JIS B 9923:1997 クリーンルーム用衣服の汚染粒子測定方法 | ページ 2

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(7) 対象としている粒径区分の粒子数が,有効ろ過面積内に5001 000個あると推定される場合には,任
    意に選んだ20個の格子(図3参照)について計数する。
                                         図3 計数方法
(8) 対象としている粒径区分の粒子数が,有効ろ過面積内に1 0005 000個あると推定される場合には,
    任意に選んだ10個の格子について計数する。
(9) 対象としている粒径区分の粒子数が,有効ろ過面積内に5 000個を超えると推定される場合には,任
    意に選んだ10個の格子内の一定面積内(図4参照)について粒径区分別に計数する。この場合,格子
    内の一定面積としては,次の(a)又は(b)のいずれかを用い,存在する平均粒子数が約50個になるよう
    に面積を決める。
  (a) 縦が接眼レンズミクロメータの全目盛で,横が格子の全幅である面積。
  (b) 縦が接眼レンズミクロメータの一部で,横が格子の全幅である面積。
                                  図4 格子内一定面積のとり方
(10) 粒子が格子の上部と左側の境界線にかかっているときは,これらの粒子は計数し,格子が下部と右側
    の境界線にかかっているときは,これらの粒子は計数しない。
5.3.6  捕集位置における見掛けの全粒子数及び分離可能な粒子数 一つの捕集位置における見掛けの全
粒子数及び清浄衣服の単位面積から分離可能な粒子数の求め方は,次による。
(1) 5.3.5の(7),(8) 及び(9)の場合の見掛けの全粒子数は,次の式によって求める。
                                A
                         Pt          Nt
                             Fn  Fa
                      ここに, Pt :  対象とする粒径区分の見掛けの全粒子数(個/960mm2)
                                 A :  有効ろ過面積 (960mm2)
                                Fn :  選ばれた格子数(格子)
                                Fa :  格子面積又は格子内の選ばれた一定面積(mm2/格子)
                                Nt :  Fn個の格子内の選ばれた一定面積で測定した粒子数の合計
                                      (個)
(2) 衣服の指定された6か所のうち,ある捕集位置iにおける粒子数Pt(個/m2)は,次の式によって求める。

――――― [JIS B 9923 pdf 6] ―――――

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                             Pt  P
                         Pi   960b  10 6
                      ここに, PI :  捕集位置iにおける対象とする粒径区分の分離可能な粒子数
                                      (個/m2)
                                Pt :  対象とする粒径区分の粒子の見掛けの全粒子数(個/960mm2)
                                Pb :  バックグラウンド中の見掛けの全粒子数(個)
5.3.7  清浄衣服の清浄度 清浄衣服の清浄度は,図1の6捕集位置におけるPiの平均値によって表す。
5.4   測定結果の表示 測定結果の表示は,粒径区分別に表1の最右欄のとおりとする。
                         表1 顕微鏡法による測定結果の記録用紙(一例)
  No.     測定          測定場所        温度     湿度    気圧     使用した薄膜フィ   測定者氏名
         年月日                          (℃)    (%)    (kPa)    ルタの呼び孔径
    粒径    捕集   全面積,格子内又は 測定した 測定した 有効ろ過バック     真の    衣服1着1m2
    区分    位置   一定面積内の粒子数 格子数   合計格子数
                                                        面積内の グラウンド粒子数  当たりの
                        (個)         (個)   (個)  全粒子数  (個)   (個)  粒子数(個)
             1
             2
 5 上 3
 50      満
 の粒子    4
             5
             6
             1
             2
 50      上
             3
 の粒子
             4
             5
             6
             1
             2
             3
 繊維状粒子
             4
             5
             6

――――― [JIS B 9923 pdf 7] ―――――

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6. 光散乱式自動粒子計数器法
6.1   測定装置 測定装置は,図5に示すように,装置の一方から一定の清浄な空気を供給し,他方から
排出する空気漏れのない環境内において,清浄衣服の一部又は全部を一定条件で一定時間運動させ,清浄
衣服からはく離させた分離可能な粒子によって,その環境を汚染させている間に,供給空気と排出空気の
粒子濃度及び空気量を測定し,清浄衣服の相対的清浄度を求める装置である。
                                      図5 測定装置の原理
6.2   測定に用いる機器 測定に用いる機器は,次による。
(1) 発じん装置 発じん装置は,清浄衣服の一部又は全部を一定条件で運動させて,清浄衣服の表面及び
    内部から分離可能な粒子を,再現性がある方法で,はく離させることができるようなものでなければ
    ならない。発じん装置には,次に示すシェーキング法及びタンブリング法がある。
(1.1) シェーキング法 シェーキング法による発じん装置は,図6に示すように上下ホールダ間に供試清
      浄衣服の一部を取り付けて,ホールダを上下及び回転させて発じんさせる装置であり,次の(a)(e)
      の条件を満たすものとする。
  (a) 上下ホールダは図7とし,JIS P 0138のA4大及びA3大の供試生地が装着可能であるものとする。
  (b) 連続してホールダの上下動作及び回転動作を各々独立に又は同時に行うことができるものとする。
  (c) 上下動作は10cm以上,回転動作は±270°以上で,1往復の動作が3秒以内とする。
  (d) ホールダ部分を覆う箱(縦555mm,横555mm,高さ520mm)は,帯電防止処理がされたものとす
      る。
  (e) 駆動部分からの発じんが防止されたものとする。

――――― [JIS B 9923 pdf 8] ―――――

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                               図6 発じん装置(シェーキング法)
                                       図7 ホールダ部分

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(1.2) タンブリング法 タンブリング法による発じん装置は,図8に示すようにドラム内に供試清浄衣服
      又は生地(衣服素材)を投入し,ドラムを回転させて発じんさせる装置であり,次の(a)及び(b)の条
      件を満足するものとする。
  (a) 回転するドラム内に,清浄空気を供給することができ,排気のための開口部をもつものとする。
  (b) ドラムは図9の断面をもち,回転速度は,毎分3050回転とする。
                               図8 発じん装置(タンブリング法)
                                        図9 ドラム断面
(2) 光散乱式自動粒子計数器 光散乱式自動粒子計数器は,JIS B 9921に規定する計数器で,粒径0.5   
    以上,1         上及び5          上の粒子数を計数できるものとする。
6.3   試薬 試薬は,5.2に規定するものと同等以上の品質のものとする。
6.4   測定の手順
6.4.1  予備作業 予備作業は,5.3.2(1)及び(2)に準じて行う。

――――― [JIS B 9923 pdf 10] ―――――

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