ISO 22489:2006 (W) マイクロビーム分析 — 電子プローブマイクロ分析 — 波長分散型X線分光法を使用したバルク試料の定量的ポイント分析

ISO22489:2006の規格概要

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Microbeam analysis — Electron probe microanalysis — Quantitative point analysis for bulk specimens using wavelength-dispersive X-ray spectroscopy

ISO 22489:2006は、電子プローブマイクロアナライザーまたは走査型電子顕微鏡のいずれかに取り付けられた波長分散分光計を使用した電子ビームによって生成されたX線の分析を通じて特定された、マイクロメートルサイズの試料中の元素の定量化の要件を指定します。顕微鏡:定量分析の原理、元素、質量分率、参照試料に関するこの手法の一般的な範囲、機器の一般的な要件、および試料の準備、実験条件の選択などの基本的な手順について説明します。 、測定、これらの分析およびレポート。これは、垂直入射ビームを使用した平坦で均質なバルク試料の定量分析を目的としています。機器またはデータ削減ソフトウェアの詳細な要件は指定されていません。オペレーターは、使用する製品のメーカーから、設置条件、操作の詳細な手順、機器の仕様などの情報を入手する必要があります。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。