JIS B 9917-3:2009 クリーンルーム及び付属清浄環境―第３部：試験方法 | ページ 4

14
B 9917-3 : 2009
         表A.1−クリーン施設に対する推奨試験のチェックリスト及び試験の実施順序(続き)
  試験手順の      試験手順       試験手順の 試験器        試験器具         器具の    コメント
  選定及び試                      参照箇所  具の選                        参照箇所
  験の順序a)                                定b)
              温度分布試験       B.8.2.2            ガラス製温度計        C.8.1
                                                    熱電温度計            C.8.2
                                                    抵抗温度計            C.8.3
                                                    サーミスタ温度計      C.8.4
              湿度試験           B.9                電気容量式湿度計      C.9.1
                                                    毛髪湿度計            C.9.2
                                                    露点計                C.9.3
                                                    通風乾湿計            C.9.4
              静電気試験及びイオ B.10                                     C.10
              ン発生器試験
              静電気試験         B.10.2.1           表面電位計,電界計    C.10.1
                                                    高抵抗計(オームメータ) C.10.2
              イオン発生器試験   B.10.2.2           表面電位計            C.10.1
                                                    高抵抗計(オームメータ) C.10.2
                                                    帯電プレートモニタ    C.10.3
              沈着粒子の測定     B.11               試験表面材料
                                                    顕微鏡
                                                    沈着粒子フォトメータ  C.11.1
                                                    表面粒子カウンタ      C.11.2
                                                    粒子発生器            C.11.3
              回復性能試験       B.12               粒子計数器(DPC)     C.12.1
                                                    エアロゾル発生器      C.12.2
                                                    希釈装置              C.12.3
              汚染空気の侵入試験 B.13                                     C.13
              粒子計数器 (DPC)   B.13.2.1           粒子計数器            C.13.1
              による方法                            エアロゾル発生器      C.13.2
                                                    希釈装置              C.13.3
              フォトメータによる B.13.2.2           フォトメータ          C.13.4
              方法                                  エアロゾル発生器      C.13.2
  注a) 表A.1の1列目には,試験の計画を担当する者が,試験の順序に従って,選定した試験方法を記入すること
       ができる。
    b) 4列目には,試験の計画を担当する者が,選定した試験方法に従って,適切な試験器具を選定することがで
       きる。

――――― [JIS B 9917-3 pdf 16] ―――――

                                                                                             15
                                                                                 B 9917-3 : 2009
                                          附属書B
                                          (参考)
                                          試験方法
  この附属書は,試験方法について記載するものであって,規定の一部ではない。
B.1   浮遊粒子の計数
B.1.1 目的
  浮遊微粒子の計数は,クリーンルームのモニタリング及び必要な箇所の浮遊粒子濃度の測定を目的とし
ている。ここでは,粒径0.1 μm5 μmの範囲に粒径分布をもつ浮遊粒子の濃度測定に関する試験方法につ
いて記す。
B.1.2 試験手順
B.1.2.1 一般
  サンプリングポイントの数,測定箇所の選定及び必要な測定データは,必要に応じて決定する。B.1で
は,各測定箇所で試料空気をサンプリングするときに基準となる方法を示す。
  なお,同等の精度で同等の測定値が得られる他の適切な方法も,受渡当事者間の合意によって使用する
ことができる。
    注記 粒子計数器 (DPC) を用いたクリーンルームの性能試験に関する詳細な情報,又は粒子計数器
          の規格についての補足情報が必要な場合は,JIS B 9921及び標準化された方法を参照(参考文
          献 [2],[3],[4],[11],[23],[28])し,使用することができる。
B.1.2.2 浮遊粒子の計数の手順
  規定されたサンプリング場所に粒子計数器の吸引口を設置し,粒子計数器の試料流量を調節し,一方向
流の領域では,気流の主要な流れ方向に対向する向きにサンプリングプローブの入口を設置し,等速吸引
ができるようなサンプリングプローブを選定することが望ましい[1]。サンプリングプローブ入口の吸引速
度と,試料の風速との差が20 %を超えないように調整することが望ましい。また,非一方向流のように,
試料空気の気流が制御されていない,又は予測できない領域では,サンプリングプローブの入口を垂直上
方に向けて行うことが望ましい。
  また,粒子計数器に接続されるサンプリング系は,チューブ等による損失が5 %以内となるようにする
ことが望ましい。チューブの長さはできるだけ短いことが望ましく,特に粒径が1 μm以上の粒子をサン
プリングする場合には注意を要する。
B.1.3 浮遊粒子の計数装置
  計数装置は,JIS B 9921に規定する粒子計数器で行うことが望ましい。また,粒子計数器は,各粒径範
囲の粒子数を表示又は記録する能力があり,かつ,JIS B 9921に規定するように,有効期間中であること
を示す校正証明書を備えていることが望ましい。
B.1.4 試験報告書
  受渡当事者間の合意によって,箇条5に従って次の情報及びデータを記録することが望ましい。
a) 測定の目的
b) クリーンルームの清浄度クラス
c) 占有状態

