40
K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
分時刻,
秒時刻,
(*上の六つの値のどれかが不明な場合,ダミーとして−1の値を入れなければなら
ない。*),
グリニジ標準時差,
ブロック注釈行数,
{注釈行}
(*上記「注釈行数」の数値によって「注釈行」の数を規定する。*),
測定手法,
実験変数の値
(*「実験変数の値」は,例えば,秒単位の合計スパッタ時間で,ブロックデータ
の記録を始めた点における値とする。*),
分析線源ラベル,
スパッタイオン又はスパッタ原子の原子番号,
スパッタイオン又はスパッタ原子の原子数,
スパッタイオン又はスパッタ原子の符号付き電荷,
分析線源特性エネルギー
(*eV単位のエネルギー*),
分析線源強度
(*XPSとXRFではW単位の出力,AES,EDX,ISS,SIMS,SNMSではnA単位
のビーム電流,FABMSではビーム等価表*),
分析線源ビーム幅x
(*マイクロメータ単位の,試料位置で励起ビームに垂直な平面内における幅*),
分析線源ビーム幅y
(*マイクロメータ単位の,試料位置で励起ビームに垂直な平面内における幅*),
分析線源入射極角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系の上方向z軸からの角度*),
分析線源方位角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系のy軸から時計周りの角度*),
分光器モード,
分光器通過エネルギー,減速比,又は質量分解能
(*エネルギーはeV単位,質量はamu単位*),
[微分幅]
(*正弦波変調又はコンピュータでの数値微分のピーク間をeVで表記する。
「微分幅」は,「測定手法」が 'AES diff' のときだけ挿入する。*),
分光器投射レンズの倍率,
分光器仕事関数,原子又はイオンの取り込みエネルギー
(*AES,ELS,ISS,UPS,XPSに対しては仕事関数の正の値をeVで表記する。FABMS,
SIMS, SNMSに対しては,イオンの取り込みエネルギーとは質量分析器の付属するエ
ネルギーフィルタにおけるパスエネルギーのことである。*),
――――― [JIS K 0141 pdf 41] ―――――
41
K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
測定試料バイアス
(*「測定試料バイアス」は,符号を含めV単位で*),
分析領域幅x
(*分析領域幅xは,FABMS,FABMS energy spec,ISS,SIMS,SIMS energy spec,
SNMS,SNMS energy specに対しては,ビームに垂直な平面における線源の幅をx方
向に投影した信号幅,AES diff,AES dir,ELS,UPS,XPSに対しては,分光器スリ
ット長さを分光器投射レンズのスリットに対する倍率で割ったもの,EDXとXRFに
対しては,線源の幅のx方向成分とする。「分析領域幅x」はマイクロメータ単位。
*),
分析領域幅y
(*y方向について「分析領域幅x」と同様*),
分光器軸極角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系の上方向z軸からの角度*),
分光器軸方位角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系のy軸から測定者に対して時計周
りの角度*),
化学種ラベル
(*元素記号又は分子式*),
遷移記号又は電子軌道記号
(*例 : AESの場合 'KLL',XPSの場合 '1s',SIMSの場合 '−1' *),
検出粒子電荷
(*例 : AES及びXPSの場合−1,正電荷SIMSの場合+1*),
横軸ラベル,
横軸単位,
横軸開始値,
横軸増分,
'1',改行,
対応変数ラベル
(*この場合は,対応する変数は強度となろう。*),
対応変数単位,
信号モード,
1掃引当たり積算時間
(*個々のチャンネル若しくは一連の測定点のそれぞれに対して,1回のスキャン時
における計数時間で秒で記述される。XRF及びEDXの場合は全スペクトルの測定時
間とする。*),
ブロックデータ測定繰返し回数,
1掃引当たり積算時間補正
(*EDX,XRF以外に対しては系の不感時間のことである。EDX,XRFの場合には,
寿命補正済み測定時間である。不感時間の場合,正の値ならば計測率は(1−単位時
間当たり計測量×不感時間)で割り算しなければならないし,負の値ならば[exp(真
――――― [JIS K 0141 pdf 42] ―――――
42
K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
の計測量×不感時間)]で掛け算して補正しなければならない。もしスペクトルが
既に不感時間補正されている場合には,この項の値はゼロで,用いられた不感時間
の値は注釈行かどこかに記述されなければならない。
「1掃引当たり積算時間補正」は秒単位で。*),
[スパッタエネルギー
(*eV単位のエネルギー*),
スパッタビーム電流
(*nA単位の電流値。中性粒子に対してはその等価量。*),
スパッタ幅x
(*マイクロメータ単位の,試料位置においてスパッタビームに垂直な平面内にお
ける幅*),
スパッタ幅y
(*マイクロメータ単位の,試料位置においてスパッタビームに垂直な平面内にお
ける幅*),
スパッタ線源入射極角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系の上方向z軸からの角度*),
スパッタ線源方位角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系のy軸から時計周りの角度*),
スパッタモード]
(*「スパッタモード」の値は 'continuous' か 'cyclic' かのどちらかである。
'continuous' の場合は,スペクトル測定中もスパッタリングが継続しており, 'cyclic'
の場合は,スペクトル測定中はスパッタリングが休止している。
上の七つの入力項目は,AES diff,AES dir,EDX,ELS,UPS,XPS,XRFにおいて,
深さ方向分析のように,分析用の線源に加えてスパッタ源が用いられる場合のため
のものである。
上の七つの入力項目は,「測定手法」が 'AES diff', 'AES dir', 'EDX', 'ELS', 'UPS',
'XPS', 'XRF'のいずれかの場合に限り挿入される。*),
試料法線極角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系の上方向z軸からの角度*),
