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IEC/TR 63258:2021 ナノテクノロジー—ナノスケールフィルムの厚さを評価するためのエリプソメトリーアプリケーションのガイドライン

IEC/TR 63258:2021の概要

IEC/TR63258:2021の規格概要

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Nanotechnologies — A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films

IEC TR 63258:2021は、ナノスケールフィルムの厚さを評価するためのエリプソメトリーの実用的なプロトコルに焦点を当てたテクニカルレポートです。このドキュメントにはエリプソメーターの仕様は含まれていませんが、データの再現性を向上させるためにデータの変動を最小限に抑える方法を提案しています。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

IEC/TR63258:2021 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
IEC/TR 63258:2021
ISO 国際規格名称
Nanotechnologies — A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
ISO 規格名称 日本語訳
ナノテクノロジー — ナノスケールフィルムの厚さを評価するためのエリプソメトリーアプリケーションのガイドライン
発行日 (Publication date)
2021-03
更新日：確認日 (Update date,Date confirmed)
2021-03-22
状態 (Status)
公開済み (Published)
改訂 (Edition)
1
PDF ページ数 (Number of pages)
16
TC（専門委員会）:Technical Committee
ISO/TC 229 ナノテクノロジー：(Nanotechnologies)
ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）
07.120：Nanotechnologies,
ISO 対応 JIS 規格
ICS 対応 JIS 規格

IEC/TR 63258:2021 関連規格 履歴一覧

IEC/TR63258:2021 対応 JIS 規格一覧

IEC/TR63258:2021 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 07：自然科学及び応用科学 > 07.120：ナノテクノロジー

IEC/TR 63258:2021 修正 一覧 (Amendments)

IEC/TR 63258:2021 正誤表 一覧 (Corrigenda)

IEC/TR 63258:2021 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 60) 発行

サブステージコード 60.60 国際規格が発行されました (International Standard published)

IEC/TR 63258:2021 持続可能な開発目標 SDGS

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。