ISO 20523:2017 カーボンベースのフィルム—分類と指定

ISO20523:2017の規格概要

閲覧 情報

Carbon based films — Classification and designations

ISO 20523:2017は、カーボンベースのフィルムの分類、名称、および略称を指定しています。これらは、炭素が主要な構成部分であり、物理蒸着 (PVD) または化学蒸着 (CVD) プロセスによって蒸着される膜です。これには、ダイヤモンドライクカーボンフィルム (DLC) とも呼ばれるアモルファスカーボンベースのフィルム、CVDダイヤモンドフィルム、グラファイト、ポリマーライクフィルムが含まれます。ISO20523:2017は、工業規模で製造されるフィルムに適用されます。追加のカーボンベースのフィルムが開発中です。ISO20523:2017は、カーボンベースのフィルムの材料を指します。それは、下または上に追加の層を備えた主要な機能層からなることができるコーティング全体を指すものではありません。層は、その厚さにわたって組成および/または材料特性が変化する可能性があります。このようなレイヤーはグラデーションレイヤーと呼ばれます。このドキュメントの定義は、非勾配層を指します。炭素ベースのフィルムには、水素、金属元素などの他の元素を含めることができます。金属成分は、金属炭化物として含めることができます。追加の要素を含むフィルムは、炭素が主要な構成部分である場合にのみ、このドキュメントでカバーされます。金属含有アモルファスカーボンフィルム（aC:Me、aC:H:Me）に存在する可能性があるように、炭化物として組み込まれた炭素は、この量にはカウントされません。ISO20523:2017は、次のような炭素材料のクラスには適用されません。フラーレン、カーボンナノチューブ、グラフェン。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。