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Z 8126-1 : 2021
番号 用語 定義 量記号 単位 対応英語
1328 余弦則 静止した壁面の微小面積dSに入射した気体分子 cosine law
のdSから見た微小立体角dωの方向に散乱される
確率が,dSとdωとを結んだ直線とdSの表面法線
がなす角θの余弦(cosθ)とに比例するという法則
注釈1 壁面での気体分子の散乱が,余弦則に従
わない場合もある。例えば,壁面の表面
法線に対して,入射角と反射角とが等し
くなる方向に散乱される場合を鏡面反
射と呼ぶ。
注釈2 多くの実表面で,余弦則がおおむね成立
していることが確かめられている。その
ため,真空科学においては,壁面での分
子散乱が余弦則に従うことを仮定する
ことが多い。
注釈3 余弦則は,気体分子の散乱現象だけでな
く,表面に吸着した気体分子が脱離する
とき,及びオリフィスから気体分子が放
出されるときの方向分布に対しても,適
用される場合がある。
3.4 真空技術における表面及びバルクにおける現象を定義する用語
番号 用語 定義 量記号 単位 対応英語
1401 収着 固体又は液体による気体又は蒸気分子の取込み sorption
(3.4.1) 注釈1 吸着及び吸収の二つの現象を含んでい
る。
注釈2 この場合の気体又は蒸気分子を収着質
(sorbate),固体又は液体を収着媒
(sorbent)という。
1402 吸着 気体又は蒸気分子が固体又は液体の表面にとどま adsorption
(3.4.2) っている現象
注釈1 この場合の気体又は蒸気分子を吸着質
(adsorbate),固体又は液体を吸収媒
(adsorbent)という。
1403 物理吸着 化学結合を伴わない物理的な力による吸着 physisorption
(3.4.3)
1404 化学吸着 化学結合を伴う吸着 chemisorption
(3.4.4)
1405 吸収 気体又は蒸気分子が固体又は液体の内部に取り込 absorption
(3.4.5) まれる現象
注釈1 この場合の気体又は蒸気分子を吸収質
(absorbate),固体又は液体を吸収媒
(absorbent)という。
1406 熱的適応係 入射粒子と表面との間のエネルギーの授受の程度 愀 energy (thermal)
(3.4.6) 数, を表す係数 accommodati
エネルギー 注釈1 より正確には,入射粒子が表面と熱平衡 on coefficient
適応係数 に達した後に表面から空間に戻ると仮
定した場合に授受される平均エネルギ
ーに対する,実際に授受される平均エネ
ルギーの比である。
――――― [JIS Z 8126-1 pdf 11] ―――――
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番号 用語 定義 量記号 単位 対応英語
1407 運動量適応 入射粒子と表面との間の運動量の授受の程度を表 momentum
(3.4.7) 係数 す係数 accommodati
注釈1 より正確には,入射粒子が表面と熱平衡 on coefficient
に達した後に表面から空間に戻ると仮
定した場合に授受される平均運動量に
対する,実際に授受される平均運動量と
の比である。
1408 入射頻度 表面の単位面積当たりに単位時間に入射する分子 m-2 s-1 impingement
(3.4.8) の数 rate
1409 凝縮速度 表面の単位面積当たりに単位時間に凝縮する分子 condensation
(3.4.9) の数(又は物質の量,質量) rate
注釈1 単に,“凝縮速度”といった場合,単位
面積当たりに規格化されているかは,明
確ではない。
1410 付着速度 表面の単位面積当たりに単位時間に吸着される分 sticking rate
(3.4.10) 子の数(又は物質の量,質量)
注釈1 単に,“付着速度”といった場合,単位
面積当たりに規格化されているかは,明
確ではない。
1411 付着確率 付着速度と入射頻度又は入射速度との比 Ps sticking
(3.4.11) 注釈1 付着確率は無次元量である。 probability
1412 (平均)滞 分子が表面に収着状態で束縛されている平均時間 τ s residence time
(3.4.12) 留時間,
(平均)
滞在時間
1413 表面移動 表面上における分子の移動 migration
(3.4.13)
1414 脱離 収着されていた気体又は蒸気分子の放出 desorption
(3.4.14) 注釈1 脱離は,自発的である場合と,外部から
の物理過程によって促進される場合と
がある。
1415 脱ガス 人為的な操作による物質からの気体の放出 degassing
(3.4.15)
1416 気体放出 物質からの自発的な気体の放出 outgassing
