ISO 14644-2:2015 クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート2:粒子濃度による空気清浄度に関連するクリーンルーム性能の証拠を提供するための監視

ISO 14644-2:2015の概要

ISO14644-2:2015の規格概要

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Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration

ISO 14644-2:2015は、浮遊粒子濃度を測定または影響するパラメータに基づいて、粒子濃度による空気清浄度に関連するクリーンルームまたはクリーンゾーンの性能の監視計画の最小要件を指定します。ISO14644-2:2015は、振動やエンジニアリングシステムの一般的なメンテナンスなどの側面。指定された下限しきい値の粒子サイズ範囲である0.1µm〜5 µmの範囲外にある粒子集団の監視は提供されません。超微粒子(0.1µm未満の粒子)の濃度は、別の規格で扱われます。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO14644-2:2015 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO 14644-2:2015
ISO 国際規格名称
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
ISO 規格名称 日本語訳
クリーンルームおよび関連する管理された環境— Part 2: 粒子濃度による空気清浄度に関連するクリーンルーム性能の証拠を提供するための監視
発行日 (Publication date)
2015-12
更新日:確認日 (Update date,Date confirmed)
2021-08-13
状態 (Status)
公開済み (Published)
改訂 (Edition)
2
PDF ページ数 (Number of pages)
14
TC(専門委員会):Technical Committee
ISO/TC 209 クリーンルームおよび関連する管理された環境:(Cleanrooms and associated controlled environments)
ICS:International Classification for Standards(国際規格分類)
13.040.35:Cleanrooms and associated controlled environments,
ISO 対応 JIS 規格
クリーンルーム及び付属清浄環境―第3部:試験方法, クリーンルーム運転における管理及び清浄化, クリーンルーム及び関連制御環境―第7部:隔離装置, クリーンルーム及び関連制御環境―第8部:浮遊分子状汚染物質に関する空気清浄度, クリーンルームの設計・施工及びスタートアップ, クリーンルームの空気清浄度の評価方法, クリーンルーム及び関連する制御環境―第1部:浮遊粒子数濃度による空気清浄度の分類, クリーンルーム及び関連する制御環境―第2部:浮遊粒子数濃度による空気清浄度に関するクリーンルーム性能を根拠付けるためのモニタリング,
ICS 対応 JIS 規格
13.040.35

ISO 14644-2:2015 関連規格 履歴一覧

ISO14644-2:2015 対応 JIS 規格一覧

ISO14644-2:2015 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 13:環境.健康予防.安全 > 13.040:気質 > 13.040.35:クリーンルーム及び関連する制御環境

ISO 14644-2:2015 修正 一覧 (Amendments)

ISO 14644-2:2015 正誤表 一覧 (Corrigenda)

ISO 14644-2:2015 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 90) 見直

サブステージコード 90.93 国際標準を確認 (International Standard confirmed)

ISO 14644-2:2015 持続可能な開発目標 SDGS

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。