※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
序文
ISO (国際標準化機構) は、各国の標準化団体 (ISO メンバー団体) の世界的な連合です。国際規格の作成作業は、通常、ISO 技術委員会を通じて行われます。技術委員会が設立された主題に関心のある各会員団体は、その委員会に代表される権利を有します。 ISOと連携して、政府および非政府の国際機関もこの作業に参加しています。 ISO は、電気技術の標準化に関するすべての問題について、国際電気標準会議 (IEC) と緊密に協力しています。
この文書の作成に使用された手順と、今後の維持を意図した手順は、ISO/IEC 指令で説明されています。 1. 特に、さまざまなタイプの ISO 文書に必要なさまざまな承認基準に注意する必要があります。この文書は、ISO/IEC 指令の編集規則に従って作成されました。 2 ( www.iso.org/directives を参照)
このドキュメントの要素の一部が特許権の対象となる可能性があることに注意してください。 ISO は、そのような特許権の一部または全部を特定する責任を負わないものとします。ドキュメントの開発中に特定された特許権の詳細は、序文および/または受信した特許宣言の ISO リストに記載されます ( www.iso.org/patents を参照)
このドキュメントで使用されている商号は、ユーザーの便宜のために提供された情報であり、保証を構成するものではありません。
規格の自発的な性質の説明、適合性評価に関連する ISO 固有の用語と表現の意味、および技術的貿易障壁 (TBT) における世界貿易機関 (WTO) の原則への ISO の準拠に関する情報については、以下を参照してください。 www.iso.org/iso/foreword.html .
この文書は、欧州標準化委員会 (CEN) 技術委員会 CEN/TC 262, 金属およびその他の無機コーティングと協力して、技術協力に関する協定に従って、技術委員会 ISO/TC 107, 金属およびその他の無機コーティングによって作成されました。 ISO と CEN (ウィーン協定) の間。
この第 2 版は、技術的に改訂された第 1 版 (ISO 9220:1988) を取り消して置き換えるものです。
主な変更点は次のとおりです。
- 5.2, 8.2, および 8.3 でさらに 2 つのキャリブレーション方法が追加されました。
- SEM およびアナログ写真の不安定性に関する、または SEM の操作に関する技術的に古いコンテンツの削除 [古い細分条項 6.11, 6.12, 6.13, 8.4, 9.2.1, 9.2.2, 9.3, A.2.3, A.3.2, A の削除.3.3, A.3.4, および A.3.7;第 12 条の項目 e) の改訂];
- 測定の不確かさに対する画像パラメータの影響の議論 (新しい 6.11);
- 第 10 条の改訂と、ラウンド ロビン テストの正確なデータを含む附属書 B の追加。
- 附属書 A を ISO 1463:2021 に合わせて (再) 調整するための改訂。
- 有益な参考文献を含む参考文献を追加します。
1 スコープ
このドキュメントでは、走査型電子顕微鏡 (SEM) を使用した断面の検査によって、金属およびその他の無機コーティングの局所的な厚さを測定するための破壊的な方法を指定しています。この方法は数ミリメートルまでの厚さに適用できますが、そのような厚いコーティングには通常、光学顕微鏡を使用する方が実用的です (ISO 1463 を参照)厚さの下限は、達成される測定の不確かさに依存します(箇条 10 を参照)。
注記この方法は、有機層が断面の準備やイメージング中の電子ビームによって損傷を受けていない場合にも使用できます。
2 参考文献
このドキュメントには規範的な参照はありません。
3 用語と定義
このドキュメントでは、次の用語と定義が適用されます。
ISO と IEC は、次のアドレスで標準化に使用する用語データベースを維持しています。
3.1
局部肉厚
指定された数が参照領域内で行われる厚さ測定値の平均
[出典:ISO 2064:1996, 3.4]
参考文献
| [1] | ISO 1463:2021, 金属および酸化物コーティング - コーティングの厚さの測定 - 顕微鏡法 |
| [2] | ISO 2064:1996, 金属およびその他の無機コーティング - 厚さの測定に関する定義と規則 |
| [3] | ISO 5725-1:1994, 測定方法と結果の正確さ (真実性と精度) — 1: 一般原則と定義 |
| [4] | ISO 5725-2:1994/Cor 1:2002, 測定方法と結果の精度 (真実性と精度) — 2:標準的な測定方法の再現性と再現性を決定するための基本的な方法 |
| [5] | ISO 13528:2015, 試験所間比較による技能試験で使用する統計的方法 |
| [6] | ISO 16700, マイクロビーム分析 — 走査型電子顕微鏡 — 画像倍率のキャリブレーションに関するガイドライン |
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are described in the ISO/IEC Directives, 1. In particular, the different approval criteria needed for the different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the editorial rules of the ISO/IEC Directives, 2 (see www.iso.org/directives ).
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or on the ISO list of patent declarations received (see www.iso.org/patents ).
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not constitute an endorsement.
For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO's adherence to the World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT), see www.iso.org/iso/foreword.html .
This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 107, Metallic and other inorganic coatings, in collaboration with the European Committee for Standardization (CEN) Technical Committee CEN/TC 262, Metallic and other inorganic coatings, in accordance with the Agreement on technical cooperation between ISO and CEN (Vienna Agreement).
This second edition cancels and replaces the first edition (ISO 9220:1988), which has been technically revised.
The main changes are as follows:
- addition of two further calibration methods in 5.2, 8.2, and 8.3;
- deletion of technically outdated content concerning instability of SEMs and analogue photos or concerning the operation of SEMs [removal of old Subclauses 6.11, 6.12, 6.13, 8.4, 9.2.1, 9.2.2, 9.3, A.2.3, A.3.2, A.3.3, A.3.4, and A.3.7; revision of item e) in Clause 12];
- discussion of influences of imaging parameters on measurement uncertainty (new 6.11);
- revision of Clause 10 and addition of Annex B with precision data from round robin tests;
- revision of Annex A to (re-) align it with ISO 1463:2021;
- adding a bibliography with informative references.
1 Scope
This document specifies a destructive method for the measurement of the local thickness of metallic and other inorganic coatings by examination of cross-sections with a scanning electron microscope (SEM). The method is applicable for thicknesses up to several millimetres, but for such thick coatings it is usually more practical to use a light microscope (see ISO 1463). The lower thickness limit depends on the achieved measurement uncertainty (see Clause 10).
NOTE The method can also be used for organic layers when they are neither damaged by the preparation of the cross-section nor by the electron beam during imaging.
2 Normative references
There are no normative references in this document.
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the following terms and definitions apply.
ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:
3.1
local thickness
mean of the thickness measurements, of which a specified number is made within a reference area
[SOURCE:ISO 2064:1996, 3.4]
Bibliography
| [1] | ISO 1463:2021, Metallic and oxide coatings — Measurement of coating thickness — Microscopical method |
| [2] | ISO 2064:1996, Metallic and other inorganic coatings — Definitions and conventions concerning the measurement of thickness |
| [3] | ISO 5725-1:1994, Accuracy (trueness and precision) of measurement methods and results — 1: General principles and definitions |
| [4] | ISO 5725-2:1994/Cor 1:2002, Accuracy (trueness and precision) of measurement methods and results — 2: Basic method for the determination of repeatability and reproducibility of a standard measurement method |
| [5] | ISO 13528:2015, Statistical methods for use in proficiency testing by interlaboratory comparison |
| [6] | ISO 16700, Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification |