JIS B 9923:1997 クリーンルーム用衣服の汚染粒子測定方法

B 9923-1997

まえがき

  この規格は,工業標準化法に基づいて,日本工業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が改正した日
本工業規格である。これによって,JIS B 9923-1986は改正され,この規格に置き換えられる。

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――――― [JIS B 9923 pdf 1] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                             B 9923-1997

クリーンルーム用衣服の汚染粒子測定方法

Clean room garment−Methods for sizing and counting particle contaminants in and on clean room garments

1. 適用範囲 この規格は,クリーンルームで使用する布製のクリーンルーム用衣服(1)(以下,清浄衣服
という。)の生地の内外に付着している直径5     上50         満の粒子,50         上の粒子及び長さ100  
以上の繊維,並びに直径0.5        上,1         上及び5         上の分離可能な粒子数の測定方法について規
定する。
    注(1) クリーンルーム用衣服とは,クリーンルームで使用する作業衣で,続き服,一組の上衣及び下
          衣,並びにコートをいう。
    備考1. この規格の引用規格を,次に示す。
    JIS B 8330 送風機の試験及び検査方法
    JIS B 9921 光散乱式自動粒子計数器
    JIS K 8593 石油エーテル(試薬)
    JIS K 8839 2−プロパノール(試薬)
    JIS K 8848 ヘキサン(試薬)
    JIS P 0138 紙加工仕上寸法
    JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語
         2. この規格で [{}] を付けて示してある単位及び数値は,従来単位によるものであって,参考
            として併記したものである。
2. 用語の定義 この規格で用いる主な用語の定義は,JIS Z 8122による。
3. 測定環境 清浄衣服に付着した粒子の測定環境は,その清浄衣服を使用するクリーンルームの清浄度
と同等以上に清浄な環境とする。
4. 測定方法の種類 測定方法は,次の2種類とする。
(1) 顕微鏡法 この方法は,衣服の指定された6か所において衣服地の1枚について,1か所当たり0.960
    ×10−3m2 (960mm2) の面積に,毎分14×10−3m3 (14l) の割合で十分に清浄な空気を1分間通過させる。
    作業衣を通過し,清浄衣服から分離可能な粒子を含んだ空気を測定用薄膜フィルタでろ過し,衣服か
    らはく離した粒子をフィルタ面上に補集し,5      上50          満及び50         上の粒子数並びに長さ
    100          上の繊維数を顕微鏡を用いて計数するものである。

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(2) 光散乱式自動粒子計数器法 この方法は,0.5          上1         上及び5         上の粒子について,その
    濃度変化及び排出空気量によって,清浄衣服からはく離した粒子の単位容積当たりの粒径区分別粒子
    数を一定の清浄な環境内において清浄衣服の一部又は全部を一定条件で運動させ,発じんさせたとき
    供給空気及び排出空気の清浄度をJIS B 9921に規定する計数器によって計数するものである。
    備考 供給空気及び排出空気の粒子濃度を計数する計数器は,同一計数器を用いる。
5. 顕微鏡法
5.1   測定に用いる器具 測定に用いる器具は,次のとおりとする。
(1) 測定用薄膜フィルタ 測定用薄膜フィルタは,清浄衣服からはく離した粒子及び繊維を捕集するため
    のフィルタで,直径47mm,0.8         下の孔径をもち,一辺が3.1mmの格子が印刷されており,黒色
    のものとする。
(2) アダプタ付きフィルタホールダ アダプタ付きフィルタホールダは,エアフィルタを収納できる内円
    すい付きプレフィルタホールダと測定用薄膜フィルタを収納する外円すい付きフィルタホールダとの
    間に,供試用清浄衣服の生地1枚を装着して円すいで締結できるようにした一組のフィルタホールダ
    で,二つのフィルタホールダを締結した状態で空気漏れがあってはならない。
      測定用薄膜フィルタ上の有効ろ過面積は,929×10−3m2 (929mm2) とする。
(3) ピンセット ピンセットは,先端が平らで,フィルタをきずつけるおそれのないものとする。
(4) ペトリ皿又はスライドガラス ペトリ皿又はスライドガラスは,測定用薄膜フィルタを清浄な状態で
    保管できるものとする。
(5) 吸引ポンプ 吸引ポンプは,清浄衣服の生地,測定用薄膜フィルタ及び臨界オリフィス又は流量計を
    取り付けた状態で,毎分14×10−3m−3 (14l) の吸引能力があるもの。
    参考 最低67kPa [{500mmHg}] の吸引能力がある真空ポンプを用いることができる。
(6) 顕微鏡 顕微鏡は,最小粒径5             定するために十分な分解能をもち,視野が平たんで,次の条件
    を満足するものとする。
  (a) 顕微鏡の組合せ倍率は,50±10倍及び100±10倍とし,接眼レンズの倍率は10倍,対物レンズの
      倍率は,5倍及び10倍とする。
  (b) 双眼又は単眼の顕微鏡を用い,実体顕微鏡は使用しない。
  (c) 可動ステージは,測定用薄膜フィルタの全有効ろ過面積を走査できるものとする。
  (d) 接眼レンズミクロメータは,10mmを100等分したものとする。
  (e) 照明器は,斜め方向から照明して,明暗度が変えられ,集光レンズの焦点が合わせられ,さらに自
      由に方向が変えられるものとする。
(7) 計数器 計数器は,手動で粒子数を計数できるものとする。
(8) ステージマイクロメータ ステージマイクロメータは,1mmを100等分したものである。
5.2   試薬 試薬は,孔径0.45           鰰     ィルタでろ過したものを用い,次による。
  蒸留水
  イソプロピルアルコール イソプロピルアルコールは,JIS K 8839の1級とする。
  石油エーテル 石油エーテルは,JIS K 8593の特級とする。
    備考 石油エーテルの代わりに,JIS K 8848の特級を用いてもよい。
5.3   測定の手順
5.3.1  検定及びバックグラウンドの測定 検定及びバックグラウンドの測定は,次のとおり行う。

