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K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
ブロック内では同じ値をとるパラメータである。*),
{実験変数ラベル,
実験変数単位}
(*「実験変数の数」の数値により,上記入力項目対の数を規定する。*),
0',改行,
ブロック内手入力項目数,
{手入力項目前付番号}
(*「ブロック内手入力項目数」の数値によって「手入力項目前付番号」の数を規
定する。この番号は小さい順に並んでいなければならない。ここに番号を記述した
場合,「ブロック」を定義する表記則における,対応する番号の項目はすべて,測
定者がキーボードから手入力したものでなければならない。もし,項目が実数で表
されるものだが測定者が値を与えることができない場合には,1E37を入力しなけれ
ばならない。*),
拡張実験入力数,
拡張ブロック入力数
(*「拡張実験入力数」と「拡張ブロック入力数」は,このフォーマットを更新し
て新たなパラメータを追加するためのものである。これらの新しいパラメータの数
をここに入れることにより,古いプログラムで新しいデータを読むときには新しい
パラメータを読み飛ばし,新しいプログラムで古いデータを読むときには新しいパ
ラメータが記述されていないことを認識して,互換性を保つことができる。現在は,
両者ともゼロにセットしておくことができる。*),
{拡張実験入力}
(*上の「拡張実験入力数」の数値によって,「拡張実験入力」の数を規定する。
この項目は,フォーマットが将来更新されて挿入されるいかなる「整数」,「実数」,
「テキスト行」もすべて読み込めるように,「テキスト行」として定義する。しか
し,更新後は「テキスト行」という定義を破棄してもよい。*),
ブロック数,
{ブロック}−
(*マイナス符号の後に空白が続くときは,少なくとも一つはブロックが存在しな
ければならないことを示す。「ブロック数」の数値により,「ブロック」の数を規
定する。*),
実験終了符;
ブロック=ブロック識別子,
測定試料識別子,
(*1*) [西暦年]
(*グレゴリオ暦で省略せず記入。例 : '1987' *),
(*2*) [月時刻],
(*3*) [カレンダー日],
(*4*) [時]
(*24時間表記で*),
――――― [JIS K 0141 pdf 6] ―――――
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K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
(*5*) [分時刻],
(*6*) [秒時刻]
(*上の六つの値のどれかが不明な場合,ダミーとして−1の値を入れなければな
らない。*),
(*7*) [グリニジ標準時差],
(*8*) [ブロック注釈行数,
(*8*) {注釈行}]
(*上記「ブロック注釈行数」の数値によって「注釈行」の数を規定する。*),
(*9*) [測定手法]
(*10*) [x座標
(*1から始まる序数で記述した,分析線源の走査系によるx座標値*),
(*10*) y座標]
(*1から始まる序数で記述した,分析線源の走査系によるy座標値。
上の入力項目対は,「実験モード」が 'MAP' か 'MAPDP' の場合には必すで,その
場合に限り挿入する。*),
(*11*) {実験変数値}
(*「実験変数値」は,例えば,秒単位の合計時間や,秒単位の合計スパッタ時間,
単位m2当たり照射イオン量で表した合計スパッタ量,ケルビン単位の温度,eV単
位のエネルギー,原子質量単位の質量などを表すことができる。この値が時間とと
もになめらかに変化する場合,「実験変数ラベル」に特記しない限り,ブロックデ
ータの記録を始めた点における値とする。
「実験変数の数」の数値によって,「実験変数値」の数を規定する。「実験変数値」
の順序は,「実験変数ラベル」と「実験変数単位」が記述されている順序と同じで
ある。*),
(*12*) [分析線源ラベル],
(*13*) [スパッタイオン又はスパッタ原子の原子番号,
(*13*) スパッタイオン又はスパッタ原子の原子数,
(*13*) スパッタイオン又はスパッタ原子の符号付き電荷]
(*上の三つの入力項目は,(1)「実験モード」が 'MAPDP','MAPSVDP','SDP',
'SDPSV'のいずれかであるか,又は(2)「測定手法」が 'FABMS','FABMS energy spec',
'ISS','SIMS','SIMS energy spec','SNMS','SNMS energy spec'のいずれかである場合
には必すで,その場合に限り挿入する。*),
(*14*) [分析線源特性エネルギー]
(*eV単位のエネルギー*),
