JIS K 0166:2011 表面化学分析―高エネルギー分解能をもつオージェ電子分光器による元素分析及び化学結合状態分析のためのエネルギー軸の校正方法 | ページ 7

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                                                                                                                                 K 0166 : 2011
                                                                  附属書JA
                                                                   (参考)
                                                     JISと対応国際規格との対比表
                                                                         ISO 17974:2002 Surface chemical analysis−High-resolution Auger electron
     JIS K 0166:2011 表面化学分析−高エネルギー分解能をもつオージェ電子分光器
     による元素分析及び化学結合状態分析のためのエネルギー軸の校正方法    spectrometers−Calibration of energy scales for elemental and chemical-state analysis
     (I)   JISの規定                       (II)  (III)国際規格の規定                                                    (V)   JISと国際規格との技
                                                                         (IV)   JISと国際規格との技術的差異の箇条ごとの評
                                        国際                             価及びその内容                              術的差異の理由及び今後の
                                        規格                                                                         対策
      箇条番号           内容                  箇条         内容         箇条ごと          技術的差異の内容
                                        番号
      及び題名                                 番号                      の評価
     1 適用範囲 表面の元素及び化学結合        1      JISとほぼ同じ       変更     オージェ電子分光器でプローブとして ISO 17974の見直しの際に
                状態の分析に使用するオ                                                                               変更を要請する。
                                                                                  使用する電子線は,加速電圧(kV)で表
                ージェ電子分光器のエネ                                            記されるのが普通であり,エネルギー単
                ルギー軸を校正する方法                                            位では計測は困難であるために,単位を
                について規定                                                      keVからkVに変更する。技術的内容に
                                                                                  差異はない。
     6.5 分光器 分光器の操作について規        6.5    JISとほぼ同じ       変更     オージェ電子分光器でプローブとして ISO 17974の見直しの際に
     の操作     定                                                                                                   変更を要請する。
                                                                                  使用する電子線は,加速電圧(kV)で表
                                                                                  記されるのが普通であり,エネルギー単
                                                                                  位では計測は困難であるために,単位を
                                                                                  keVからkVに変更する。技術的内容に
                                                                                  差異はない。
     6.6 最初及 分光器のエネルギー軸の        6.6    JISとほぼ同じ       変更     運動エネルギーの再現性の“再現性”に         −
     びその次か 校正手順についての規定                                            対応する対応規格での表記は,繰返し性
     らの校正手                                                                   (repeatability)であるが,内容から再現
     順の選択                                                                     性(reproducibility)に変更した。
                                                                                  技術的内容に差異はない。
     6.10.2     運動エネルギーの直線性        6.10.2 JISとほぼ同じ       変更     対応国際規格では,式(6)の最後の項はISO 17974の見直しの際に
                の点検のための,直線性の                                                                             変更を要請する。
                                                                                  “−0.644Δ4”となっていたが,理論上Δ4
                                                                                                                                              K0
                誤差の算出方法について                                            ではなく,Δ3であることから変更した。
                                                                                                                                                 16
                規定                                                              技術的内容に差異はない。
                                                                                                                                                   6 : 2011
                                                                                                                                                  8

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    K 0166 : 2011
                                                                                                                                              K0
                                                                                                                                                  8
     (I)   JISの規定                       (II)  (III)国際規格の規定                                                    (V)   JISと国際規格との技
                                                                         (IV)   JISと国際規格との技術的差異の箇条ごとの評
                                        国際
                                                                                                                                                 1
                                                                         価及びその内容                              術的差異の理由及び今後の
                                                                                                                                                  66
                                        規格                                                                         対策
                                                                                                                                                     : 2
      箇条番号           内容                  箇条         内容         箇条ごと          技術的差異の内容
                                        番号
                                                                                                                                                       0
      及び題名                                 番号                      の評価
                                                                                                                                                        11
     6.11.3     校正誤差を定期的に決め        6.11.3 JISとほぼ同じ       変更                                        ISO 17974の見直しの際に
                                                                                  Ecorrの説明が補正した結合エネルギーと
                るための手順について規                                                                               変更を要請する。
                                                                                  なっていたが,間違いのため“補正した
                定                                                                運動エネルギー”に変更した。技術的内
                                                                                  容に差異はない。
     JISと国際規格との対応の程度の全体評価 : ISO 17974:2002,MOD
     注記1 箇条ごとの評価欄の用語の意味は,次による。
            − 変更  国際規格の規定内容を変更している。
     注記2 JISと国際規格との対応の程度の全体評価欄の記号の意味は,次による。
            − MOD  国際規格を修正している。