この規格 プレビューページの目次
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
序文
ISO (国際標準化機構) は、各国の標準化団体 (ISO メンバー団体) の世界的な連合です。国際規格の作成作業は、通常、ISO 技術委員会を通じて行われます。技術委員会が設立された主題に関心のある各会員団体は、その委員会に代表される権利を有します。 ISOと連携して、政府および非政府の国際機関もこの作業に参加しています。 ISO は、電気技術の標準化に関するすべての問題について、国際電気標準会議 (IEC) と緊密に協力しています。
この文書の開発に使用された手順と、今後の維持のために意図された手順は、ISO/IEC 指令で説明されています。 1. 特に、さまざまなタイプの ISO 文書に必要なさまざまな承認基準に注意する必要があります。この文書は、ISO/IEC 指令の編集規則に従って作成されました。 2 ( www.iso.org/directives を参照)
このドキュメントの要素の一部が特許権の対象となる可能性があることに注意してください。 ISO は、そのような特許権の一部または全部を特定する責任を負わないものとします。ドキュメントの開発中に特定された特許権の詳細は、序文および/または受信した特許宣言の ISO リストに記載されます ( www.iso.org/patents を参照)
このドキュメントで使用されている商号は、ユーザーの便宜のために提供された情報であり、保証を構成するものではありません。
規格の自発的な性質の説明、適合性評価に関連する ISO 固有の用語と表現の意味、および技術的貿易障壁 (TBT) における世界貿易機関 (WTO) の原則への ISO の準拠に関する情報については、以下を参照してください。
www.iso.org/iso/foreword.html .
この文書は、技術委員会 ISO/TC 201, 表面化学分析、小委員会 SC 8, グロー放電分光法によって作成されました。
この第 3 版は、マイナー リビジョンを構成する第 2 版 (ISO 14707:2015) を取り消して置き換えます。
前作からの主な変更点は以下の通り。
- 編集ミスを修正しました。
序章
グロー放電発光分析 (GD-OES) は、固体サンプルの元素組成を決定するために使用されます。 GD-OES は、バルクまたは深さプロファイル分析に使用できます。バルク分析では、試料への深さによる元素組成の変化は無視できると想定されます。対照的に、深さプロファイル分析の主な目的は、通常、このような組成の変化に関する情報を取得することです。 GD-OES 深さプロファイリングに適した層の厚さは、数ナノメートルから約 100 マイクロメートルの範囲です。クレーター内の濃度の平均が得られるため、GD-OES の横方向の解像度は陽極の内径に対応します。
どの機器分析方法にも当てはまることですが、GD-OES 分析の品質は、機器の正しい最適化と操作に大きく依存します。このドキュメントは、GD-OES 分析が可能な限り最高の品質であることを保証するために従うべき実践のガイドラインを提供します。
1 スコープ
このドキュメントは、GD-OES 分析のバルクおよび深度プロファイリングに適用できるガイドラインを提供します。で説明されているガイドラインは、硬質固体の分析に限定されており、粉末、気体、または溶液の分析はカバーしていません。これらのガイドラインは、現在および将来利用できる特定の標準的な方法と組み合わせて、機器の規制と測定条件の管理を可能にすることを目的としています。
何年にもわたっていくつかのタイプのグロー放電発光光源が開発されてきましたが、中空アノードを備えたグリム型は、現在、DC および RF 光源の両方に使用されているグロー放電発光デバイスの大部分を占めています。ただし、カソード接点は、多くの場合、オリジナルのグリム設計のように前面ではなく、マーカス型ソースなどのサンプルの背面に配置されます。に含まれるガイドラインは、 およびその他のソース設計に等しく適用できます。グリム タイプのソースは例としてのみ使用されています。
2 参考文献
- 以下のドキュメントは、その内容の一部またはすべてがこのドキュメントの要件を構成するように、テキスト内で参照されています。日付のある参考文献については、引用された版のみが適用されます。日付のない参照については、参照文書の最新版 (修正を含む) が適用されます。
- ISO 3497, 金属コーティング — コーティングの厚さの測定 — X 線分光法
- ISO 5725-1, 測定方法と結果の正確さ (真実性と精度) — 1: 一般原則と定義
- ISO 5725-2, 測定方法と結果の正確さ (真実性と精度) — 2：標準的な測定方法の再現性と再現性を決定するための基本的な方法
- ISO 5725-3, 測定方法と結果の正確さ (真実性と精度) — 3: 測定方法と結果の標準測定方法の精度 (真度と精度) の中間尺度 — 3: 標準的な測定方法の精度の中間測定
- ISO 5725-4, 測定方法と結果の正確さ (真実性と精度) — 4: 標準的な測定方法の真偽を判断するための基本的な方法
3 用語と定義
このドキュメントの目的のために、ISO 3497, ISO 5725-1, ISO 5725-2, ISO 5725-3, および ISO 5725-4 に記載されている用語と定義が適用されます。
ISO と IEC は、次のアドレスで標準化に使用する用語データベースを維持しています。
参考文献
| [1] | ISO 11505, 表面化学分析 — グロー放電発光分析による定量的組成深度プロファイリングの一般手順 |
| [2] | ISO 18115‑1, 表面化学分析 — 語彙 — 1: 一般用語と分光法で使用される用語 |
| [3] | 1989 年 5 月 23 日の電磁適合性 OJ L 139 に関する加盟国の法律の概算に関する 1989 年 5 月 3 日の理事会指令 89/336/EEC |
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are described in the ISO/IEC Directives, 1. In particular, the different approval criteria needed for the different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the editorial rules of the ISO/IEC Directives, 2 (see www.iso.org/directives ).
