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ISO 21360-3:2019 真空技術—真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法—パート3：機械式ブースター真空ポンプの特定のパラメーター | ページ 2

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

序文

ISO (国際標準化機構) は、国家標準化団体 (ISO メンバー団体) の世界的な連合体です。国際規格の作成作業は通常、ISO 技術委員会を通じて行われます。技術委員会が設立された主題に関心のある各会員団体は、その委員会に代表される権利を有します。政府および非政府の国際機関も ISO と連携してこの作業に参加しています。 ISO は、電気技術の標準化に関するあらゆる事項について国際電気標準会議 (IEC) と緊密に協力しています。

この文書の作成に使用される手順と、そのさらなる保守を目的とした手順は、ISO/IEC 指令第 1 Part に記載されています。特に、さまざまなタイプの ISO 文書に必要なさまざまな承認基準に注意する必要があります。この文書は、ISO/IEC 指令Part の編集規則に従って起草されました ( www.iso.org/directives を参照)

この文書の要素の一部が特許権の対象となる可能性があることに注意してください。 ISO は、そのような特許権の一部またはすべてを特定する責任を負わないものとします。文書の作成中に特定された特許権の詳細は、序論および/または受け取った特許宣言の ISO リストに記載されます ( www.iso.org/patents を参照)

本書で使用されている商号は、ユーザーの便宜のために提供された情報であり、推奨を構成するものではありません。

規格の自主的な性質の説明、適合性評価に関連する ISO 固有の用語と表現の意味、および貿易の技術的障壁 (TBT) における世界貿易機関 (WTO) 原則への ISO の準拠に関する情報については、 www を 参照してください。 .iso.org/iso/foreword.html

この文書は ISO/TC 112, 真空技術技術委員会によって作成されました。

ISO 21360 シリーズのすべての部品のリストは、ISO の Web サイトでご覧いただけます。

導入

この文書は、メカニカルブースター真空ポンプの性能特性を測定するための標準的な方法を指定します。この文書は、真空ポンプの性能データの測定に関する一般的な説明を提供する ISO 21360-1 を補完するものです。 ISO 21360-1 と矛盾する場合、この文書が優先されます。

この文書の目的は、メカニカルブースター真空ポンプの性能特性の測定が、可能な限り同一の手順および同一の条件で実行されることを保証することです。その結果、異なる製造業者または異なる研究所で実施された測定値、および製造業者の文献に引用された性能の記述は、ユーザーと製造業者の両方の利益のために、適切に比較可能な基準に基づいて取得されることを目的としています。

1 スコープ

この文書は、メカニカルブースター真空ポンプの最大許容圧力差、有効圧縮比、ゼロスループットでの圧縮比、およびオーバーフローバルブ圧力差を測定するための方法と特別な要件を規定します。

これは、ガス冷却メカニカルブースター真空ポンプや複数のメカニカルブースター真空ポンプシステムなど、中真空または低真空用途に使用されるメカニカルブースター真空ポンプに適用されます。

通常の容積式真空ポンプとは異なるメカニカルブースターの特有の特性について説明します。最大許容圧力差 Δ p max 、有効圧縮比K eff 、ゼロスループットでの圧縮比K 0 、およびオーバーフローバルブ圧力差 Δ p 1は、メカニカルブースタ真空ポンプの性能の特殊な特性です。

2 規範的参照

以下の文書は、その内容の一部またはすべてがこの文書の要件を構成する形で本文中で参照されています。日付が記載された参考文献については、引用された版のみが適用されます。日付のない参照については、参照文書の最新版 (修正を含む) が適用されます。

  • ISO 3529-1, 真空技術 — 語彙 — Part 1: 一般用語
  • ISO 3529-2, 真空技術 — 語彙 — Part 2: 真空ポンプと関連用語
  • ISO 3567, 真空計 — 基準ゲージとの直接比較による校正
  • ISO 21360-1:2012, 真空技術 — 真空ポンプの性能を測定するための標準方法 — Part 1: 概要

3 用語と定義

この文書の目的上、ISO 3529-1 および ISO 3529-2 に記載されている用語と定義および以下が適用されます。

ISO と IEC は、標準化に使用する用語データベースを次のアドレスで維持しています。

3.1

メカニカルブースター真空ポンプ

中真空または低真空用途におけるポンピングシステムのスループットを増加させるため、またはシステム内の圧縮を改善して体積流量を減少させるために、バッキングポンプと高真空ポンプまたはプロセスチャンバーの間で使用される機械原理に基づく真空ポンプバックポンプに必要

注記 1:高性能を得るために、複数のメカニカルブースタ真空ポンプをカスケード接続することができます。

注記 2:用途によっては、ガスの再循環にもメカニカルブースター真空ポンプが使用されます。

[出典:ISO 3529-2:1981, 2.4.6, 修正 - 「機械的原理に基づく」および「またはプロセスチャンバー」という表現が追加され、「中程度の圧力」が「中真空または粗圧」に置き換えられました。 「真空の適用」、「圧力ステージ」は「圧縮」に置き換えられました。]