(*15*) [分析線源強度]
(*XPSとXRFではW単位の出力,AES,EDX,ISS,SIMS,SNMSではnA単位
のビーム電流,FABMSではビーム等価量*),
(*16*) [分析線源ビーム幅x
(*マイクロメータ単位の,試料位置で励起ビームに垂直な平面内における幅*),
(*16*) 分析線源ビーム幅y]
――――― [JIS K 0141 pdf 7] ―――――
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K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
(*マイクロメータ単位の,試料位置で励起ビームに垂直な平面内における幅*),
(*17*) [視野幅x
(*マイクロメータ単位*),
(*17*) 視野幅y]
(*マイクロメータ単位。
上の二つの入力項目は,「実験モード」が 'MAP', 'MAPDP', 'MAPSV',
'MAPSVDP',又は 'SEM' の場合に必すで,その場合に限り。挿入する。*),
(*18*) [初走査線の開始x座標,
(*18*) 初走査線の開始y座標,
(*18*) 初走査線の終了x座標,
(*18*) 初走査線の終了y座標,
(*18*) 最終走査線の終了x座標,
(*18*) 最終走査線の終了y座標]
(*上の六つの入力項目は,「実験モード」が 'MAPSV','MAPSVDP',又は 'SEM'
の場合に必すで,その場合に限り挿入する。
これらは,マップのサイズと形を規定し,試料上の位置と走査シーケンスを関係づ
けるのに必要である。用いられる座標系は,x値は1から始まりフレームの左端か
ら右端に向かって増加し,y値は1から始まりフレームの左端から右端に向かって
増加し,y値は1から始まりフレームの上から下に向かって増加する。*),
(*19*) [分析線源入射極角]
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系の上方向Z軸からの角度*),
(*20*) [分析線源方位角]
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系のy軸から時計周りの角度*),
(*21*) [分光器モード],
(*22*) [分光器通過エネルギー,減速比,又は質量分解能]
(*エネルギーはeV単位,質量はamu単位*),
(*23*) [微分幅]
(*正弦波変調又はコンピュータでの数値微分のピーク間eVで表記する。
「微分幅」は,「測定手法」が 'AESdiff' の場合に必すで,その場合に限り挿入す
る。*),
(*24*) [分光器投射レンズ倍率],
(*25*) [分光器仕事関数,原子又はイオンの取り込みエネルギー]
(*AES,ELS,ISS,UPS,XPSに対しては仕事関数の正の値をeVで表記する。
FABMS,SIMS,SNMSに対しては,イオンの取り込みエネルギーとは質量分析器
の付属するエネルギーフィルタにおけるパスエネルギーのことである。*),
(*26*) [測定試料バイアス電圧]
(*符号を含めV単位*),
(*27*) [分析領域幅x
――――― [JIS K 0141 pdf 8] ―――――
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K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
(*分析領域幅xは,FABMS,FABMS energy spec,ISS,SIMS,SIMS energy spec,
SNMS,SNMS energy specに対しては,ビームに垂直な平面における線源の幅をx
方向に投影した信号幅,AES diff,AES dir,ELS,UPS,XPSに対しては,分光器
スリット長さを分光器投射レンズのスリットに対する倍率で割ったもの,EDXと
XRFに対しては,線源の幅のx方向成分とする。
「分析領域幅X」はマイクロメータ単位。*),
(*27*) 分析領域幅y]
(*y方向について「分析領域幅x」と同様*),
(*28*) [分光器軸極角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系の上方向z軸からの角度*),
(*28*) 分光器軸方位角]
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系のy軸から時計周りの角度*),
(*29*) [化学種ラベル]
(*元素記号又は分子式*),
(*30*) [遷移記号又は準位記号
(*例 : AESの場合 'KLL',XPSの場合 '1s',SIMSの場合 '−1' *),
(*30*) 検出粒子電荷]
(*例 : AES及びXPSの場合−1,正電荷SIMSの場合+1*),
