JIS K 0141:2000 表面化学分析―データ転送フォーマット

K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)

まえがき

  この規格は,工業標準化法第12条第1項の規定に基づき,財団法人大阪科学技術センター付属ニューマ
テリアルセンター (OSTEC) 及び財団法人日本規格協会 (JSA) から工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)
を制定すべきと申出があり,日本工業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が制定した日本工業規格(日本産業規格)で
ある。
  JIS K 0141には,次に示す附属書がある。
    附属書A(参考) フォーマットのデザイン
    附属書B(参考) フォーマットの実例
    附属書C(参考) 簡易型フォーマット
    附属書D(参考) 参考文献

(pdf 一覧ページ番号 )

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                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                            K 0141 : 2000
                                                                           (ISO 14976 : 1998)

表面化学分析−データ転送フォーマット

Surface chemical analysis−Data transfer format

序文 この規格は,1998年に第1版として発行されたISO 14976, Surface chemicai analysis−Data transfer
formatを翻訳し,技術的内容及び規格票の形式を変更することなく作成した日本工業規格(日本産業規格)である。
なお,この規格で側線又は点線で下線を施してある“参考”は,原国際規格にない事項である。
表面分析では多くの市販装置がコンピュータによって運転されている。このコンピュータは,また,取得
したデータの処理を行うためにも使用される。データ処理の例として,波形合成,波形分離,バックグラ
ウンド差し引き,波形面積測定,様々な処理内容の程度に応じた定量,マッピング,深さ方向プロファイ
ルの表示,円滑化処理(スムージング),微分,その他の機能による処理などがあげられる。一方,多くの
分析者は他のコンピュータ上で自分の仕様のために書かれたプログラムを使用し,独自の手法によりデー
タ処理を行う要望をもっている。この場合,データ取得用コンピュータ中のデータを受信コンピュータ側
で読み込み可能な型に変換する必要がある。ある装置製造者のデータの型は他の装置製造者のデータの型
と異なっており,また,これらのデータの型は一般的には公表されない。したがって,データ通信を普及
させるために,また,データの型を書き換えるプログラム作成の手間を省くために,そしてデータ解析の
不確定さを減らすために,データ転送を行う標準的なデータフォーマットが必要である。
1. 適用範囲 この規格は,パラレルインターフェース又はシリアルインターフェース方式によって,コ
ンピュータ間を直接結線,電話線,ローカルエリアネットワークや他の通信手段で接続することによって
データを転送するためのフォーマットを明記する。転送されたデータは通常のディスプレイ又はプリンタ
に表示される文字に書き換えられる。本フォーマットは,AES(オージェ電子分光法),EDX(エネルギー
分散型X線分光法),FABMS(高速原子衝撃質量分析法),ISS(イオン散乱分光法),SIMS(二次イオン
質量分析法),SNMS(スパッタ中性粒子質量分析法),UPS(紫外線光電子分光法),XPS(X線光電子分
光法),XRF(蛍光X線分析法)や他の同様な分析方法に適合する。また,本フォーマットは多様な実験
によって発生するスペクトル,元素マップ,深さ方向プロファイル,及びこれらの組み合わせによって得
られるデータ処理を扱う。

