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ISO 3669:2020 真空技術—ナイフエッジフランジの寸法 | ページ 2

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

序文

ISO (国際標準化機構) は、国家標準化団体 (ISO メンバー団体) の世界的な連合体です。国際規格の作成作業は通常、ISO 技術委員会を通じて行われます。技術委員会が設立された主題に関心のある各会員団体は、その委員会に代表される権利を有します。政府および非政府の国際機関も ISO と連携してこの作業に参加しています。 ISO は、電気技術の標準化に関するあらゆる事項について、国際電気標準会議 (IEC) と緊密に協力しています。

この文書の作成に使用される手順と、そのさらなる保守を目的とした手順は、ISO/IEC 指令Part 1 部に記載されています。特に、さまざまなタイプの ISO 文書に必要なさまざまな承認基準に注意する必要があります。この文書は、ISO/IEC 指令Part 2 部の編集規則に従って起草されました ( www.iso.org/directives を参照)

この文書の要素の一部が特許権の対象となる可能性があることに注意してください。 ISO は、かかる特許権の一部またはすべてを特定する責任を負わないものとします。文書の作成中に特定された特許権の詳細は、序論および/または受け取った特許宣言の ISO リストに記載されます ( www.iso.org/patents を 参照)

本書で使用されている商号は、ユーザーの便宜のために提供された情報であり、推奨を構成するものではありません。

規格の自主的な性質、適合性評価に関連する ISO 固有の用語と表現の意味、および貿易の技術的障壁 (TBT) における世界貿易機関 (WTO) 原則への ISO の準拠に関する情報については、以下を参照してください。 www.iso.org/iso/foreword.html

この文書は ISO/TC 112, 真空技術技術委員会によって作成されました。

この第 3 版は、マイナー リビジョンを構成する第 2 版 (ISO 3669:2017) を廃止し、置き換えるものです。前版と比較した変更点は以下の通りです。

  • タイトルが更新されました。
  • 第 4 条および表 1: 「 l 7 」は「 l 7 – パイプ接続の深さ」に変更されました。
  • 参考文献[4]が更新されました。

ISO 3669:2020 のこの修正バージョンには、次の修正が組み込まれています。

  • 図 2 では、ナイフエッジからフランジの表面までの垂直寸法が「0.98」から「0.65 ±0.05」に修正されています。

導入

この文書は第 2 版 (ISO 3669:2017) のマイナー改訂版であり、次の 2 つのシリーズの「ベイク可能」フランジを定義した第 1 版 (ISO 3669:1986) からの重要な技術的変更が含まれています。

  • 推奨シリーズとして、その主な寸法はすでに標準化されている非ベーク可能フランジ (ISO 1609 を参照) との互換性を保証します。
  • 一般的に使用されているフランジに対応する二次シリーズ。

この文書では 1 つのシリーズのみを指定しており、優先番号には依存しません。事実上、優先シリーズは廃止され、それによって二次シリーズが指定されたディメンションの唯一のセットになるよう促進されています。さらに、以前はセカンダリ シリーズであったもののいくつかの寸法が、一般的に使用されるフランジに対応するように変更されました。最後に、ナイフエッジ シール プロファイルの詳細な寸法が組み込まれています。

ただし、Varian によって開発されたオリジナルの ConFlat® 1フランジの寸法と公差は、この仕様の開発段階では利用できなかったことに注意してください。この文書の目的は、フランジの互換性を確保することです。すべての公差内に収まらない場合でも、Varian のオリジナル仕様に従って製造されたフランジは、この文書に従って製造されたフランジと互換性があると考えるのが合理的です。

1 スコープ

この文書では、大気圧から 10 -11 Pa 程度の圧力範囲の真空システムで使用される、固定または回転可能なボルト留めナイフエッジ フランジの寸法を指定します。

2 規範的参照

この文書には規範的な参照はありません。

3 用語と定義

この文書の目的上、次の用語と定義が適用されます。

ISO と IEC は、標準化に使用する用語データベースを次のアドレスで維持しています。

3.1

ナイフエッジフランジ

高真空および超高真空サービスに使用される金属シールフランジ

注記 1: 2 つのナイフエッジフランジの間に 1 つの金属ガスケットを挟み、これらをしっかりとボルトで締めることで真空気密接合が形成されます。シールは、同一の円形 (三角形の輪郭) ナイフエッジがボルトで固定されると形成されます。ナイフエッジ フランジの間に挟まれた変形可能な金属ガスケットがシール面を形成します。