(*31*) [横軸ラベル,
(*31*) 横軸単位,
(*31*) 横軸開始値,
(*31*) 横軸増分]
(*上の四つの入力項目は,「掃引モード」が 'REGULAR' の場合に必すで,その
場合に限り挿入する。*),
(*32*) [対応変数の数
(*もしデータが二つ以上の変数に対応するデータセットの形になっている場合
には,「対応変数の数」は変数の数と同じでなければならない。そうでない場合は
1。*),
(*32*) {対応変数ラベル,
(*32*) 対応変数単位}]
(*「対応変数の数」の数値によって,上の入力項目対の数を規定する。*),
(*33*) [信号モード],
(*34*) [1掃引当たり積算時間]
(*EDXとXRF以外の場合には,秒単位で表した各チャンネル又は配列での一掃
引当たりの測定時間。EDXとXRFの場合は,秒単位の合計測定時間。*),
(*35*) [ブロックデータ測定繰り返し回数],
(*36*) [1掃引当たり積算時間補正]
――――― [JIS K 0141 pdf 9] ―――――
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K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
(*EDX,XRF以外に対しては系の不感時間のことである。EDX,XRFの場合に
は,寿命補正済み測定時間である。不感時間の場合,正の値ならば計測率は(1−
単位時間当たり計測量×不感時間)で割り算しなければならないし,負の値ならば
[exp(真の計測量×不感時間)]で掛け算して補正しなければならない。もしスペ
クトルが既に不感時間補正されている場合には,この項の値はゼロで,用いられた
不感時間の値は注釈行かどこかに記述されなければならない。
「1掃引当たり積算時間補正」は秒単位。*),
(*37*) [スパッタエネルギー
(*eV単位のエネルギー*),
(*37*) スパッタビーム電流
(*nA単位の電流値。中性粒子に対してはその等価表。*),
(*37*) スパッタ幅x
(*マイクロメータ単位の,試料位置においてスパッタビームに垂直な平面内にお
ける幅*),
(*37*) スパッタ幅y
(*マイクロメータ単位の,試料位置においてスパッタビームに垂直な平面内にお
ける幅*),
(*37*) スパッタ線源入射極角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系の上方向z軸からの角度*),
(*37*) スパッタ線源方位角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系のy軸から時計周りの角度*),
(*37*) スパッタモード]
(*「スパッタモード」の値は 'continuous' か 'cyclic' かのどちらかである。
'continuous' の場合は,スペクトル測定中もスパッタリングが継続しており, 'cyclic'
の場合は,スペクトル測定中はスパッタリングが休止している。*)
上の七つの入力項目は,AES diff,AES dir,EDX,ELS,UPS,XPS,XRFにおい
て,深さ方向分析のように,分析用の線源に加えてスパッタ源が用いられる場合の
ためのものである。
上の七つの入力項目は,(1)「測定手法」が 'AES diff', 'AES dir', 'EDX', 'ELS',
'UPS', 'XPS', 'XRF' のいずれかであり,かつ,(2)「実験モード」が 'MAPDP',
'MAPSVDP', 'SDP', 'SDPCV' のいずれかである場合には必すで,その場合に限り
挿入する。*)
(*38*) [試料法線極角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系の上方向z軸からの角度*),
(*38*) 試料法線方位角]
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系のy軸から時計周りの角度*),
(*39*) [試料回転角]
(*度単位の,試料法線の周りに時計周りの回転角。もしこれが,試料上の特別な
方向に関係している場合は,その方向について項目番号8のブロック内注釈行に記
述するとよい。*),
――――― [JIS K 0141 pdf 10] ―――――
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JIS K 0141:2000の引用国際規格 ISO 一覧
- ISO 14976:1998(IDT)
JIS K 0141:2000の国際規格 ICS 分類一覧
- 35 : 情報技術.事務機械 > 35.240 : 情報技術(IT)の応用 > 35.240.70 : 自然科学へのITの応用