためのイオナイザの性能を評価するために実施する。これらの試験
の手順をB.10に示す。
4.2.8  沈着粒子の測定
  この試験の目的は,表面の方向に関係なく,表面に沈着した粒子(数又は質量)又は相対量(光の散乱
又は覆われた面積)を測定することである。この試験の手順をB.11に示す。
4.2.9  回復性能試験
  この試験の目的は,クリーンルームが試験浮遊粒子に短時間暴露された後,ある期間内に規定の清浄度
レベルに戻る能力を判定するために実施する。この試験は,一方向流の施設には推奨しない。この試験の
手順をB.12に示す。
  人為的なエアロゾルを使用する場合は,これによる施設の汚染がないことに注意することが望ましい。
4.2.10 汚染空気の侵入試験
  この試験は,フィルタによって清浄化されていない空気がクリーンルーム又はクリーンゾーンの周囲か
らクリーンルーム又はクリーンゾーンの中にシール,継手部,ドア及び加圧天井から侵入するかを判定す
るために実施する。この試験の手順をB.13に示す。

5 試験報告書

  各試験の結果は,試験報告書に記録しなければならない。また試験報告書は,次の情報を含んでいなけ
ればならない。
a) 試験した組織の名称及び住所,並びに試験が行われた日付
b) この規格番号及び年号
c) 試験したクリーンルーム又はクリーンゾーンの位置(必要ならば,隣接部分の情報も含む。)及びすべ
    てのサンプリング位置
d) クリーンルーム又はクリーンゾーンに対する,清浄度クラス,占有状態及び対象粒径を含む仕様

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                                                                                             11
                                                                                 B 9917-3 : 2009
e) 試験に関するすべての特殊条件又は試験方法からの逸脱を含む採用した試験方法の詳細,及び試験器
    具とその有効期間中の校正証明書
f)  附属書B又は附属書JAで特別に要求されるとおりに報告されるデータを含めた試験結果,及び目標
    指定表示への適合に関する宣言
g) 特殊試験に関して,附属書B又は附属書JAに関連して規定されたその他すべての特別要求事項

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                                           附属書A
                                          (参考)
             クリーンルームに対する試験の選択及び試験の実施順序
  この附属書は,クリーンルームに対する推奨試験の選択及び試験の実施順序について記載するものであ
って,規定の一部ではない。
A.1 一般
  この附属書に記載する試験手順は,使用者が規定した施設の性能基準への適合を実証するため,及び定
期試験を実施するために使用することができる。
  試験の選択は,一部において,施設の設計,活動の状態及び認証の必要レベルなどの項目に基づいてよ
い。
  試験の実施順序は受渡当事者間の合意によって,不適合の場合には無駄な作業を最小限にするものであ
ることが望ましい。
A.2 試験のチェックリスト
  表A.1に試験及び機器のチェックリストを示す。試験順番の詳細については,受渡当事者間の合意によ
って決定することが望ましい。
             表A.1−クリーン施設に対する推奨試験のチェックリスト及び試験の実施順序
  試験手順の      試験手順       試験手順の 試験器        試験器具         器具の    コメント
  選定及び試                      参照箇所  具の選                        参照箇所
  験の順序a)                                定b)
              清浄度クラス分類   附属書JA           粒子計数器 (DPC)      JIS B 9921
              (要求される試験)
              浮遊粒子の計数     B.1                粒子計数器 (DPC)      C.1
              超微粒子の計数     B.2                凝縮核計数器 (CNC)    C.2.1
                                                    粒子計数器 (DPC)      C.2.2
                                                    カットオフデバイス    C.2.3
              粗大粒子の計数     B.3                                      C.3
              粒子捕集による粗大 B.3.3.2            フィルタ捕集粒子の顕微C.3.1
              粒子の測定                            鏡による測定
                                                    カスケードインパクタ  C.3.2
              粒子を捕集しない粗 B.3.3.3            粒子計数器 (DPC)      C.3.3
              大粒子の測定                          タイムオブフライト(飛C.3.4
                                                    行時間形)粒径測定器
                                                    ピエゾバランス式インパC.3.5
                                                    クタ
              風速試験           B.4                                      C.4
              一方向流のクリーン B.4.2.2及び        熱式風速計            C.4.1.1
              ルームにおける試験 B.4.2.3            超音波式三次元風速計又C.4.1.2
                                                    は同等品
                                                    ベーン式風速計        C.4.1.3
                                                                          C.4.1.4
                                                    ピトー管及び(デジタル)
                                                    マノメータ

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                                                                                 B 9917-3 : 2009
         表A.1−クリーン施設に対する推奨試験のチェックリスト及び試験の実施順序(続き)
  試験手順の      試験手順       試験手順の 試験器        試験器具         器具の    コメント
  選定及び試                      参照箇所  具の選                        参照箇所
  験の順序a)                                定b)
              非一方向流のクリー B.4.3.2及び        熱式風速計            C.4.1.1
              ンルームにおける試 B.4.3.3            超音波式三次元風速計又C.4.1.2
              験                                    は同等品
                                                    ベーン式風速計        C.4.1.3
                                                                          C.4.1.4
                                                    ピトー管及び(デジタル)
                                                    マノメータ
              給気口での給気流量 B.4.3.2            フード付き流量計      C.4.2.1
              の測定                                オリフィス流量計      C.4.2.2
                                                    べンチュリ計          C.4.2.3
              ダクト内の給気流量 B.4.2.5            フード付き流量計      C.4.2.1
              の測定                                オリフィス流量計      C.4.2.2
                                                    べンチュリ計          C.4.2.3
                                                                          C.4.1.4
                                                    ピトー管及び(デジタル)
                                                    マノメータ
              差圧試験           B.5                電子式マイクロマノメーC.5.1
                                                    タ
                                                    傾斜管式マノメータ    C.5.2
                                                    機械式マノメータ      C.5.3
              設置フィルタシステ B.6                                      C.6
              ムのリーク試験
              設置フィルタシステ B.6.2              粒子計数器 (DPC)      C.6.1
              ムの走査リーク試験                    エアロゾル発生器      C.6.2
                                                    試験エアロゾル物質    C.6.3
                                                    希釈装置              C.6.4
                                                    凝縮核計数器          C.2.1
              ダクトなどに装着さ B.6.3              粒子計数器 (DPC)      C.6.1
              れたフィルタの全体                    エアロゾル発生器      C.6.2
              リーク試験                            試験エアロゾル物質    C.6.3
                                                    希釈装置              C.6.4
                                                    凝縮核計数器          C.2.1
              気流の方向の測定及 B.7                タフト法又はトレーサ注C.7.1
              び可視化                              入法に使用する可視化装
                                                    置
                                                    熱式風速計            C.7.2
                                                    超音波式三次元風速計  C.7.3
                                                    超音波式ネブライザ    C.7.4.1
                                                    ミスト発生器          C.7.4.2
              温度試験           B.8                                      C.8
              一般温度試験       B.8.2.1            ガラス製温度計        C.8.1
                                                    熱電温度計            C.8.2
                                                    抵抗温度計            C.8.3
                                                    サーミスタ温度計      C.8.4

――――― [JIS B 9917-3 pdf 15] ―――――

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