ISO 14644-12:2018 クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート12:ナノスケールの粒子濃度によって空気の清浄度を監視するための仕様

ISO 14644-12:2018の概要

ISO14644-12:2018の規格概要

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Cleanrooms and associated controlled environments — Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration

このドキュメントでは、浮遊ナノスケール粒子の濃度に関する粒子による空気清浄度の監視について説明します。監視の目的で、サイズの下限が0.1ミクロン(100 nm)以下の粒子の集団のみですか。 「ナノスケール」?この文書で与えられているモニタリングは、主に「動作中」の状態で使用するためのものです。注1この文書では、「ナノスケール粒子」を参照します。これは、すべてのナノオブジェクトが1つ(ナノプレート)、2つあることを意味します。 (ナノファイバー)またはナノスケールの3(ナノ粒子)次元注2結果として、運転状態のクリーンルームのナノスケール粒子濃度による空気清浄度の監視の仕様では、使用済み機器、人員の行動などのプロセスの詳細も考慮されます。注3健康と安全に関する考慮事項はこの文書から除外されています。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO14644-12:2018 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO 14644-12:2018
ISO 国際規格名称
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration
ISO 規格名称 日本語訳
クリーンルームおよび関連する管理された環境— Part 12: ナノスケールの粒子濃度によって空気の清浄度を監視するための仕様
発行日 (Publication date)
2018-08
更新日:確認日 (Update date,Date confirmed)
2023-12-03
状態 (Status)
公開済み (Published)
改訂 (Edition)
1
PDF ページ数 (Number of pages)
11
TC(専門委員会):Technical Committee
ISO/TC 209 クリーンルームおよび関連する管理された環境:(Cleanrooms and associated controlled environments)
ICS:International Classification for Standards(国際規格分類)
13.040.35:Cleanrooms and associated controlled environments,
ISO 対応 JIS 規格
クリーンルーム及び付属清浄環境―第3部:試験方法, クリーンルーム運転における管理及び清浄化, クリーンルーム及び関連制御環境―第7部:隔離装置, クリーンルーム及び関連制御環境―第8部:浮遊分子状汚染物質に関する空気清浄度, クリーンルームの設計・施工及びスタートアップ, クリーンルームの空気清浄度の評価方法, クリーンルーム及び関連する制御環境―第1部:浮遊粒子数濃度による空気清浄度の分類, クリーンルーム及び関連する制御環境―第2部:浮遊粒子数濃度による空気清浄度に関するクリーンルーム性能を根拠付けるためのモニタリング,
ICS 対応 JIS 規格
13.040.35

ISO 14644-12:2018 関連規格 履歴一覧

ISO14644-12:2018 対応 JIS 規格一覧

ISO14644-12:2018 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 13:環境.健康予防.安全 > 13.040:気質 > 13.040.35:クリーンルーム及び関連する制御環境

ISO 14644-12:2018 修正 一覧 (Amendments)

ISO 14644-12:2018 正誤表 一覧 (Corrigenda)

ISO 14644-12:2018 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 90) 見直

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ISO 14644-12:2018 持続可能な開発目標 SDGS

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。