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a) エアロゾルの誘引試験 すきまからの誘引試験は,図1に示す各形式のクリーンベンチの主エアフィ
ルタ又は整流板面の下流側と,作業空間の囲いとの接合部に沿って行い,また,外部からの誘引は,
垂直流形クリーンベンチでは作業空間の開口部の100mm内側で,水平流形クリーンベンチでは50mm
内側で,粒子濃度測定器によって測定を行う。
図1 クリーンベンチのエアロゾルの漏れ及び誘引
b) 走査漏れ試験
1) 走査漏れ試験は,主エアフィルタ面,取付部,継目部などの下流面に粒子濃度測定器のプローブを
保ちながら,フィルタ面から0.05m以内の位置において,0.08m/sを超えない所定の速度で走査する。
プローブのサイズは等速吸引ができるように選定し,形状は正方形又は長方形とする。
2) 走査速度Srは,式(1)によって決定する。
Sr≦CC・PL・DP・Fa/NP (1)
ここに, Sr : プローブの走査速度 (m/s) (所要時間を考慮すると,走査速
度Srの実用範囲は0.010.08m/sである。)
CC : フィルタ上流側の粒子濃度(個/m3)
PL : リーク許容透過率 (−)
備考 基準吸引流量472×10-6m3/sにおける許容リーク透過率。値は受渡当事者間の協議で決定する。
DP : 走査方向のプローブ寸法 (m)
472×10-6 : 光散乱式粒子自動計測器の標準流量 (m3/s)
Fa : 吸引流量 (m3/s)
備考 472×10-6m3/s (28.3L/min) を基準流量とする。
NP : リーク設定カウント期待値(個)
備考 NPは,3.7又は5.6に設定するのが望ましい。
3) 走査速度Srから実際のリーク設定カウント期待値NPaを式(2)によって算出する。
NPa=472×10-6・CC・PL・DP/Sr (2)
ここに, NPa : 実際に採用した走査速度に基づくリーク設定カウント期待値
(個)
備考 472×10-6・CC・PLの項は標準リークカウント数を表現しており,実際に使用する光散乱式粒子自
動計測器の流量とは無関係。
――――― [JIS B 9922 pdf 6] ―――――
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このNPaに対応する許容測定値Caを表3から求める。測定値は,許容測定値Caを超えてはならない。た
だし,許容測定値が0の場合は測定値が連続“0”のときを,許容測定値が1の場合は測定値が“0,1,0”
のように両隣が“0”のときを合格としてもよい。
表3 両側95%(片側97.5%)ポアソン分布に基づく信頼区間表
Ca NPa
0 ≧3.7
1 ≧5.6
2 ≧7.2
3 ≧8.8
4 ≧10.2
5 ≧11.7
6 ≧13.1
7 ≧14.4
8 ≧15.8
9 ≧17.1
10 ≧18.4
11 ≧19.7
12 ≧21.0
13 ≧22.3
14 ≧23.5
15 ≧24.8
16 ≧26.0
17 ≧27.2
18 ≧28.4
19 ≧29.6
20 ≧30.8
NPa : 実際に採用した走査速度に基づくリーク設定カウント期待値
Ca : 許容測定値
c) 作業空間の清浄度試験 作業空間の清浄度試験は,次による。
1) この試験の測定点数は,クリーンベンチなどで形成される作業空間の床面積,又は気流通過面積を
m2単位で表した数値の平方根を切り上げた整数とする。測定点数の最少は2点とする。測定は,等
面積に分割された区画の中央の作業高さで行う。
2) 正規の評価方法による場合 各測定点における測定回数は,2回以上とする。サンプリング空気量
は,表4に示す最少サンプリング空気量以上とし,評価は次による。
表4 最少サンプリング空気量 (×10−3m3)
粒径 清浄度クラス
( クラス1 クラス2 クラス3 クラス4 クラス5 クラス6 クラス7 クラス8
0.1 2 000 200 20 2 2 − − −
0.2 10 000 1 000 100 10 2 − − −
0.3 20 000 2 000 200 20 2 2 2 2
0.5 (60 000) (6 000) 600 60 6 2 2 2
5.0 − − − − 600 60 6 2
備考 括弧内の数字は,清浄度クラスを評価するための対象粒径以外の粒径に対する値