注記 2:元々は ConFlat® フランジとして開発されました。ナイフエッジ フランジが広く継続的に使用されているため、これらは事実上の国際標準となり、この文書によって成文化されています。

3.2

呼び径

この値は、フランジを識別することと、フランジに収容できるチューブの実際の最大サイズを指定することを目的としています。

注記 1: 表 1 を参照。表 1 では、オリジナルのフランジをフランジの外径 (従来はインチ単位) で識別する慣例が維持されています。

3.3

漏れチェック溝

フランジの外周から金属ガスケット近くのシールゾーンへの微量ガスの自由な通過を促進するために、フランジのシール側に機械加工された溝

参考文献

1ISO 3, 優先番号 — 一連の優先番号
2ISO 28, 幾何製品仕様 (GPS) — 直線サイズの公差に関する ISO コード システム
3ISO 965-1, ISO 汎用メートルねじ - 公差 - Part 1: 原則と基本データ
4ISO 1609, 真空技術 — 非ナイフエッジフランジの寸法
5WHEELER, W. および CARLSON, M. Varian Associates, 米国カリフォルニア州パロアルト。超高真空フランジ、国内第8位トランス真空Symp. アメリカ真空協会、1961 年、1309-1318 ページ
6WHEELER, W. Varian Associates, パロアルト、カリフォルニア州、米国。メタルガスケットシールの理論と応用。 10位真空Symp.、米国真空協会、1963 年、159-165 ページ
7EDWARDS, D. Jr.、McCAFFERTY, D.、RIOS, L. ブルックヘブン国立研究所、米国ニューヨーク州アプトン。高温真空焼成後のナイフエッジフランジのシール。 J.Vac.科学テクノロジー。 1979 年 11/12 月、16 (6) pp. 2114-2115
8UNTERLERCHNER, W.CERN, 1211 Geneva 23, スイス。大型の超高真空システムにおける ConFlat ジョイントとその信頼性の限界に関するいくつかの改善が行われています。科学技術。 A.__ 1987 年 7 月/8 月、5(4) pp. 2540-2543
9WIKBERG, T. および DODELIN, E. CERN, 1211 Geneva 23, スイス。 LEP 用の UHV 全金属取り外し可能ジョイントの FEM 計算。真空。 1990, 41(7-9) pp. 2082–2085
10北村和也、伊藤和久、内田哲也、近藤正和、株式会社東芝重機技術研究所、〒230 横浜市鶴見区末広町2-4, 小原和久、中村、Ｋ．およびＭＵＲＡＫＡＭＩ、Ｙ．Ｎａｋａ、日本原子力研究所核融合研究所、〒３１１－０２ 茨城県那珂郡中町向山８０１－１。溶融真空シール用ナイフエッジ型メタルシールフランジの機械的挙動に関する実験的および解析的研究。 J.Vac.科学技術。 A.__ 1994 年 11/12 月、12(6) pp. 3217-3223

Foreword

ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.

The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www.iso.org/directives ).

Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or on the ISO list of patent declarations received (see www.iso.org/patents ).

Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not constitute an endorsement.

For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO's adherence to the World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT), see www.iso.org/iso/foreword.html .

This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 112, Vacuum technology.

This third edition cancels and replaces the second edition (ISO 3669:2017), of which it constitutes a minor revision. The changes compared to the previous edition are as follows:

  • the title has been updated;
  • Clause 4 and Table 1: “l7” has changed to “l7 – Depth for pipe connection”;
  • Reference [4] has been updated.

This corrected version of ISO 3669:2020 incorporates the following correction:

  • In Figure 2, the vertical dimension from the knife-edge to the surface of the flange has been corrected from"0,98" to"0,65 ±0,05".

Introduction

This document is a minor revision of the second edition (ISO 3669:2017) and contains significant technical changes from the first edition (ISO 3669:1986), which defined two series of “bakeable” flanges:

  • as a preferred series, the main dimensions of which ensure compatibility with already standardized non-bakeable flanges (see ISO 1609);
  • a secondary series corresponding to flanges in common use.