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                                                                                              3
                                                                                    B 9923-1997
(1) 接眼レンズミクロメータの検定 ステージマイクロメータを可動ステージ上に置き,これを基準とし
    て接眼レンズミクロメータの目盛が何マイクロメートルに相当するかを50倍及び100倍の倍率につい
    て検定を行う。
    備考 接眼レンズミクロメータの検定は,接眼レンズミクロメータの目盛全体に対して行い,目盛の
          一部(例えば,1目盛ずつ)については行わない。
(2) バックグラウンドの測定 バックグラウンドの測定は,5.3.25.3.5の手順に準じ,清浄衣服をアダプ
    タ付きフィルタホールダに取り付けない状態で行う。この操作を2回繰り返し,その平均値をバック
    グラウンドとする。
5.3.2  予備作業 予備作業は,次のとおり行う。
(1) 清浄衣服に付着した粒子の測定に当たっては,測定者は清浄衣服を,床その他の備品に触れないよう
    な方法で正しく着用する。
(2) アダプタ付きフィルタホールダ,ピンセット,フィルタ支持台及びスライドガラスは測定のたびごと
    に前もって次の順序に従って清浄化する。
  (a) 石油エーテルですすいで油分を除去する。
  (b) 中性洗剤を用いて温水中で十分洗い,温水で2回すすぐ。
  (c) ろ過した蒸留水で2回すすぐ。
  (d) ろ過したイソプロピルアルコールですすいで水分を除去する。さらにろ過した石油エーテルですす
      いだ後,蒸発させる。
(3) ピンセットを用いて,1枚の測定用薄膜フィルタを容器から取り出し,その両面をろ過した石油エー
    テルですすぐ。
(4) 格子面を上にして測定用薄膜フィルタをフィルタ支持台上に置き,フィルタホールダに取り付ける。
(5) フィルタホールダ及び臨界オリフィス又は流量計をホースを用いて吸引ポンプにつなぐ。
(6) 供試清浄衣服が包装されているときは,鋭利な刃物で包装を切り供試清浄衣服を取り出す。この場合,
    決して包装を引き裂いてはならない。
(7) 供試清浄衣服は,粒子の捕集中汚染されることのないように清浄な環境中で,測定のために粒子を捕
    集しやすい位置に清浄なハンガなどでつるす。
5.3.3  粒子の捕集 清浄衣服に付着している分離可能な粒子の捕集は,次のとおり行う。
(1) 清浄衣服からの分離可能な粒子の捕集位置は,図1の6か所とする。
                                      図1 粒子の捕集位置

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(2) 供試用清浄衣服のそれぞれの捕集位置において,測定用薄膜フィルタを装着したフィルタホールダの
    外側(図2参照)を,供試用清浄衣服の外側に付ける。
                                     図2 フィルタホールダ
(3) 吸引空気量は,それぞれの粒子の捕集位置において,毎分14×10−3m−3の流速で,1分間吸引した空
    気量とする。
    備考 フィルタホールダと真空源との間に流量計を用いる場合は,温度及び圧力の補正を行って,標
          準温度及び標準圧力における実際の流量を決定しなければならない。
            この場合,標準温度は20℃,標準圧力は101.325kPa{1気圧}とする。
5.3.4  測定用薄膜フィルタの保管 清浄衣服からはく離した粒子及び繊維を捕集した測定用薄膜フィル
タは,ピンセットを用いてフィルタホールダから外し,清浄なスライドガラスに挟んでおくか,又はペト
リ皿に入れて顕微鏡標本とする。
5.3.5  測定 測定は,次のとおり行う。
(1) 粒子及び繊維状粒子を捕集した測定用薄膜フィルタ(以下,試料という。)を顕微鏡のステージ上に置
    く。この際,試料の格子の線を可動ステージの座標軸に一致させる。試料がペトリ皿に保管してある
    場合は,必要に応じふたを取って測定する。
(2) 低倍率で試料上を走査し,粒子が一様に分散していることを確かめる。
(3) 顕微鏡の倍率は,粒径5         上50         満の粒子に対しては100倍,粒径50        上の粒子及び繊維
    に対しては50倍とする。
(4) 粒径区分は,5        上50         満の粒子,50        上の粒子及び長さが100         上の繊維状粒子とす
    る。
(5) 顕微鏡のステージを移動させながら通過する粒子を接眼レンズミクロメータの目盛で測定する。粒子
    の最大径の方向が目盛に対して傾斜している場合には,最大径を推測する。この際,接眼レンズミク
    ロメータを回転して測定する必要はない。
(6) 対象としている粒径区分の粒子数が,有効ろ過面積内に1500個あると推定される場合には,有効ろ
    過面積全体について計数する。

――――― [JIS B 9923 pdf 5] ―――――

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