――――― [JIS B 9917-3 pdf 17] ―――――

16
B 9917-3 : 2009
d) 各サンプリングの場所
e) サンプリング手順又はモニタリングのためのサンプリング計画
f)  粒径範囲及び計数
g) 粒子計数器の吸引流量及び実効試料流量(測定対象となる試料流量)
h) 粒子計数器の偽計数
i)  測定に関連したその他のデータ
B.2   超微粒子の計数
B.2.1 概要
B.2.1.1 一般
  この試験方法は,粒径0.1 μm未満に粒径分布がある浮遊粒子の濃度測定について示す。この粒径範囲の
濃度はU表示[12]で表される。測定は規定された3種類の占有状態のいずれかにあるクリーンルーム内で実
施できる。また,この測定はJIS B 9920の附属書Dの指示に従って,クリーンルーム内の超微粒子の濃度
を決定するために行う。
B.2.1.2 計数効率
  U表示で示される超微粒子の測定に使用するシステムの計数効率は,図B.1[12]の網掛けの領域内にある
ことが望ましい。ここで,横軸は測定対象粒径 (μm),縦軸は粒径しきい(閾)値Uでの計数効率 (%) を
示す。同図は,粒径“U”の粒径しきい(閾)値Uでの計数効率50 %を基準として,粒径しきい(閾)値
Uで粒径0.5U5Uの範囲の粒子を測定した場合の許容される計数効率特性範囲を示している。粒径精度
は±10 %を測定上の誤差として許容し,図B.1では粒径“0.9U”と“1.1U”で示している。粒径許容誤差
幅である±10 %より大きいか,又は小さい粒子を測定するときに許容される最小及び最大の計数効率特性
は,粒径Uより10 %以上大きい粒子を測定した場合には40 %以上の透過率を,また粒径Uより10 %以上
小さい粒子を測定した場合には,60 %以下の透過率をもつ拡散バッテリをモデルとして計算されている。

――――― [JIS B 9917-3 pdf 18] ―――――

                                                                                             17
                                                                                 B 9917-3 : 2009
例U=0.02
           0.010              0.018 0.022                                        0.10
                                 0.02
例U=0.03
           0.015              0.027 0.033                                        0.15
                                 0.03
例U=0.05
           0.025              0.045 0.055                                        0.25
                                 0.05
                        図B.1−選定した測定器の計数効率に関する許容範囲
  計数効率曲線が図B.1の網掛けの領域の右の外側に位置する粒子計数器又は凝縮核計数器は,U表示の
測定又は検証に使用しないほうがよい。曲線が網掛け領域の左の外側にある場合は,B.2.1.3に記載するカ
ットオフデバイスを用いることで,計数効率を低下させることができる。このような場合の粒子計数器又
は凝縮核計数器の計数効率は,元の粒子計数器又は凝縮核計数器の計数効率とカットオフデバイスの粒径
ごとの計数効率と透過率との積になる。
B.2.1.3 カットオフデバイス
  U表示を測定,また評価するために必要な計数効率特性を得るために,計数効率曲線が図B.1の網掛け
の領域の左側の外に出てしまう粒子計数器又は凝縮核計数器については,その吸引口にカットオフデバイ
スを取り付けることができる。カットオフデバイスと接続することで粒子計数器又は凝縮核計数器の計数
効率曲線は,図B.1の網掛けの領域内に入るように修正される。
  カットオフデバイスは,明確,かつ,再現性のある方法を用いて,規定された粒径より小さい粒子を除
去する装置である。このようなカットオフデバイスの大きさ及び構成は様々であり,必要な透過率特性が
備わっていることで,それぞれ適用することが可能である。適切なカットオフデバイスとして,拡散バッ
テリ装置などを使用することができる。透過率は,粒子の物理的特性,装置構成及び体積流量に依存する。
したがって,すべてのカットオフデバイスの使用については,各カットオフデバイスは定格試料流量で使