(3.4.16)
1417 蒸発速度 表面の単位面積から単位時間に蒸発する分子の数 m-2 s-1, (specific)
(3.4.17) (又は物質の量若しくは質量) mol m-2 s-1,evaporation
注釈1 単に,“蒸発速度”といった場合,単位 kg m-2 s-1 rate
面積当たりに規格化されているかは,明
確ではない。
1418 気体放出速 物質の単位面積から単位時間に放出される気体の Pa m s-1,(specific)
(3.4.18) 度,脱離 量(pV値)又は分子の数 m-2 s-1 desorption
速度,脱 注釈1 単に,“気体放出速度”,“脱離速度”又 rate,
ガス速度 は“脱ガス速度”といった場合,面積で outgassing rate,
規格化されているかは,明確ではない。 degassing rate
1419 透過 気体が固体内を通過する現象 permeation
(3.4.19) 注釈1 透過には,吸着,溶解,拡散,脱離など
の過程が含まれる。
――――― [JIS Z 8126-1 pdf 12] ―――――
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番号 用語 定義 量記号 単位 対応英語
1420 透過率 P
固体内を通過する気体の流量(モル流量)を,壁の permeability
mol/(s Pa),
(3.4.20) 各々の側における圧力の関数である物理量で除し mol/(s Pa1/2)
た値
注釈1 この関数の形は,実際の透過に伴う物理
的諸過程に依存する。
1421 透過係数 透過率と障壁の厚さとの積をその面積で除した値P mol m/ permeability
(3.4.21) (m2 s Pa), coefficient
mol m/
(m2 s Pa1/2)
4 記号及び略語
記号 番号 用語 英語 代表的な単位
愀 1406 熱的適応係数,エネルギー適応係数 energy accommodation coefficient 1
C,U 1324 コンダクタンス conductance m3/s (=103 l/s)
Ci,Ui 1325 固有コンダクタンス intrinsic conductance m3/s (=103 l/s)
CN,UN 1323 分子流コンダクタンス molecular conductance m3/s (=103 l/s)
D 1306 拡散係数 diffusion coefficient m2 s-1
pV 1212 気体の量,pV値 quantity of gas Pa m3
K,Kn 1302 クヌーセン数 Knudsen number 1
l, 1301 平均自由行程 mean free path m
n 1208 気体分子密度 number density of molecules m-3
p 1100 圧力 pressure Pa
P 1421 透過係数 permeability coefficient mol m/(m2 s Pa),
mol m/(m2 s Pa1/2)
P 1420 透過率 permeability mol/(s Pa),
mol/(s Pa1/2)
PC 1322 通過確率 transmission probability 1
pL 1204 飽和蒸気圧 saturation vapour pressure Pa
PS 1411 付着確率 sticking probability 1
qpV 1317 (気体の)流量,pV値流量 throughput Pa m3 s-1又はPa l s-1
qout 1418 気体放出速度 desorption (outgassing) rate Pa m s-1
qm 1318 質量流量 mass flow rate kg s-1
qN 1315 分子流量 molecular flow rate s-1
qV 1319 体積流量 volume flow rate m3 s-1
q 1320 モル流量 molar flow rate mol s-1
v,u 1210 流速 m s-1
bulk velocity, hydrodynamic velocity,
local flow velocity
w 1326 抵抗 resistance m-3 s
1303 希薄係数,希薄パラメータ rarefaction parameter 1
T 1211 温度 temperature K
1408 入射頻度 impingement rate m-2 s-1
1304 衝突頻度 collision rate s-1
1209 単位質量密度 unitary mass density kg m-3 Pa-1
1407 運動量適応係数 momentum accommodation coefficient 1
1412 (平均)滞留時間, residence time s
(平均)滞在時間