で,参考値である。
2.1) 各測定点における平均粒子濃度
測定点iにおけるj回目の測定の粒子濃度Ci j(個/m3)を式(3)によって求める。
――――― [JIS B 9922 pdf 7] ―――――
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Ci j=P/Q (3)
ここに, P : 測定された粒子個数(個)
Q : サンプリング空気量 (m3)
次に,この測定点における平均粒子濃度Ciを式(4)を用いて求める。
Ci= (Ci 1+Ci 2+······Ci j+······+Ci m) /m (4)
ここに, m : 測定回数
Cij : 測定点iにおけるj回目測定の粒子濃度(個/m3)
Ci : 測定点iにおける平均粒子濃度(個/m3)
2.2) 各測定点の平均粒子濃度の平均値Xを式(5)を用いて求める。
X= (C1+C2+······+Ci+······+Cn) /n (5)
ここに, n : 測定点数 (−)
2.3) Xの95%上側信頼限界を,次によって求める。
全測定点における平均粒子濃度Ciの標準偏差sを式(6)を用いて求める。
s= [(C1−X )2 +······+ (Ci−X )2 +······+ (Cn−X ) 2/ (n−1) ] 1/2 (6)
95%上側信頼限界Xuを式(7)を用いて求める。t (f, 0.05) の値は表5の値を用いる。
Xu=X+t ( f, 0.05) ×s/n (7)
表5 測定点数に対するt (f, 0.05) の値
測定点数n 2 3 4 5 6 7 8 9
t (f, 0.05)6.3 2.9 2.4 2.1 2.0 1.9 1.9 1.9
f =n−1
2.4) 測定点数が29点の場合は,各測定点における平均粒子濃度C1,C2,···,Cnの中の最大値と95%
上側信頼限界Xuの中で大きい値を評価粒子濃度Ceとする。
測定点数が10点以上の場合は,各測定点における平均粒子濃度C1,C2,···,Cnの中の最大値を
評価粒子濃度Ceとする。
2.5) 試験時のクリーンベンチの吸込空気の平均粒子濃度を,清浄度クラス8の上限濃度に換算した作業
空間の清浄度は,次による。
Cu= (C8/C0) ×Ce (8)
ここに, Cu : 作業空間の清浄度(個/m3)
C0 : 試験時のクリーンベンチの空気吸込口の平均粒子濃度(個/m3)
Ce : 作業空間の評価粒子濃度(個/m3)
C8 : 表2に示す清浄度クラス8の上限濃度(個/m3)
作業空間の清浄度クラスLは,次の式によって求める。
L=logCu−2.08log (0.1/D) (9)
ここに, D : 評価対象粒径(0.1 0.2 0.3 0.5 は5
Lは数値を切り上げて整数で表す。
Lが1以下の場合は,L=1とする。
3) 逐次サンプリング評価方法による場合 逐次サンプリング評価方法による測定は,清浄度クラス1
4の場合に適用することができ,次による。
3.1) サンプリング空気量 逐次サンプリング評価方法によるサンプリング空気量は,連続して空気をサ
ンプリングし,サンプリングした累積空気量と対象粒径以上の粒子累積個数の座標点を図2上にプ
ロットし,その座標点が図2に示す適合領域,又は不適合領域に入った時点までの空気量とする。
図2に示す逐次サンプリング空気線図の累積サンプリング空気量の目盛は,清浄度クラス,及び
――――― [JIS B 9922 pdf 8] ―――――
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対象粒径によって異なる。表2に示す清浄度クラスの粒径範囲内で,0.1 外の粒径に対する累
積サンプリング空気量の目盛は,図2に示す0.1 の目盛に式(10)に示す補正係数Kを乗じて求
める。
図2 粒径0.1 鉛歛 ラス14の逐次サンプリング評価線図(対象粒径0.1 )
備考 粒径が異なった場合は,次の式によって補正係数Kを求める。
.208
1.0 D
K= (10)
ここに, K : 補正係数 (−)
D : 粒径 (
さらに,累積サンプリング空気量Vを,次の式から求める。
V=V0×K
ここに, V : 粒径D ( 鉛 ンプリング空気量 (m3)
V0 : 粒径0.1 鉛 ンプリング空気量 (m3)
3.2) 粒子濃度の評価 各測定点において連続して空気をサンプリングし,サンプリングした累積空気量