――――― [JIS B 9917-3 pdf 19] ―――――

18
B 9917-3 : 2009
用し,また,粒子の静電気による付着を防止するために,カットオフデバイス装置が帯電しないような注
意が必要である。帯電は,カットオフデバイスを適切に接地することで低減することができる。
B.2.2 超微粒子の計数手順
  粒子計数器又は凝縮核計数器(必要に応じてカットオフデバイスと連結)の吸引口にサンプリングプロ
ーブを取り付ける。長いサンプリング管を用いて,少ない試料流量で超微粒子をサンプリングすると,拡
散によって大きな粒子損失を生じることがある。拡散による超微粒子損失のサンプリング誤差は,5 %を
超えないことが望ましい。受渡当事者間の合意によって決められた測定粒径範囲について,U表示濃度を
計算し,データを報告する。超微粒子の濃度の安定性に関する情報が必要な場合は,受渡当事者間の合意
によって,時間間隔及び測定ポイントで3回以上の測定を行うことが望ましい。
B.2.3 超微粒子の計数装置
  C.2.2に記載される粒子計数器,又はC.2.1に記載される凝縮核計数器を使用する。粒子計数器を使用す
る場合は,少なくとも上限粒径0.3 μmまで粒径区分性能をもつことが望ましい。粒子計数器又は凝縮核計
数器の最小可測粒径での計数効率は,図B.1に従って規定することが望ましい。使用する粒子計数器又は
凝縮核計数器が,測定対象粒径より小さい粒子の検出によって測定値が影響される場合は,B.2.1.3に示し
た透過率特性は既知のカットオフデバイスを使用することが望ましい。
B.2.4 試験報告書
  受渡当事者間の合意によって,クリーンルームのU表示を測定するために,箇条5による次の情報及び
データを記録することが望ましい。
a) 測定の目的 : U表示の測定,又はモニタリング
b) クリーンルームの清浄度クラス
c) 占有状態
d) 各サンプリングの場所
e) 規定されたサンプリング手順又は試験のためのサンプリング計画
f)  U表示のデータのために規定した超微粒子の粒径下限
g) 超微粒子測定装置の吸引体積流量及び実効試料流量(測定対象となる試料流量)
h) 粒子計数器又は凝縮核計数器とカットオフデバイス(使用される場合)の識別及び校正状態
i)  使用した粒子計数器又は凝縮核計数器の偽計数
j)  カットオフデバイスの性能データ(必要に応じて)
k) 測定に関連したその他のデータ
B.3   粗大粒子の計数
B.3.1 概要
  この試験方法は,粒径が5 μmより大きい浮遊粒子(以下,粗大粒子という。)の測定について示す。こ
の粒径範囲の濃度はM表示で表される[13]。測定は,規定された3種類の占有状態のいずれかにあるクリー
ンルーム内で実施できる。また,この測定はJIS B 9920の附属書Dに従って,クリーンゾーン内の粗大粒
子濃度を決定するために行う。試料のサンプリング時及び捕集試料の取扱時における粒子損失をなるべく
少なくするために,適切な試料サンプリング及び捕集試料のハンドリングを行うことが重要である。
B.3.2 サンプルの取扱いに関する考慮事項
  粗大粒子を対象とする場合は,特にサンプリング及び操作に注意が必要である。等速又は非等速サンプ
リング,及び測定箇所までの粒子輸送のために使用できるシステムに関する要求事項の詳細な説明は,参

――――― [JIS B 9917-3 pdf 20] ―――――

次のページ PDF 21