――――― [JIS Z 8126-1 pdf 13] ―――――
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附属書JA
(参考)
圧力の単位(従来単位とSI単位との比較)
標準大気圧(atm)
1 atm=101 325 Pa
トル(Torr)
1 Torr≒133.322 Pa
バール(bar)
1 bar=105 Pa
水銀柱ミリメートル(mmHg)
1 mmHg≒133.322 Pa
重量キログラム毎平方センチメートル(kgf cm-2)
1 kgf cm-2=98 066.5 Pa
重量ポンド平方インチ(lbf in-2, psi)
1 lbf in-2≒6 894.76 Pa
注記1 “=”は,厳密に等しいことを表す。
注記2 “≒”では,有効数字6桁に丸めた。
――――― [JIS Z 8126-1 pdf 14] ―――――
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附属書JB
(参考)
JISと対応国際規格との対比表
JIS Z 8126-1 ISO 3529-1:2019,(MOD)
a) JISの箇条 b) 対応国際 c) 箇条ご d) JISと対応国際規格との技術的差e) JISと対応国際規格と
番号 規格の対 との評 異の内容及び理由 の技術的差異に対する
応する箇 価 今後の対策
条番号
箇条3 箇条3 追加 ISO 3529-1:1981には記載されていた
次回の対応国際規格の見直
1101 気体の標 − ものの,対応国際規格では削除されしの際,修正を提案する。
準状態 た。議論の結果,ISO 3529-1:1981の内
容を修正して,収載することにした。
1103 真空の領 3.1.2 一致 対応国際規格では,一つの項目の中JISを理解しやすくするた
域 めであり,対応国際規格に
で,表を用いてまとめられているもの
1104 低真空 を,このJISでは分けて定義した。 反映させる予定はない。
1105 中真空
1106 高真空
1107 超高真空
1108 極高真空
1104 低真空 3.1.2 追加 注釈1に,“粗引き真空ポンプへの導
次回の対応国際規格の見直
しの際,修正を提案する。
管の内径を30 mm程度とした場合,”
を追記した。
1105 中真空 3.1.2 追加 注釈1に,“導管の内径を30 mm程度次回の対応国際規格の見直
1106 高真空 とした場合,”を追記した。 しの際,修正を提案する。
1106 高真空 3.1.2 追加 注釈1に,“アルミニウム合金”を追
次回の対応国際規格の見直
記した。 しの際,修正を提案する。
1107 超高真空 3.1.2 追加 注釈1に,“アルミニウム合金”及び
次回の対応国際規格の見直
“無酸素銅”を追記した。 しの際,修正を提案する。
1108 極高真空 3.1.2 追加 注釈1の“アルミニウム”を“アルミ
次回の対応国際規格の見直
しの際,修正を提案する。
ニウム合金”に修正した。“多くの場
合”を追記した。
1109 超清浄真 3.1.3 追加 次回の対応国際規格の見直
“抑制すべき”という語を,定義及び
空 注釈1に追記した。また,注釈2に,しの際,修正を提案する。
“酸素”を追記した。
1111 圧力 3.1.4.2 追加 注釈3及び注釈4を追記した。これらJISを理解しやすくするた
は,ISO 3529-1:1981には記載されて
めであり,対応国際規格に
反映させる予定はない。
いたものの,対応国際規格で削除され
た内容である。
1113 全圧 3.1.6 変更 対応国際規格の定義が冗長であるた次回の対応国際規格の見直
しの際,修正を提案する。
め,定義の一部を注釈1とした。内容
に差はない。
1210 流速 3.2.10 追加 注釈2及び対応する英語を追記した。 次回の対応国際規格の見直
しの際,修正を提案する。
1212 気体の 3.2.12 変更 注釈3の内容を変更した。 次回の対応国際規格の見直
量,pV値 しの際,修正を提案する。
削除 JISを理解しやすくするた
perfect gas statistically at restの訳を付
けなかった。 めであり,対応国際規格に
反映させる予定はない。
――――― [JIS Z 8126-1 pdf 15] ―――――
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JIS Z 8126-1:2021の引用国際規格 ISO 一覧
- ISO 3529-1:2019(MOD)
JIS Z 8126-1:2021の国際規格 ICS 分類一覧
- 23 : 一般的に利用される流体システム及びその構成要素 > 23.160 : 真空技術
- 01 : 総論.用語.標準化.ドキュメンテーション > 01.040 : 用語集 > 01.040.23 : 流体システム及び構成要素(用語集)