この規格 プレビューページの目次
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
3 用語と定義
この文書の目的としては、ISO 18115-1 および以下に示されている用語と定義が適用されます。
ISO と IEC は、標準化に使用する用語データベースを次のアドレスで維持しています。
3.1
絶対要素感度係数
元素の測定された強度を割って、サンプル中に存在する元素の原子濃度または原子分率を求める元素の係数
注記 1:相対元素感度係数を参照。
注記 2:原子濃度または原子分率の選択を明確にする必要があります。
注記 3:使用する感度係数の種類は、定量化プロセスで使用する式、および分析するサンプルの種類 (均質サンプルまたは分離層など) に適切なものでなければなりません。
注記 4:感度係数のソースは、正しい行列係数またはその他のパラメータが使用されていることを確認するために指定する必要があります。
注記 5:感度係数は、励起源、分光計のパラメータ、および機器のこれらの部分に対するサンプルの向きによって異なります。感度係数は分析対象のマトリックスにも依存し、 SIMSではこれが支配的な影響を及ぼします。
[出典:ISO 18115-1]
3.2
元素相対感度係数
<AES, XPS> 絶対元素感度係数 (3.1) に比例する係数。比例定数where 、選択された元素と遷移の値が 1 になるように選択されます。
注記 1:一般に使用される要素と遷移は、 XPSの場合は C 1 または F 1, AESの場合は Ag M 4.5 VV です。
注記 2:使用する感度係数のタイプは、分析するサンプルのタイプ (例えば、均質サンプルや分離層など) に適したものでなければなりません。
注記 3:感度係数のソースは、正しい行列係数またはその他のパラメータが使用されていることを確認するために指定する必要があります。
注記 4:感度係数は、励起源、分光計のパラメータ、および機器のこれらの部分に対するサンプルの向きによって異なります。感度係数は分析対象のマトリックスにも依存し、 SIMSではこれが支配的な影響を及ぼします。
[出典:ISO 18115-1]
3.3
平均マトリックス相対感度係数
AMRSF
<AES, XPS> 係数。強度に比例し、平均行列内の元素に対して計算されます。この係数により、その元素の測定強度が計算で除算され、サンプル中に存在する元素の原子濃度または原子分率が得られます。
注記 1:感度係数、 元素相対感度係数 (3.2) および 純粋元素相対感度係数 (3.4) を参照。
注記 2:原子濃度または原子分率の選択を明確にする必要があります。
注記 3:使用する感度係数の種類は、定量化プロセスで使用する式、および分析するサンプルの種類 (均質サンプルまたは分離層など) に適切なものでなければなりません。
注記 4: 感度係数のソースを示す必要がある。マトリックス係数は、平均マトリックス相対感度係数に対して 1 であると見なされます。
注記 5:感度係数は、励起源、分光計のパラメータ、および機器のこれらの部分に対するサンプルの向きによって異なります。感度係数の数値は、ピーク強度の測定に使用される方法によっても異なります。
[出典:ISO 18115-1]
3.4
純粋な要素の相対感度係数
パース
<AES, XPS> 係数。元素の純粋なサンプルについて測定された強度に比例し、その元素について測定された強度が計算に分割され、サンプル中に存在する元素の原子濃度または原子分率が得られます。
注記 1:感度係数、 元素相対感度係数 (3.2) および 平均マトリックス相対感度係数 (3.3) を参照。
注記 2:原子濃度または原子分率の選択を明確にする必要があります。
注記 3:使用する感度係数のタイプは、定量化プロセスで使用する式、および分析するサンプルのタイプ (例えば、均質サンプルまたは分離層) に適切なものでなければなりません。
注記 4:感度係数のソースは、正しい行列係数またはその他のパラメータが使用されていることを確認するために指定する必要があります。マトリックス係数は重要なので、純粋な要素の相対感度係数と一緒に使用する必要があります。
注記 5:感度係数は、励起源、分光計のパラメータ、および機器のこれらの部分に対するサンプルの向きによって異なります。感度係数の数値は、ピーク強度の測定に使用される方法によっても異なります。
[出典:ISO 18115-1]
3.5
分光計の応答関数
分光計で検出された粒子の数を、分散パラメーターの関数として測定可能な分散パラメーターの立体角あたりおよび間隔あたりの粒子の数で割った商。
注記 1:分光計のエタンデュを参照。
注記 2:分散パラメータは、通常、エネルギー、質量、または波長です。
注記 3:分光計の応答関数の単位は、sr・eV, sr・amu, または sr・m です。
注記 4:分光計の応答関数は 、分光計の透過関数 (3.6) またはエタンデュに似ていますが、検出器や電子処理および記録装置など、測定チェーンの他のすべてのコンポーネントの効率が含まれます。
注記 5: 定量分析の一部の方法では、相対感度係数を使用するために応答関数のエネルギー依存性が必要です。これらの場合、絶対応答関数に比例する関数が決定されますここで, 比例定数は必ずしも重要ではありません。
[出典:ISO 18115-1]
3.6
分光器透過関数
アナライザー送信機能
分析装置によって透過される粒子の数を、分散パラメーターの関数として測定可能な分散パラメーター (エネルギー、質量、波長など) の立体角あたりおよび間隔あたりの粒子の数で割った商。
注記 1: 分光計の応答関数 (3.5) を参照。
注記 2:伝送の単位は、sr・eV, sr・amu, または sr・m です。
注記 3: 多くの場合、この用語の不完全な使用は、分光計の受け入れ立体角 (sr 単位)、または利用可能な空間の 2π 立体角の一部のみが与えられるwhere 発生します。この使用法は非推奨です (アナライザーの立体角を参照)
注記 4: この用語は、検出器と信号処理システムからの影響を含む分光計の応答関数の代わりに誤って使用されることがよくあります。
[出典:ISO 18115-1]
3.7
原子相対感度係数
ARSF
元素の単一原子について測定された強度に比例する係数。この係数により、その元素について測定された強度が計算で除算され、サンプル中に存在する元素の原子濃度または原子分率が得られます。
注記 1: 元素相対感度係数 (3.2) を参照。
注記 2:原子濃度または原子分率の選択を明確にする必要があります。