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K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
2. フォーマットの記述
2.1   概要 本フォーマットは,2.2,2.3に記載された適切な構成要素である英国規格BS 6154 : 1981(1)−
記号言語のためのメタ言語定義方法 (British Standard−Method of defining syntactic metalanguage),で定義さ
れたメタ言語によって記述する。本フォーマット中の幾つかのパラメータは三つの項目;実験モード,掃
引方法,及び測定手法,の特別な場合にだけ関係しており,これらのパラメータを含む形で提供する。こ
れらの条件は,単純な羅列形式とするより複雑な構造で表現したほうがよい場合にだけメタ言語で記述す
る。構造を単純化するために,これらのパラメータは選択可能な記号列で表現し,また,選択可能な記号
列を使用する条件をもっている。それらの条件は注釈により説明する。
  なお,本フォーマットの設計の考え方を附属書Aに参考として示す。
2.2   記述言語の構成 メタ言語は文字の並び方を記述するための表記法である。その規則によって表現
される文字だけ記号列の中に挿入できる。その記号列は部分記号列から成る記号列の場合もある。部分記
号列は一対の引用符(6)あるいは括弧によって文字列を囲む表記法によって表現する。これらの部分記号列
に対する囲み文字を「末端記号付き文字」という。
  末端記号付き文字は「基礎記号言語」の一例である。
  同一の基礎記号言語が特定の連続する頻度で表現されることを示すため,整数,アステリスク (*),基
礎記号言語の順で記述する。整数とアステリスクによって先導される基礎記号言語を「記号言語要素」と
いう。
  記号言語要素,マイナス文字,記号言語要素の順に表記する場合がある。その部分記号列を「記号言語
項目」という。
  多くの記号言語項目が,それぞれの記号言語項目を順番に採用することで部分記号列を表現するために,
カンマで区切り表現される場合がある。一つの記号言語項目,又はカンマで区切られた記号言語項目グル
ープを「単一定義」という。
  一つの部分記号列と単一定義のただ一つより成る部分記号列を記述するために,つまり選択可能な単一
定義列を表現するために,垂直線文字で区切られた多くの単一定義が連続する場合がある。単一定義又は
垂直線文字で区切られた単一定義グループを「定義列」という。
  記号言語項目中に存在し,2番目の記号言語要素がその後に続くマイナス文字について説明する。2番目
の記号言語要素により生成される部分記号列を表現するために記号言語項目を差し引くときに使用する。2
番目の記号言語要素を「差し引き記号言語」という。
  特定の名前が定義列に割り当てられる場合がある。その名前は1以上の文字数から成る。最初の文字は
字句でなければならない。それに引き続く文字は字句又はアラビア数字でなければならない。名前中に存
在する空白や新しい行は重要ではない。この名前を「メタ識別子」という。
  メタ識別子が,同等記号,定義列,セミコロンと続くあるメタ識別子によって定義列に割り当てられる。
これを「表記則」と呼ぶ。
  一つ又はそれ以上の表記則が文字列を記述するための一つの規則を形造っている。この表記則を「記号
言語」という。
  基礎記号言語は,一例として末端記号付き文字を伴う形で導入されるが,次に示すいずれか一つから形
成される。
a) 何ら文字が書かれていない,つまり記号列に何の文字も付加されていない場合,「空白記号列」と呼ぶ。
b) 左角括弧“[”,定義列,右角括弧“]”で表される場合は,空白記号列又は一つの定義列によって表さ
    れる部分記号列を示す。これを「選択記号列」という。

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                                                                                              3
                                                                    K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
c) 左中括弧“{”,定義列,右中括弧“}”で表される場合は,空白記号列又は定義列によって記述される
    それぞれの部分記号列をある数だけ繰り返す部分記号列を示す。これを「繰り返し記号列」という。
d) 左丸括弧“(”,定義列,右丸括弧“)”で表される場合は,囲まれた定義列によって記述される部分記
    号列を示す。これを「グループ記号列」という。
e) 既に解説したメタ識別子は,表記則の中で割り当てられた定義列によって記述される部分記号列を示
    す。
f)  既に解説した末端記号付き文字は,囲まれた部分記号列を示す。
g) 疑問符“?”,ある文章,疑問符“?”で表される場合は,メタ言語自体で記述することが不可能であ
    るため,メタ言語以外の言語で記述される部分記号列を示す。これを「特別記号列」という。
  左丸括弧とアステリスク“(*”,文字,ある字句,アステリスクと右丸括弧“*)”で表記される形は「括
弧付き注釈」という。記号言語に付け加え,その意味に影響を与えることなく使用されるもので,読み手
の便宜に配慮した注釈である。メタ識別子,整数,特別記号列,又は末端記号付き文字を除いた記号言語
中の任意の場所に挿入される。
  末端記号付き文字を除いてはページ内の配置は,記号言語の意味に影響を与えるものではない。
    備考1. 次にメタ言語で使用される特別な記号の概略を示す。最初の6個の記号が優先度の高い順序に
            示されており,2.2で意図した優先権が与えられている。この優先順序は次の括弧の対以降,
            無効となる。
             *        記号言語要素の中で使用され,出現する基礎記号言語の数を示す整数が次にく
                       る。
             -         記号言語項目の中で使用され,差し引き記号言語の頭に付ける。
             ,         単一定義の中で使用され,連続する記号言語項目を区切る。
             |         定義列の中で使用され,選択可能な単一定義を区切る。
             =        表記則の中で使用され,定義されたメタ識別子と定義列を区切る。
             ;         表記則の終了
             and       又は
             ”and”   字句を囲み末端記号付き文字を形成し,記述される文字列を表現する。
             (*and*)   注釈を囲み,括弧付き注釈文を形成する。読み手側へ付加的な情報を提供する。
             (and)     定義列を囲み,グループ化された記号列を形成する。通常の代数的な考え方で
                       項目をグループ分けする。
             [{and}]     定義列を囲み,繰返し記号列を形成する。ゼロ回以上起こり得る基礎記号言語
                       である。
             [and]     定義列を囲み,選択記号列を形成する。省略又は1回出現する基礎記号言語で
                       ある。
             ・and・     字句を囲み,特別記号列を形成する。メタ言語以外の言語で記述される基礎記
                       号言語である。
2.3   追加規則 幾つかのパラメータは複数回,つまりフォーマットの初期に登場するパラメータの値に
依存する実数値だけ繰り返し使用する必要がある。メタ言語にはこの依存性を示す表現が準備されていな
い。このような場合,パラメータは繰返し記号列として表現され,繰り返される実数を示すパラメータ名
は括弧付き注釈文の中で示される。
  真の値が分からない場合の仮の値は実数値1E37を採用する。日付又は時間を特定する要素である整数