と対象粒径以上の粒子累積個数の座標点が,逐次サンプリング評価線図の適合領域,又は不適合領
域に入った時点で測定を終了する。測定を行って,プロットした点が中間領域にある場合は,図2
の最大の空気量まで継続してサンプリングする。この時点で測定値が20個以下の場合は適合と判断
する。それ以外の場合は,再度,最大サンプリング空気量まで測定を行う。2回の測定値の平均が
20以下の場合は適合とする。
――――― [JIS B 9922 pdf 9] ―――――
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すべての測定点の粒子濃度が,設定した清浄度クラスの上限濃度を満足した場合に,作業空間は
その清浄度クラスであるとする。
7.5 絶縁抵抗試験 絶縁抵抗試験は,JIS C 1302に規定する500V絶縁抵抗計によって,充電部と非充電
部との間の絶縁抵抗を測定する。
7.6 耐電圧試験 耐電圧試験は,充電部と非充電部との間に,定格電圧が150V以下のものは1 000V,
定格電圧が150Vを超えるものは1 500Vで,周波数50Hz又は60Hzの交流電圧を連続して1分間加える。
7.7 消費電力 消費電力は,定格運転時及び送風機だけ,又は照明灯などの電気機器だけを作動させた
ときの各値を測定する。
7.8 照度試験 照度試験は,JIS C 1609に規定する照度計を用いて,点灯時及び消灯時に次によって行
う。
a) 室内の照明灯は,消灯して試験を行う。
b) 測定位置は,作業台付のクリーンベンチの場合は作業台面上,作業台がない場合は床上0.75mとする。
c) 測定点は,作業台面上の面積2m2以下は2等分したそれぞれの面のほぼ中央の点とし,2m2を超える
場合は1m2ごとに1点を増し,ほぼ中央の点とする。
7.9 振動試験 振動試験は,作業台を使用したクリーンベンチだけに適用し,作業台の中央でJIS C 1510
に規定する振動計又はそれ以上の性能をもつ振動計を用いて行う。
7.10 騒音試験 騒音試験は,暗騒音時及び定格運転状態で,JIS Z 8731の方法で行う。測定器はJIS C 1502
又は,JIS C 1505に規定する騒音計の周波数重み特性Aを用いる。測定位置はクリーンベンチの正面で0.5
m離れ,床上0.75mとする。クリーンブースは中央部で,床上0.75mとする。
なお,作業空間開口部にシャッタが設けられているものは,全開状態にして行う。ただし,気流による
風圧,振動,電磁場などが測定結果に影響を与えないように配慮する。
備考 騒音試験は,暗騒音と測定値との差が10dB以上の場所で行うのがよい。
8. 試験結果の記録
8.1 風速試験結果の記録様式を,表6に示す。
――――― [JIS B 9922 pdf 10] ―――――
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JIS B 9922:2001の国際規格 ICS 分類一覧
- 91 : 建設材料及び建築物 > 91.140 : 建築物の付帯施設 > 91.140.30 : 通風及び空気調和システム
- 23 : 一般的に利用される流体システム及びその構成要素 > 23.120 : 換気装置.ファン.空調装置
- 13 : 環境.健康予防.安全 > 13.040 : 気質 > 13.040.30 : 作業場所の雰囲気
JIS B 9922:2001の関連規格と引用規格一覧
- 規格番号
- 規格名称
- JISB8330:2000
- 送風機の試験及び検査方法
- JISB8346:1991
- 送風機及び圧縮機―騒音レベル測定方法
- JISB9920:2002
- クリーンルームの空気清浄度の評価方法
- JISB9921:2010
- 光散乱式気中粒子計数器―校正方法及び検証方法
- JISC1302:2018
- 絶縁抵抗計
- JISC1502:1990
- 普通騒音計
- JISC1505:1988
- 精密騒音計
- JISC1510:1995
- 振動レベル計
- JISC1609:1993
- 照度計
- JIST8202:1997
- 一般用風速計
- JISZ8122:2000
- コンタミネーションコントロール用語
- JISZ8731:2019
- 環境騒音の表示・測定方法
- JISZ8901:2006
- 試験用粉体及び試験用粒子