This document specifies only one series and is no longer dependent on the preferred number. Effectively, the preferred series has been made obsolete, thereby promoting the secondary series to be the one and only set of specified dimensions. Furthermore, several dimensions in what was formerly the secondary series, have been modified to correspond to flanges in common use. Finally, detailed dimensions for the knife-edge sealing profile have been incorporated.

It is noted, however, that the original ConFlat® 1 flange dimensions and tolerances, as developed by Varian, were not available during the development stage of this specification. The intent of this document is to ensure interchangeability of flanges. It is reasonable to accept that flanges manufactured to the original Varian specifications are compatible with flanges manufactured according to this document, even though they might not fall within all tolerances.

1 Scope

This document specifies the dimensions of fixed or rotatable bolted knife-edge flanges used in vacuum systems for pressures ranging from atmospheric to as low as 10−11 Pa.

2 Normative references

There are no normative references in this document.

3 Terms and definitions

For the purposes of this document, the following terms and definitions apply.

ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:

3.1

knife-edge flange

metal sealed flange used for high and ultra-high vacuum service

Note 1 to entry: Sandwiching one metal gasket between two knife-edge flanges and securely bolting these together makes a vacuum tight joint. The seal is made when the identical circular (triangular profile) knife-edges are bolted together. A deformable metal gasket captured between the knife-edge flanges establishes the sealing surface.

Note 2 to entry: Originally developed as ConFlat® flanges. The widespread and continued use of knife-edge flanges has made these a de facto international standard, codified by this document.

3.2

nominal bore

value intended to both identify the flange and specify the largest practical size of tubing that can be accommodated by the flange

Note 1 to entry: See Table 1, in which the convention of identifying original flanges by the outside diameter of the flange (historically in inches) has been maintained.

3.3

leak check groove

groove machined into the seal side of the flange to facilitate the free passage of trace gas from the outer perimeter of the flange to the seal zone near the metal gasket

Bibliography

1ISO 3, Preferred numbers — Series of preferred numbers
2ISO 286 (all parts), Geometrical product specifications (GPS) — ISO code system for tolerances on linear sizes
3ISO 965-1, ISO general purpose metric screw threads — Tolerances — Part 1: Principles and basic data
4ISO 1609, Vacuum technology — Dimensions of non-knife edge flanges
5WHEELER, W. and CARLSON, M. Varian Associates, Palo Alto, CA, USA. Ultra-high Vacuum Flanges, Trans. 8th Nat. Vac. Symp. American Vacuum Society, 1961, pp 1309-1318
6WHEELER, W. Varian Associates, Palo Alto, CA, USA. Theory and Application of metal gasket seals. Trans. 10th Nat. Vac. Symp., American Vacuum Society, 1963, pp 159-165
7EDWARDS, D. Jr., McCAFFERTY, D. and RIOS, L. Brookhaven National Laboratory, Upton, NY, USA. Sealing of knife-edge flanges after a high temperature vacuum firing. J. Vac. Sci. Technol. 1979 Nov/Dec, 16 (6) pp. 2114–2115
8UNTERLERCHNER, W. CERN, 1211 Geneva 23, Switzerland. Some improvement work on ConFlat joints and their limit of reliability in a large-size ultrahigh vacuum system. J. Vac. Sci. Technol. A. 1987 Jul/Aug, 5 (4) pp. 2540–2543
9WIKBERG, T. and DODELIN, E. CERN, 1211 Geneva 23, Switzerland. FEM calculations of UHV all-metal demountable joints for LEP. Vacuum. 1990, 41 (7-9) pp. 2082–2085
10KITAMURA, K., ITOH, K., UCHIDA, T. and KONDOH, M. Heavy Apparatus Engineering Laboratory, Toshiba Corporation, 2-4, Suehiro-cho, Tsurumi-ku, Yokohama, 230, Japan, OBARA, K, NAKAMURA, K. and MURAKAMI, Y. Naka, Fusion Research Establishment, Japan Atomic Energy Research Institute, 801-1, Mukouyama, Nakamachi, Naka-gun, Ibaraki-ken, 311-02 Japan. Experimental and analytical studies on mechanical behaviour of knife-edge-type metal-seal flange for fusion vacuum sealing. J. Vac. Sci. Technol. A. 1994 Nov/Dec, 12 (6) pp. 3217–3223

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