3.2

オーバーフローバルブの差圧

p ​

弁が開く直前の背圧p 3と入口圧力p 1との圧力差

3.3

最大許容圧力差

p max

試験ポンプが劣化や損傷なしに連続運転下で耐えることができる、背圧p 3と入口圧力p 1の間の最大圧力差。

(1)

3.4

実効圧縮率

K ​

メカニカルブースタ真空ポンプの入口圧力p 1に対する背圧p 3の比

(2)

参考文献

1ISO/IEC Guide 98-3, 測定の不確かさ — Part 3: 測定における不確かさの表現に関するガイド (GUM:1995)
2ISO 1461, 図の図記号
3ISO/IEC 17025, 試験および校正機関の能力に関する一般要件
4ISO 21360-2:2012, 真空技術 — 真空ポンプの性能を測定するための標準方法 — Part 2: 容積式真空ポンプ

Foreword

ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.

The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www.iso.org/directives ).

Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or on the ISO list of patent declarations received (see www.iso.org/patents ).

Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not constitute an endorsement.

For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO's adherence to the World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT) see www.iso.org/iso/foreword.html .

This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 112, Vacuum technology.

A list of all parts in the ISO 21360 series can be found on the ISO website.

Introduction

This document specifies standard methods for measuring the performance characteristics of mechanical booster vacuum pumps. This document complements ISO 21360-1, which provides a general description of the measurement of performance data of vacuum pumps. This document takes precedence in the event of a conflict with ISO 21360-1.

The purpose of this document is to ensure that measurements of the performance characteristics of mechanical booster vacuum pumps are, as far as possible, carried out by identical procedures and under identical conditions. As a result, measurements conducted by different manufacturers or in different laboratories, and statements of performance quoted in manufacturers’ literature, are intended to be obtained on a properly comparable basis to the benefit of both user and manufacturer.

1 Scope

This document specifies methods and special requirements for measuring the maximum tolerable pressure difference, effective compression ratio, compression ratio with zero throughput and overflow valve pressure difference of mechanical booster vacuum pumps.

It applies to mechanical booster vacuum pumps employed for medium vacuum or rough vacuum applications including gas-cooled mechanical booster vacuum pump and multiple mechanical booster vacuum pump systems.

It covers particular characteristics of mechanical boosters that are different from those of the usual positive displacement vacuum pumps. Maximum tolerable pressure difference Δpmax, effective compression ratio Keff, compression ratio with zero throughput K0 and overflow valve pressure difference Δp1 are special characteristics of the performance of mechanical booster vacuum pumps.

2 Normative references

The following documents are referred to in the text in such a way that some or all of their content constitutes requirements of this document. For dated references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced document (including any amendments) applies.

  • ISO 3529-1, Vacuum technology — Vocabulary — Part 1: General terms
  • ISO 3529-2, Vacuum technology — Vocabulary — Part 2: Vacuum pumps and related terms
  • ISO 3567, Vacuum gauges — Calibration by direct comparison with a reference gauge
  • ISO 21360-1:2012, Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 1: General description

3 Terms and definitions

For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 3529-1 and ISO 3529-2 and the following apply.

ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:

3.1

mechanical booster vacuum pump

vacuum pump based on mechanical principles used between the backing pump and the high vacuum pump or process chamber to increase the throughput of the pumping system in medium vacuum or rough vacuum application, or to improve the compression within the system and so reduce the volume flow rate needed for the backing pump

Note 1 to entry: Several mechanical booster vacuum pumps may be cascaded for higher performance.

Note 2 to entry: In some applications, mechanical booster vacuum pumps are used for gas recirculation as well.

[SOURCE:ISO 3529-2:1981, 2.4.6, modified — The expressions “based on mechanical principles” and “or process chamber” have been added, “a medium range of pressure” has been replaced by “medium vacuum or rough vacuum application”, “ the pressure stages” has been replaced by “the compression”.]

3.2

overflow valve pressure difference

Δp1

pressure difference between the backing pressure p3 and the inlet pressure p1 immediately before the valve opens

3.3

maximum tolerable pressure difference

Δpmax

maximum pressure difference between the backing pressure p3 and the inlet pressure p1 that the test pump is able to withstand under continuous operation without any deterioration or damage

(1)

3.4

effective compression ratio

Keff

ratio of the backing pressure p3 to the inlet pressure p1 of the mechanical booster vacuum pump

(2)

Bibliography

1ISO/IEC Guide 98-3, Uncertainty of measurement — Part 3: Guide to the expression of uncertainty in measurement (GUM:1995)
2ISO 14617 (all parts), Graphical symbols for diagrams
3ISO/IEC 17025, General requirements for the competence of testing and calibration laboratories
4ISO 21360-2:2012, Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 2: Positive displacement vacuum pumps

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