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ISO 18516:2006の概要
ISO18516:2006の規格概要
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Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy — Determination of lateral resolution
ISO 18516:2006は、定義された設定の下でオージェ電子分光計とX線光電子分光計で達成可能な横方向の分解能を測定するための3つの方法を説明しています。直定規法は、横方向の解像度が1マイクロメートルよりも大きいと予想される機器に適しています。グリッド法は、横方向の解像度が1マイクロメートル未満で20nmを超えると予想される場合に適しています。金島法は、横方向の分解能が50 nm未満であると予想される機器に適しています。付録A、B、およびCは、横方向の分解能の測定の実例を示しています。
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
ISO18516:2006 国際規格 情報
- ISO 国際規格番号
- ISO 18516:2006
- ISO 国際規格名称
- Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy — Determination of lateral resolution
- ISO 規格名称 日本語訳
- 表面化学分析 — オージェ電子分光法およびX線光電子分光法 — 横方向分解能の決定
- 発行日 (Publication date)
- 2006-11
- 廃止日：撤回日 (Abolition date,Withdrawal date)
- 2019-01-14
- 状態 (Status)
- 撤回されました (Withdrawn)
- 改訂 (Edition)
- 1
- PDF ページ数 (Number of pages)
- 24
- TC（専門委員会）:Technical Committee
- ISO/TC 201/SC 2 一般的な手順：(General procedures)
- ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）
- 71.040.40：Chemical analysis,
- ISO 対応 JIS 規格
- ICS 対応 JIS 規格
ISO 18516:2006 関連規格 履歴一覧
ISO18516:2006 対応 JIS 規格一覧
ISO18516:2006 ICS 対応 JIS 規格
ICS > 71：化学技術 > 71.040：分析化学 > 71.040.40：化学分析
ISO 18516:2006 修正 一覧 (Amendments)
ISO 18516:2006 正誤表 一覧 (Corrigenda)
ISO 18516:2006 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 95) 撤回、削除
サブステージコード 95.99 国際規格の撤回 (Withdrawal of International Standard)
ISO 18516:2006 持続可能な開発目標 SDGS
この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。
- 17の目標 : [Sustainable Development Goal]
SDGsとは、「Sustainable Development Goals（持続可能な開発目標）」の略称で、2015年9月に国連で採択された2030年までの国際開発目標。17の目標と169のターゲット達成により、「誰一人取り残さない」社会の実現に向け、途上国及び先進国で取り組むものです。