ISO 14644-3:2019 クリーンルームおよび関連する管理された環境—パート3:テスト方法

ISO 14644-3:2019の概要

ISO14644-3:2019の規格概要

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Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods

この文書は、空気清浄度分類、その他の清浄度属性、および関連する管理条件を満たすクリーンルームおよびクリーンゾーンの運用をサポートする試験方法を提供します。

性能テストは、2 つのタイプのクリーンルームとクリーン ゾーンに対して指定されています。一方向のエアフローを使用するものと、非一方向のエアフローを使用するもので、建設時、休止中、運用中の 3 つの可能な占有状態で行われます。

性能パラメータを決定するためのテスト方法、推奨されるテスト装置、およびテスト手順が提供されます。テスト方法がクリーンルームまたはクリーン ゾーンの種類によって影響を受ける場合は、代替手順が提案されます。

一部のテストでは、さまざまな最終用途の考慮事項に対応するために、いくつかの異なる方法と装置が推奨されます。この文書に記載されていない代替方法は、顧客とサプライヤー間の合意により使用できます。代替方法では必ずしも同等の測定結果が得られるとは限りません。

この文書は、クリーンルーム、クリーンゾーン、または分離装置での製品またはプロセスの測定には適用されません。

注 この文書は、その使用に関連する安全上の考慮事項 (たとえば、危険な物質、操作、および機器を使用する場合) に対処することを目的としたものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用性を判断するのは、この文書のユーザーの責任です。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO14644-3:2019 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO 14644-3:2019
ISO 国際規格名称
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
ISO 規格名称 日本語訳
クリーンルームおよび関連する管理された環境 — Part 3:テスト方法
発行日 (Publication date)
2019-08
更新日:確認日 (Update date,Date confirmed)
2024-12-03
状態 (Status)
公開済み (Published)
改訂 (Edition)
2
PDF ページ数 (Number of pages)
52
TC(専門委員会):Technical Committee
ISO/TC 209 クリーンルームおよび関連する管理された環境:(Cleanrooms and associated controlled environments)
ICS:International Classification for Standards(国際規格分類)
13.040.35:Cleanrooms and associated controlled environments,
ISO 対応 JIS 規格
クリーンルーム及び付属清浄環境―第3部:試験方法,
ICS 対応 JIS 規格
13.040.35

ISO 14644-3:2019 関連規格 履歴一覧

ISO14644-3:2019 対応 JIS 規格一覧

ISO14644-3:2019 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 13:環境.健康予防.安全 > 13.040:気質 > 13.040.35:クリーンルーム及び関連する制御環境

ISO 14644-3:2019 修正 一覧 (Amendments)

ISO 14644-3:2019 正誤表 一覧 (Corrigenda)

ISO 14644-3:2019 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 90) 見直

サブステージコード 90.60 レビュー終了 (Close of review)

ISO 14644-3:2019 持続可能な開発目標 SDGS

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。