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K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
値が分からない場合,仮の値として値−1を使用する。
    備考2. 括弧付き注釈文の中にメタ識別子が使用される箇所では,それらを斜文字(本規格ではかぎ
            括弧(「 」)で囲む表現とする)で表現している。
         3. 実験及びブロックを定義する表記則中の定義列の中のそれぞれのメタ識別子は,データ取得
            コンピュータに格納される単純変数又は配列変数に対応する。出力に際し,フォーマット中
            のそれぞれの変数又は配列要素は,コード値が13と10であるアスキー文字からなる改行記
            号によって終了する部分記号列で表現される。これらのコード値は改行記号と行送り記号の
            組み合わせからなるもので,広く使用されている。部分記号列は記録された数値データを通
            常の整数か実数表記で表現するか,又はテキスト文字として記録されたテキストデータと等
            価な表現とする。それぞれのメタ識別子は多義なものとして選ばれる一つの単語又は句から
            成る。そしてその意味を付加的に拡大する場合,必要箇所で括弧付き注釈文を用いる。これ
            らの二つの表記則が最初に示され,次にアルファベット順に残りの表記則が続く。
2.4   フォーマット
 実験=      フォーマット識別子,
             機関識別子,
             装置型式識別子,
             測定者識別子,
             実験識別子,
             注釈行数,
            {注釈行}
                   (*「注釈行数」の数値によって「注釈行」の数が規定される。
                   注釈は最新の装置校正についての詳細を含んでもよい。*),
             実験モード,
             掃引モード,
             [スペクトル領域数]
                   (*通常は一つの実験には一つの測定手法を用いるが,複数の手法を用いてもよ
                   い。「スペクトル領域数」の数値は,それぞれの測定手法によるスペクトル領域数
                   をすべて合計したものである。「スペクトル領域数」は,「実験モード」が 'MAP',
                   'MAPDP', 'NORM', 'SDP' のいずれかの場合には必す(須)で,その場合に限り挿入
                   される。*),
             [分析箇所数,
             全マップ領域上x座標数,
             全マップ領域上y座標数]
                   (*上の三つの入力項目は,「実験モード」が 'MAP' か 'MAPDP' の場合に必すで,
                   その場合に限り挿入する。
                   「全マップ領域上x座標数」の数値と「全マップ領域上y座標数」の数値との積が
                   「分析箇所数」の数値より大きい場合には,マップ上の幾つかの点は分析されてい
                   ないことに注意。*),
             実験変数の数
                   (*実験変数は,実験を通してブロック間では値が変わってもよいが,それぞれの

――――― [JIS K 0141 pdf 5] ―――――

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