注記 3:使用する感度係数の種類は、定量化プロセスで使用する式、および分析するサンプルの種類 (均質サンプルまたは分離層など) に適切なものでなければなりません。
注記 4:感度係数のソースは、正しい行列係数またはその他のパラメータが使用されていることを確認するために指定する必要があります。
注記 5:感度係数は、励起源、分光計のパラメータ、および機器のこれらの部分に対するサンプルの向きによって異なります。感度係数は分析対象のマトリックスにも依存し、 SIMSではこれが支配的な影響を及ぼします。
参考文献
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3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 18115-1 and the following apply.
ISO and IEC maintain terminology databases for use in standardization at the following addresses:
3.1
absolute elemental sensitivity factor
coefficient for an element by which the measured intensity for that element is divided to yield the atomic concentration or atomic fraction of the element present in the sample
Note 1 to entry: See relative elemental sensitivity factor.
Note 2 to entry: The choice of atomic concentration or atomic fraction should be made clear.
Note 3 to entry: The type of sensitivity factor utilized should be appropriate for the formulae used in the quantification process and for the type of sample analysed, for example homogeneous samples or segregated layers.
Note 4 to entry: The source of sensitivity factors should be given to ensure that the correct matrix factors or other parameters are used.
Note 5 to entry: Sensitivity factors depend on parameters of the excitation source, the spectrometer, and the orientation of the sample to these parts of the instrument. Sensitivity factors also depend on the matrix being analysed, and in SIMS this has a dominating influence.
[SOURCE:ISO 18115-1]
3.2
elemental relative sensitivity factor
<AES, XPS> coefficient proportional to the absolute elemental sensitivity factor (3.1) , where the constant of proportionality is chosen such that the value for a selected element and transition is unity
Note 1 to entry: Elements and transitions commonly used are C 1s or F 1s for XPS and Ag M4,5VV for AES.
Note 2 to entry: The type of sensitivity factor used should be appropriate for the type of sample analysed, for example homogeneous samples or segregated layers.
Note 3 to entry: The source of sensitivity factors should be given to ensure that the correct matrix factors or other parameters are used.
Note 4 to entry: Sensitivity factors depend on parameters of the excitation source, the spectrometer, and the orientation of the sample to these parts of the instrument. Sensitivity factors also depend on the matrix being analysed, and in SIMS this has a dominating influence.
[SOURCE:ISO 18115-1]
3.3
average matrix relative sensitivity factor
AMRSF
<AES, XPS> coefficient, proportional to the intensity, calculated for an element in an average matrix, by which the measured intensity for that element is divided in calculations to yield the atomic concentration or atomic fraction of the element present in the sample
Note 1 to entry: See sensitivity factor, elemental relative sensitivity factor (3.2) and pure element relative sensitivity factor (3.4) .