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or on the ISO list of patent declarations received (see www.iso.org/patents ).
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not constitute an endorsement.
For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO's adherence to the World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT), see
www.iso.org/iso/foreword.html .
This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 201, Surface chemical analysis, Subcommittee SC 8, Glow discharge spectroscopy.
This third edition cancels and replaces the second edition (ISO 14707:2015), of which it constitutes a minor revision.
The main changes compared to the previous edition are as follows:
- Editorial mistakes have been corrected.
Introduction
Glow discharge optical emission spectrometry (GD-OES) is used to determine the elemental composition of solid samples. GD-OES can be used for either bulk or depth profile analysis. In bulk analysis, changes in elemental composition with depth into the specimen are assumed to be negligible. In contrast, the main goal of depth profile analysis is usually to gain information concerning such changes of composition. Layer thicknesses amenable to GD-OES depth profiling range from a few nanometres to approximately one hundred micrometres. An average of the concentration within the crater will be obtained and therefore the lateral resolution of GD-OES corresponds to the inner diameter of the anode.
As is true for any instrumental analysis method, the quality of a GD-OES analysis depends markedly on the correct optimization and operation of the instrumentation. This document provides guidelines of practice that are to be followed to ensure that GD-OES analyses are of the highest possible quality.
1 Scope
This document provides guidelines that are applicable to bulk and depth profiling GD-OES analyses. The guidelines discussed herein are limited to the analysis of rigid solids, and do not cover the analysis of powders, gases or solutions. Combined with specific standard methods which are available now and, in the future, these guidelines are intended to enable the regulation of instruments and the control of measuring conditions.
Although several types of glow discharge optical emission sources have been developed over the years, the Grimm type with a hollow anode accounts for a very large majority of glow discharge optical emission devices currently in use both for dc and rf sources. However, the cathode contact is often located at the back of the sample, in e.g. the Marcus type source, rather than at the front as in the original Grimm design. The guidelines contained herein are equally applicable to both and other source designs and the Grimm type source is used only as an example.
2 Normative references
- The following documents are referred to in the text in such a way that some or all of their content constitutes requirements of this document. For dated references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced document (including any amendments) applies.
- ISO 3497, Metallic coatings — Measurement of coating thickness — X-ray spectrometric methods
- ISO 5725-1, Accuracy (trueness and precision) of measurement methods and results — 1: General principles and definitions
- ISO 5725-2, Accuracy (trueness and precision) of measurement methods and results — 2: Basic method for the determination of repeatability and reproducibility of a standard measurement method
- ISO 5725-3, Accuracy (trueness and precision) of measurement methods and results — 3: Intermediate measures of the precision of a standard measurement method(trueness and precision) of measurement methods and results — 3: Intermediate measures of the precision of a standard measurement method
- ISO 5725-4, Accuracy (trueness and precision) of measurement methods and results — 4: Basic methods for the determination of the trueness of a standard measurement method
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 3497, ISO 5725-1, ISO 5725-2, ISO 5725-3 and ISO 5725-4 apply.
ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:
Bibliography
| [1] | ISO 11505, Surface chemical analysis — General procedures for quantitative compositional depth profiling by glow discharge optical emission spectrometry |
| [2] | ISO 18115‑1, Surface chemical analysis — Vocabulary — 1: General terms and terms used in spectroscopy |
| [3] | Council Directive 89/336/EEC of 3 May 1989 on the approximation of the laws of the Member States relating to Electromagnetic Compatibility OJ L 139 of 23 May 1989 |