試料法線方位角
(*度単位の,試料ステージで定義された座標系のy軸から測定者に対して時計周
りの角度*),
試料回転角
(*度単位の,試料法線の周りに時計周りの回転角。もしこれが,試料上の特別な
方向に関係している場合は,その方向についてブロック内の注釈行に記述するとよ
い。*),
追加数値パラメータ数,
{追加数値パラメータラベル,
追加数値パラメータ単位,
追加数値パラメータ値}
――――― [JIS K 0141 pdf 43] ―――――
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K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
(*「追加数値パラメータ数」の数値によって,上の三つの入力項目グループの数
が規定される。*),
データ点数,
データ最小値,
データ最大値,
{データ値}−
(*「データ点数」の数値によって,「データ値」の数が規定される。*);
横軸増分=実数
(*単位については,「横軸開始値」の下の表を参照のこと。*),
横軸ラベル=テキスト行;
横軸開始値=実数;
横軸単位=単位
(*次の表は「横軸単位」としてよく利用されるものを「測定手法」と「実験モード」に合わせて
例を示したが,これを使わなければならないというものではない。
測定手法 単位
AESdiff, AESdir, EDX, ELS, ISS, UPS, XPS, XRF 'eV'
FABMS, SIMS, SNMS 'u' or 's'
FABMS energy spec, SIMS energy spec, SNMS energyspec 'eV'
*);
追加数値パラメータラベル=テキスト行;
追加数値パラメータ単位=単位;
追加数値パラメータ値=実数;
分光器軸極角=実数;
分光器軸方位角=実数;
分光器モード= ('FAT' | 'FRR' | 'constant delta m' | 'constant m/delta m'),改行;
分光器通過エネルギー,減速比又は質量分解能=実数;
分光器仕事関数,原子又はイオン取り込みエネルギー=実数;
分析線源方位角=実数;
分析線源ビーム幅x=実数;
分析線源ビーム幅y=実数;
分析線源特性エネルギー=実数;
分析線源ラベル=テキスト行;
分析線源入射極角=実数;
分析線源強度=実数;
分析領域幅x=実数;
分析領域幅y=実数;
ブロック識別子=テキスト行;
改行= ・ 7ビットアスキー文字のCARRIAGE RETURNで,7ビットアスキー文字の行送り (LINE
FEED) が続く?;
――――― [JIS K 0141 pdf 44] ―――――
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K 0141 : 2000 (ISO 14976 : 1998)
文字= ' ' | '!' | '"' | '#' | '$' | '%' | '&' | "'" | '(' | ')' | '*' | '+' | ' ,' | '−' | '.' | '/' | '0' | '1' | '2' | '3' | '4' | '5' | '6' | '7' |
'8' | '9' | ' : ' | ';' | '<' | '=' | '>' | '?' | '@' | 'A' | 'B' | 'C' | 'D' | 'E' | 'F' | 'G' | 'H' | 'I' | 'J' | 'K' | 'L' | 'M' | 'N' |
'O' | 'P' | 'Q' | 'R' | 'S' | 'T' | 'U' | 'V' | 'W' | 'X' | 'Y' | 'Z' | '[' | '＼' | ']' | '^' | '' | '' | 'a' | 'b' | 'c' | 'd' | 'e' | 'f' |
'g' | 'h' | 'i' | 'j' | 'k' | 'l' | 'm' | 'n' | 'o' | 'p' | 'q' | 'r' | 's' | 't' | 'u' | 'v' | 'w' | 'x' | 'y' | 'z' | '[{' | ' | ' | '}]' | '~'
(*ここで用いる文字とは,スペース若しくは94あるASCII (American National Standard Code for
Informa-tion Interchange) コード文字である。7ビットASCII, ANSI X3.4-1986は,情報標準−情
報処理−情報交換IS0 7ビットコード文字セット,ISO 646 : 1983の米国版である。ISO 646の他
の版では '#', '$', '@', '[', '＼', '] ', '^', '', '[{', '|', '}] ', '~' を他の文字で置き換え
てもよい。*);
検出粒子電荷=整数;
注釈行=テキスト行;
対応変数ラベル=テキスト行;
対応変数単位=単位;
カレンダー日=整数;
十進数=[符号],[{数字}, '.'],{数字}−
(*後ろに続くものがない負号は「十進数」の数字が少なくとも一つ要ることを示す。*);
微分幅=実数;
数字= '0' | '1' | '2' | '3' | '4' | '5' | '6' | '7' | '8' | '9';
実験識別子=テキスト行;
実験終了符= 'end of experiment',改行;
フォーマット識別子= 'VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May4',
改行;
時=整数;
機関識別子=テキスト行;
装置型式識別子=テキスト行;
整数=[符号],[数字]−,改行;
(*「整数」の値の範囲は,−1E37から1E37までの範囲でなければならない。*);
分光器投射レンズ倍率=実数;
データ最大値=実数;
データ最小値=実数;
分時刻=整数;
月時刻=整数;
追加数値パラメータ数=0以上の整数;
スパッタイオン又はスパッタ原子の原子数=1以上の整数;
ブロック数=1以上の整数;
グリニジ標準時差=実数;
ブロック注釈行数=0以上の整数;
注釈行数=0以上の整数;
データ点数=1以上の整数;
ブロックデータ測定繰り返し回数=1以上の整数;
――――― [JIS K 0141 pdf 45] ―――――
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JIS K 0141:2000の引用国際規格 ISO 一覧
- ISO 14976:1998(IDT)
JIS K 0141:2000の国際規格 ICS 分類一覧
- 35 : 情報技術.事務機械 > 35.240 : 情報技術(IT)の応用 > 35.240.70 : 自然科学へのITの応用