Note 2 to entry: The choice of atomic concentration or atomic fraction should be made clear.
Note 3 to entry: The type of sensitivity factor utilized should be appropriate for the formulae used in the quantification process and for the type of sample analysed, for example homogeneous samples or segregated layers.
Note 4 to entry: The source of sensitivity factors should be given. Matrix factors are taken to be unity for average matrix relative sensitivity factors.
Note 5 to entry: Sensitivity factors depend on parameters of the excitation source, the spectrometer, and the orientation of the sample to these parts of the instrument. The numerical values of the sensitivity factors can also depend on the method used to measure the peak intensities.
[SOURCE:ISO 18115-1]
3.4
pure-element relative sensitivity factor
PERSF
<AES, XPS> coefficient, proportional to the intensity measured for a pure sample of an element, by which the measured intensity for that element is divided in calculations to yield the atomic concentration or atomic fraction of the element present in the sample
Note 1 to entry: See sensitivity factor, elemental relative sensitivity factor (3.2) , and average matrix relative sensitivity factor (3.3) .
Note 2 to entry: The choice of atomic concentration or atomic fraction should be made clear.
Note 3 to entry: The type of sensitivity factor used should be appropriate for the formulae used in the quantification process and for the type of sample analysed, for example homogeneous samples or segregated layers.
Note 4 to entry: The source of sensitivity factors should be given to ensure that the correct matrix factors or other parameters are used. Matrix factors are significant and should be used with pure-element relative sensitivity factors.
Note 5 to entry: Sensitivity factors depend on parameters of the excitation source, the spectrometer, and the orientation of the sample to these parts of the instrument. The numerical values of the sensitivity factors can also depend on the method used to measure the peak intensities.
[SOURCE:ISO 18115-1]
3.5
spectrometer response function
quotient of the number of particles detected with a spectrometer by the number of such particles per solid angle and per interval of the dispersing parameter available for measurement as a function of the dispersing parameter
Note 1 to entry: See spectrometer étendue.
Note 2 to entry: The dispersing parameter is commonly energy, mass, or wavelength.
Note 3 to entry: The units of the spectrometer response function can be sr⋅eV, sr⋅amu, or sr⋅m.
Note 4 to entry: The spectrometer response function is similar to the spectrometer transmission function (3.6) or étendue but includes the efficiencies of all other components of the measurement chain, such as detectors and the electronic processing and recording equipment.
Note 5 to entry: For some methods of quantitative analysis, the energy dependence of the response function is needed in order to use relative sensitivity factors. For these cases, a function is determined which is proportional to the absolute response function ここで, the proportionality constant is not necessarily important.
[SOURCE:ISO 18115-1]
3.6
spectrometer transmission function
analyser transmission function
quotient of the number of particles transmitted by the analyser by the number of such particles per solid angle and per interval of the dispersing parameter (e.g. energy, mass, or wavelength) available for measurement as a function of the dispersing parameter
Note 1 to entry: See spectrometer response function (3.5) .
Note 2 to entry: The units of transmission can be sr⋅eV, sr⋅amu, or sr⋅m.
Note 3 to entry: Often, an incomplete use of the term occurs where just the solid angle of acceptance of the spectrometer, in sr, or a fraction of the 2π solid angle of available space is given. This usage is deprecated, cf. solid angle of analyser.
Note 4 to entry: This term is often used incorrectly instead of spectrometer response function, which includes contributions from the detector and the signal-processing system.
[SOURCE:ISO 18115-1]
3.7
atomic relative sensitivity factor
ARSF
coefficient, proportional to the intensity measured for a single atom of an element, by which the measured intensity for that element is divided in calculations to yield the atomic concentration or atomic fraction of the element present in the sample.
Note 1 to entry: See elemental relative sensitivity factor (3.2) .
Note 2 to entry: The choice of atomic concentration or atomic fraction should be made clear.
Note 3 to entry: The type of sensitivity factor utilized should be appropriate for the formulae used in the quantification process and for the type of sample analysed, for example homogeneous samples or segregated layers.
Note 4 to entry: The source of sensitivity factors should be given to ensure that the correct matrix factors or other parameters are used.
Note 5 to entry: Sensitivity factors depend on parameters of the excitation source, the spectrometer, and the orientation of the sample to these parts of the instrument. Sensitivity factors also depend on the matrix being analysed, and in SIMS this has a dominating influence.
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